Сэндвич-структура InGaAs/GaAs с квантовыми точками для инфракрасных фотоприемников
Молдавская Л.Д.1, Востоков Н.В.1, Гапонова Д.М.1, Данильцев В.М.1, Дроздов М.Н.1, Дроздов Ю.Н.1, Шашкин В.И.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 11 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.
Обсуждается новый вариант формирования гетероструктур InAs/GaAs с квантовыми точками для фотоприемников инфракрасного диапазона методом металлорганической газофазной эпитаксии. Особенностями процесса являются использование повышенного времени роста квантовых точек и чередование низко- и высокотемпературного режимов заращивания квантовых точек барьерными слоями GaAs. В процессе заращивания происходят частичное растворение крупных квантовых точек и формирование вторичной квантовой ямы InGaAs из материала растворенных больших островков. При этом образуется сэндвич-структура, в которой квантовые точки расположены между двумя тонкими слоями с повышенным содержанием индия - смачивающим слоем InAs и вторичным слоем InGaAs. Высота квантовых точек определяется толщиной слоя низкотемпературного GaAs. Для полученных структур характерна внутризонная фотопроводимость в области 4.5 мкм вплоть до 200 K. При 90 K фоточувствительность составляет 0.5 A/Bт, обнаружительная способность 3·109 см·Гц1/2Вт-1. PACS: 68.65.Hb, 73.50.Pz, 73.63.Kv, 78.55.Cr, 78.67.Hc, 81.15.Gh
- W. Zhang, H. Lim, M. Taguchi, S. Tsao, B. Movaghar, M. Razeghi. Appl. Phys. Lett., 86, 191 103 (2005)
- D. Pal, E. Towe. Appl. Phys. Lett., 88, 153 109 (2006)
- S. Chakrabarti, A.D. Stiff-Roberts, X.H. Su, P. Bhattacharya, G. Ariyawansa, A.G.U. Perera. J. Phys. D: Appl. Phys., 38, 2135 (2005)
- S. Krishna. J. Phys. D: Appl. Phys., 38, 2142 (2005)
- S. Raghavan, D. Forman, P. Hill, N.R. Weisse-Bernstein, G. von Winckel, P. Rotalla, S. Krishna, S.W. Kennerly, J.W. Little. J. Appl. Phys., 96 (2), 1036 (2004)
- E.-T. Kim, A. Madhukar, Z. Ye, J.C. Campbell. Appl. Phys. Lett., 84, 3277 (2004)
- P. Bhattacharya, X.H. Su, S. Chakrabarti, G. Ariyawansa, A.G.U. Perera. Appl. Phys. Lett., 86, 191 106 (2005)
- L.D. Moldavskaya, V.M. Daniltsev, M.N. Drozdov, V.R. Zakamov, V.I. Shashkin. Narrow Gap Semiconductors 2005, ed. by Kono \& Leotin [Inst. Phys. Conf. Series, N 187 (Taylor \& Franics, 2005) p. 360]
- D.Fekete, H. Dery, A. Rudra, E. Kapon. J. Appl. Phys., 99 (3), 034 304 (2006)
- J.F. Chen, R.S. Hsiao, Y.P. Chen, J.S. Wang, J.Y. Chi. Appl. Phys. Lett., 87 (14), 141 911 (2005)
- A. Passaseo, R. Rinaldi, M. Longo, S. Antonaci, A.L. Convertino, R. Cingolani, A. Taurino, M. Catalono. J. Appl. Phys., 89 (8), 4341 (2001)
- В.М. Устинов. ФТП, 38 (8), 963 (2004)
- A.A. El-Emawy, S. Birudavolu, P.S. Wong, Y.-B. Jiang, H. Xu, S. Huang, D.L. Huffaker. J. Appl. Phys., 93 (9), 3529 (2003)
- S.J. Lee, S.K. Noh, K.-S. Lee, J.W. Choe. Sol. St. Commun., 132, 115 (2004)
- Д.С. Сизов, М.В. Максимов, А.Ф. Цацульников, Н.А. Черкашин, Н.В. Крыжановская, А.Б. Жуков, Н.А. Малеев, С.С. Михрин, А.П. Васильев, Р. Селин, В.М. Устинов, Н.Н. Леденцов, Д. Бимберг, Ж.И. Алферов. ФТП, 36 (9), 1097 (2002)
- N. Nuntawong, S. Huang, Y.B. Jiang, C.P. Hains, D.L. Huffaker. Appl. Phys. Lett., 87 (11), 113 105 (2005)
- I.N. Kaiander, R.L. Sellin, T. Kettler, N.N. Ledentsov, D. Bimberg, N.D. Zakharov, P. Werner. Appl. Phys. Lett., 84 (16), 2992 (2004)
- G. Saint-Girons, G. Patriarche, L. Largeau, J. Coelho, A. Mereuta, J.M. Gerard, I. Sagnes. J. Cryst. Growth, 235, 89 (2002)
- A. Lenz, H. Eisele, R. Timm, S.K. Becker, R.L. Sellin, U.W. Pohl, D. Bimberg, M. Dahne. Appl. Phys. Lett., 85 (17), 3848 (2004)
- В.И. Шашкин, В.М. Данильцев, М.Н. Дроздов, Ю.Н. Дроздов, Д.М. Гапонова, О.И. Хрыкин, А.В. Мурель, Н.В. Востоков, Taek Kim, Yong-Jo Park. ФТП, 40 (4), 455 (2006)
- V.I. Shashkin, V.M. Daniltsev, Yu.N. Drozdov, O.I. Khrykin, A.V. Murel, N.V. Vostokov. Proc. EW MOVPE VIII (Prague, 1999) p. 159
- G. Costantini, A. Rastelli, C. Manzano, P. Acosta-Diaz, R. Songmuang, G. Katsaros, O.G. Schmidt, K. Kern. Phys. Rev. Lett., 96 (22), 226 106 (2006)
- S.J. Lee, J.O. Kim, S.K. Noh, J.W. Choe, K.-S. Lee. J. Cryst. Growth, 284, 39 (2005)
- I.A. Karpovich, N.V. Baidus, B.N. Zvonkov, S.V. Morozov, D.O. Filatov, A.V. Zdoroveishev. Nanotechnology, 12, 425 (2001)
- H. Zhu, Z. Wang, H. Wang, I. Cui, S. Feng. J. Cryst. Growth, 197, 372 (1999)
- H. Lim, W. Zhang, S. Tsao, T. Sills, J. Szafraniec, K. Mi, B. Movaghar, M. Razeghi. Phys. Rev. B, 72, 085 332 (2005)
- K. Drozdowicz-Tomsiaa, E.M. Goldys, Lan Fu, C. Jagadish. Appl. Phys. Lett., 89 (11), 113 510 (2006)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.