Глубокие уровни и электронный транспорт в гетероструктурах AlGaN/GaN
Антонова И.В.1, Поляков В.И.2, Руковишников А.И.2, Мансуров В.Г.1, Журавлев К.С.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 18 апреля 2007 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 2007 г.
На основе измерений вольт-амперных, вольт-фарадных характеристик и спектроскопии глубоких уровней проведено сравнение концентрации центров с глубокими уровнями и проводимости канала гетероструктур AlGaN/GaN, выращенных методом молекулярно-лучевой эпитаксии с использованием аммиака в качестве источника азота. Обнаружены два типа центров с глубокими уровнями, одни из которых предположительно связаны с точечными дефектами, локализованными вблизи дислокаций, а вторые собственно с дислокациями. Увеличение концентрации центров с глубокими уровнями коррелирует с увеличением удельного сопротивления канала. Плотность центров с глубокими уровнями может достигать значений ~1013 см-2 и приводить к компенсации электронного канала на гетерогранице. PACS: 73.20.Hb, 73.40.Lq, 73.61.Ey
- H.X. Jiang, J.Y. Lin. Opto-Electronics Rev., 10, 271 (2002)
- O. Ambacher, B. Foutz, J. Smart, J.R. Shealy, N.G. Weinman, K. Chu, M. Murphy, A.J. Sierakowski, W.J. Schaff, L.F. Eastman, R. Dimitrov, A. Mitchell, M. Stutzmann. J. Appl. Phys., 87, 334 (2000)
- A. Asgari, M. Kalafi, L. Faraone. J. Appl. Phys., 95, 1185 (2004)
- В.И. Поляков, П.И. Перов, О.Н. Ермакова, М.Г. Ермаков, А.И. Руковишников, В.И. Сергеев. ФТП, 23, 76 (1989)
- V.D. Lang. J. Appl. Phys., 45, 3023 (1974)
- D. Poss. Appl. Phys. Lett., 37, 413 (1980)
- W. Schroter, H. Cerva. Sol. St. Phenomena, 85\&86, 64 (2002)
- Z.-Q. Fang, D.C. Look, X.-L. Wang, J. Han, F.A. Khan, I. Adesida. Appl. Phys. Lett., 82, 1562 (2003)
- L. Lee, F.C. Chang, H.M. Chung, M.C. Lee, W.H. Chen, W.K. Chen. Chinese J. Phys., 40, 424 (2002)
- K. Hofmann, M. Schulz. J. Electrochem. Soc., 132, 2201 (1985)
- J. Osaka, Y. Ohno, S. Kishimoto, K. Maezawa, T. Mizutani. Appl. Phys. Lett., 87, 222 112 (2005)
- A. Hierro, A.R. Arehart, B. Heying, M. Hansen, J.S. Speck, U.K. Mishra, S.P. DenBaars, S.A. Ringel. Phys. Status Solidi B, 228, 309 (2001)
- L. Lymperakis, J. Neugebauer, M. Albrecht, T. Remmele, H.P. Strunk. Phys. Rev. Lett., 93, 196 401 (2004)
- Н.А. Черкашин, Н.А. Берт, Ю.Г. Мусихин, С.В. Новиков, T.S. Cheng, C.T. Foxon, ФТП, 34, 903 (2000)
- V.G. Mansurov, A.Yu. Nikitin, Yu.G. Galitsyn, S.N. Svitasheva, K.S. Zhuravlev, Z. Osvath, L. Dobos, Z.E. Horvath, B. Pecz. J. Cryst. Growth, 300, 145 (2007)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.