Особенности кинетики молекулярно-пучковой эпитаксии соединений в системе GaN--AlN
Алексеев А.Н.1, Бырназ А.Э.1, Красовицкий Д.М.1, Павленко М.В.1, Петров С.И.1, Погорельский Ю.В.1, Соколов И.А.1, Соколов М.А.1, Степанов М.В.1, Шкурко А.П.1, Чалый В.П.1
1Акционерное общество "Светлана-Рост", Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 28 декабря 2006 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2007 г.
Обсуждается влияние условий роста (отношение V/III, температура подложки) на свойства материалов в системе AlN-GaN. Предложена и реализована концепция выращивания многослойной гетероструктуры AlN/AlGaN/GaN, позволяющая улучшить кристаллическое совершенство и морфологию поверхности слоев. Улучшение свойств GaN в многослойной гетероструктуре AlN/AlGaN/GaN/AlGaN подтверждается значительным увеличением подвижности электронов в двумерном электронном газе, образованном на верхней гетерогранице GaN/Al0.3Ga0.7N. PACS: 71.55.Eq, 74.78.Fk, 81.15.-z, 81.16.-c
- O. Ambacher. J. Phys. D: Appl. Phys., 31, 2653 (1998)
- M.S. Shur. Sol. St. Electron., 42 (12), 2131 (1998)
- P. Waltereit, H. Sato, C. Poblenz, D.S. Green, J.S. Brown, M. McLaurin, T. Katona, S.P. DenBaars, J.S. Speck, J.-H. Liang, M. Kato, H. Tamura, S. Omori, C. Funaoka. Appl. Phys. Lett., 84, 2748 (2004)
- S.E. Hooper, M. Kauer, V. Bousquet. Electron. Lett., 40 (1), 33 (2004)
- Y.K. Su, S.J. Chang, T.M. Kuan, C.H. Ko, J.B. Webb, W.H. Lan, Y.T. Cherng, S.C. Chen. Mater. Sci. Engin. B, 110, 172 (2004)
- J.B. Webb, H. Tang, J.A. Bardwell, Y. Liu, J. Lapointe, T. MacElwee. Phys. Status Solidi A, 194 (2), 439 (2002)
- N. Grandjean, J. Massies, F. Semond, S.Yu. Karpov, R.A. Talalaev. Appl. Phys. Lett., 74, 1854 (1999)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.