"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние облучения на свойства SiC и приборы на его основе О б з о р
Калинина Е.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 16 октября 2006 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2007 г.

Рассматриваются вопросы радиационного дефектообразования в карбиде кремния различных политипов, типов проводимости и концентраций носителей заряда при облучении высокоэнергетичными частицами в широком интервале их энергий и масс - от электронов до тяжелых ионов Bi. Также рассматривается влияние облучения высокоэнергетичными частицами на оптические и электрические характеристики приборов на основе SiC, в том числе детекторов ядерных излучений. Показаны общие с другими полупроводниками и характерные для SiC закономерности радиационного дефектообразования в SiC. Подтверждена высокая радиационная устойчивость SiC и показана возможность повышения его радиационного ресурса при повышенных энергиях облучающих частиц и рабочих температурах. PACS: 61.72.Hh, 61.80.-x, 68.55.Ln, 71.55.Ht, 81.40.Wx
  1. Lind and Bardwell. J. Franklin Inst., 196, 521 (1923)
  2. Livingston and Bethe. Rev. Mod. Phys., 9, 245 (1937)
  3. Burton and Rollefson. Photochemistry (N. Y., 1939)
  4. S.S. Bhatnagar K.G., K.G. Mathar, K.L. Buthiraja. Zs. Phys. Chem., 163A, 8 (1933)
  5. A. Smits. Zs. Phys. Chem., 152A, 432 (1930)
  6. Н. Мотт, Г. Месси. Теория атомных столкновений (Физматгиз, 1936)
  7. E.P. Wigner. J. Appl. Phys., 17, 857 (1946)
  8. F. Seitz. Disc. Farad. Soc., 5, 271 (1949)
  9. F. Keywell. Phys. Rev., 97 (6), (1955)
  10. G.H. Kinchin, R.S. Pease. Prog. Phys., 18, 1 (1955). [Пер.: УФН, 60, 590 (1956)]
  11. D.E. Harrison. Phys. Rev., 102 (6), (1956)
  12. Н. Бор. Прохождение атомных частиц через вещество (М., ИЛ, 1960)
  13. Д. Динс, Д. Виньярд. Радиационные эффекты в твердых телах, под ред. Г.С. Жданова (М., ИЛ, 1960)
  14. В.С. Вавилов, Н.А. Ухин. Радиационные эффекты в полупроводниках и полупроводниковых приборах (М., Атомиздат, 1969)
  15. Л.С. Смирнов. Вопросы радиационной технологии полупроводников (Новосибирск, Наука, 1980)
  16. В.С. Вавилов, Б.М. Горин, Н.С. Данилин, А.Е. Кив, Ю.Л. Нуров, В.И. Шаховцов. Радиационные методы в твердотельной электронике (М., Радио и связь, 1990)
  17. В.М. Гусев, К.Д. Демаков, М.Г. Касаганова, М.Б. Рейфман, В.Г. Столярова. ФТП, 9, 1238 (1975)
  18. Е.В. Калинина, Н.К. Прокофьева, А.В. Суворов, Г.Ф. Холуянов, В.Е. Челноков. ФТП, 12, 2305 (1978)
  19. G. Lindstrom, M. Moll, E. Fretwurst. Nucl. Instrum. Meth., 426, 1 (1999)
  20. Properties of Advanced Semiconductor Materials: GaN, AlN, InN, SiC, SiGe, ed. by M.E. Levinshtein, S.L. Rumyantsev, M.S. Shur. (N. Y., John Wiley \& Sons, 2001)
  21. A.L. Barry, B. Lehman, D. Fritsch, D. Brauning. IEEE Trans. Nucl. Sci., 38, 1111 (1991)
  22. А.А. Лебедев, А.М. Иванов, Н.Б. Строкан. ФТП, 38, 129 (2004)
  23. L.W. Aukerman, H.C. Corton, R.K. Willardson, V.E. Bryson. Silicon Carbide, ed. by J.R. O'Connor, J. Smiltens (Oxford, Pergamon, 1959) p. 388
  24. R.V. Babcock, H.C. Chang. Neutron dosimetry (Vienna, 1963) v. 1, p. 613
  25. P.C. Capera, P. Malinaric, R.B. Campbell, J. Ostroski. JEEE Trans. Nucl. Sci., No 6, 262 (1964)
  26. Г.Ф. Холуянов, Б.В. Гавриловский. ФТП, 2, 573 (1968)
  27. J.J. Sumakeris, Mrinal K. Das, Seoyong Ha, E. Hurt, Kenneth Irvine, M.J. Paisley, M.J. O'Loughlin, J.W. Palmour, M. Skowronski, H.McD. Hobgood, C.H. Carter, Jr. Mater. Sci. Forum, 483-485, 155 (2005)
  28. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, Д.В. Давыдов, Г.Н. Виолина. ФТП, 39, 364 (2005)
  29. П.А. Иванов, М.Е. Левинштейн, Т.Т. Мнацаканов, J.W. Palmour, A.K. Agarwal. ФТП, 39, 861 (2005)
  30. Advances in Silicon Carbide Processing and Applications, ed. by S.E. Saddow, A. Agarwal. (Boston-London, Artech House, Inc., 2005)
  31. Л.С. Стильбанс. Физика полупроводников (М., Сов. радио, 1967) с. 167
  32. V.S. Balandovich, G.N. Violina. Cryst. Lattice Def. Amorphous Mater., 13, 189 (1987)
  33. J. Schneider, K. Maier. Physica B, 185, 199 (1993)
  34. А.И. Гирка, В.А. Кулешин, А.Д. Мокрушин, Е.Н. Мохов, С.В. Свирида, А.В. Шишкин. ФТП, 23 (12), 2159 (1989)
  35. H. Inui, H. Mori, H. Fujuta. Phil. Mag. B, 61, 107 (1990)
  36. N. Son, E. Sorman, W. Chen, C. Hallin, O. Kordina, M. Monemar, E. Janzen, J.L. Lindstrom. Phys. Rev. B, 55, 2863 (1997)
  37. H. Itoh, T. Ohshima, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, S. Tanigawa, S. Misawa, H. Okumura, S. Yoshida. Phys. Status Solidi A, 162, 173 (1997)
  38. A. Kawasuso, H. Itoh, D. Cha, S. Okada. Mater. Sci. Forum, 264--268, 611 (1998)
  39. A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, T. Frank, M. Weidner, G. Pensl, P. Sperr, H. Itoh. J. Appl. Phys., 90, 3377 (2001)
  40. A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, M. Yoshikawa, K. Kojima. H. Itoh. Phys. Status Solidi B, 223, R8 (2001)
  41. T. Staab, L.M. Torpo, M.J. Puska, R.M. Nieminen. Mater. Sci. Forum, 353-356, 533 (2001)
  42. A. Kawasuso, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, M. Weidner, T. Frank, G. Pansl, P. Sperr, W. Triftshauser. Appl. Phys. Lett., 79, 3950 (2001)
  43. G. Brauer, W. Anward, E.-M. Nicht, J. Kuriplach, M. Sob, N. Wagner, P.G. Poleman, M.J. Puska, T. Korhonen. Phys. Rev. B, 54, 2512 (1996)
  44. E. Sorman, N.T. Son, W.M. Chen, O. Kordina, C. Hallin, E. Janzen. Phys. Rev. B, 61, 2613 (2000)
  45. Mt. Wagner, N.Q. Thinh, N.T. Son, P.G. Baranov, E.N. Mokhov, C. Hallin, W.M. Chen, E. Janzen. Mater. Sci. Forum, 389-393, 501 (2002)
  46. A. Kawasuso, M. Yoshikawa, M. Maekawa, H. Itoh, T. Chiba, F. Redmann, R. Krause-Rehberg, M. Weidner, T. Frank, G. Pensl. Mater. Sci. Forum, 433-436, 477 (2003)
  47. C. Seitz, A.A. Rempel, A. Mageri, M. Gomm, W. Sprengel, H.-E. Schaefer. Mater. Sci. Forum, 433-436, 289 (2003)
  48. N.T. Son, P.N. Hai, Mt. Wagner, W.M. Chen, A. Ellison, C. Hallin, B. Monemar, E. Janzen. Semicond. Sci. Technol., 14, 1141 (1999)
  49. V.Ya. Bratus, I.N. Makeeva, S.M. Okulov, T.L. Petrenko, T.T. Petrenko, H.J. von Bandeleben. Mater. Sci. Forum, 353-356, 517 (2001)
  50. D. Cha, H. Itoh, N. Morishita, A. Kawasuso, T. Ohshima, Y. Watanabe, J. Ko, K. Lee, I. Nashiyama. Mater. Sci. Forum, 264-268, 615 (1998)
  51. H. Itoh, A. Yedono, T. Ohshima, Y. Aoki, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, S. Tanigawa, H. Okumura, S. Yoshida. Appl. Phys. A: Mater. Sci. Process, 65, 315 (1997)
  52. S. Kanazawa, M. Okada, T. Nozaki, K. Shin, S. Ishihara, I. Kimura. Mater. Sci. Forum, 389-393, 521 (2002)
  53. N.T. Son, P.N. Hai, A. Shuja, W.M. Chen, J.L. Lindstrom, B. Monemar, E. Janzen. Mater. Sci. Forum, 338--342, 821 (2000)
  54. N.T. Son, P.N. Hai, E. Janzen. Phys. Rev. B, 63, R201201 (2001)
  55. A. Gali, B. Aradi, P. Deak, W.J. Choyke, N.T. Son. Phys. Rev. Lett., 84, 4926 (2000)
  56. V.Ya. Bratus, T.T. Petrenko, H.J. von Bandeleben, E.V. Kalinina, A. Hallen. Appl. Surf. Sci., 184, 229--236 (2001)
  57. N.T. Son, P.N. Hai, E. Janzen. Phys. Rev. Lett., 87, 045 502 (2001)
  58. T. Umeda, J. Isoya, N. Morishita, T. Ohshima, T. Camiya. Phys. Rev. B, 69, R121201 (2004)
  59. L. Torpo, M. Marlo. T.E.M. Staab, R.M. Nieminen. J. Phys.: Condens. Matter, 13, 6203 (2001)
  60. V.Ya. Bratus, T.T. Petrenko, S.M. Okulov, T.L. Petrenko. Phys. Rev. B, 71, 125 202 (2005)
  61. Z. Zolnai, N.T. Son, B. Magnusson, C. Hallin, E. Janzen. Mater. Sci. Forum, 457--460, 473 (2004)
  62. В.С. Вайнер, В.С. Ильин. ФТТ, 23, 3659 (1981)
  63. N.T. Son, B. Magnusson, E. Janzen. Appl. Phys. Lett., 81, 3945 (2002)
  64. M. Bockstedte, O. Pankratov. Mater. Sci. Forum, 338-342, 949 (2000)
  65. S. Dannefaer, V. Avalos, M. Syvajarvi, R. Yakimova. Mater. Sci. Forum, 433--436, 173 (2003)
  66. S. Dannefaer, D. Kerr. Diamond Relat. Mater., 13, 157 (2004)
  67. S. Dannefaer, V. Avalos, R. Yakimova. Mater. Sci. Forum, 483-485, 481 (2005)
  68. V.B. Pinheiro, T. Lingner, F. Caudepon, S. Greulich-Weber, J.M. Spaeth. Mater. Sci. Forum, 457-460, 517 (2004)
  69. M. Boskstedle, M. Heid, A. Mattausch, O. Pankratov. Mater. Sci. Forum, 433--436, 471 (2003)
  70. Th. Lingner, S. Greulich-Weber, J.-M. Spaeth, U. Gerstmann, E. Rauls, Z. Hajnal, Th. Frauenheim, H. Overhof. Phys. Rev. B, 64, 245 212 (2001)
  71. W.J. Choyke, Lyle Patrik. Phys. Rev. B, 4, 1843 (1971)
  72. E. Rauls, U. Gerstmann, M.V.B. Pinheiro, S. Greulich-Weber, J.M. Spaeth. Mater. Sci. Forum, 483-485, 465 (2005)
  73. E. Rauls, Th. Frauenheim, A. Gali, P. Deak. Phys. Rev. B, 68, 155 208 (2003)
  74. L.Torpo, R.M. Nieminen, K.E. Laasonen, S. Poykko. Appl. Phys. Lett., 74, 221 (1999)
  75. H.J. von Bandeleben, J.I. Cantin, L. Henry, M.F. Barthe. Phys. Rev. B, 62, 10 841 (2000)
  76. H.J. von Bandeleben, J.I. Cantin, P. Baranov, E.M. Mokhov. Mater. Sci. Forum, 353-356, 509 (2001)
  77. X. Kerbiriou, M.-F. Barthe, S. Esnouf, P. Desgardin, G. Blondiaux, G. Petite. ICSCRM 2005, No 63, 43 (2005)
  78. H.J. von Bandeleben, J.I. Cantin. Appl. Surf. Sci., 184, 237 (2001)
  79. B. Aradi, A. Gali, P. Deak, J.E. Lowther, N.T. Son, E. Janzen, W.J. Choyke. Phys. Rev. B, 63, 245 202 (2001)
  80. A.A. Rempel, W. Sprengel, K. Blaurock, K.J. Reichle, J. Major, H.-E. Schaefer. Phys. Rev. Lett., 89, 185 501 (2002)
  81. M.-F. Barthe, L. Henry, S. Arpiainen, G. Blondiaux. Mater. Sci. Forum, 483-485, 473 (2005)
  82. S. Arpiainen, K. Saarinen, P. Hautojarvi, L. Henry, M.-F. Barthe, C. Corbel. Phys. Rev. B, 66, 075 206 (2002)
  83. J.W. Steeds, S. Furkert, J.M. Hayes, W. Sullivan. Mater. Sci. Forum, 457-460, 561 (2004)
  84. T. Egilsson, J.P. Bergman, I.G. Ivanov, A. Henry, E. Janzen. Phys. Rev. B, 59, 1956 (1999)
  85. G.A. Evans, J.W. Steeds, L. Ley, M. Hundhausen, N. Schulze, G. Pensl. Phys. Rev. B, 66, 035 204 (2002)
  86. J.W. Steeds, G.A. Evans, S. Furkert, L. Ley, M. Hundhausen, N. Schulze, G. Pensl. Mater. Sci. Forum, 433-436, 305 (2003)
  87. J.M. Perlado, L. Malerba, A. Sanchez-Rubio, T. Diaz de la Rubia. J. Nucl. Mater., 276, 235 (2000)
  88. F. Gao, E.J. Bylaska, W.J. Weber, L.R. Corrales. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 180, 286 (2001)
  89. A. Mattausch, M. Bockstedle, O. Pankratov. Mater. Sci. Forum, 353-356, 323 (2001)
  90. W. Sullivan, J.W. Steeds, H.J. von Bandeleben, J.-L. Cantin. ICSCRM 2005, No 66 (2005)
  91. W. Windl, T.J. Lenosky, J.D. Kress, A.F. Voter. Nucl. Instrum. Meth. B, 141, 61 (1998)
  92. R. Devanathan, W.J. Weber. J. Nucl. Mater., 278, 258 (2000)
  93. L. Malerba, J.M. Perlado. Phys. Rev. B, 65, 045 202 (2002)
  94. F. Gao, W.J. Weber, R. Devanathan. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 191, 487 (2002)
  95. Л.С. Смирнов. Вопросы радиационной технологии полупроводников (Новосибирск, Наука, 1977) с. 256
  96. In-Tae Bae, M. Ishimaru, Y. Hirotsu. Mater. Sci. Forum, 389-393, 467 (2002)
  97. R. Devanathan, W.J. Weber, F. Gao. J. Appl. Phys., 90, 2303 (2001)
  98. J.W. Steeds, F. Carosella, G.A. Evans, M.M. Ismail, L.R. Danks, W. Voegeli. Mater. Sci. Forum, 353-356, 381 (2001)
  99. S.C. Sridhara, P.O.A. Persson, F.H.C. Carlsson, J.P. Bergman, E. Janzen, G. Evans, J.W. Steeds. MRS Symp. 640, H6.5.1 (2001)
  100. W. Sullivan, J.W. Steeds. ICSCRM 2005, No 45, 40 (2005)
  101. В.С. Балландович. ФТП, 33, 1314 (1999)
  102. T. Dalibor, G. Pensl, H. Matsunami, T. Kimoto, W.J. Choyke, A. Schroner, N. Nordell. Phys. Status Solidi A, 162, 199 (1997)
  103. G. Pensl, W.J. Choyke. Physica B, 185, 264 (1993)
  104. C. Hemmingsson, N.T. Son, O. Kordina, E. Janzen, J.L. Lindstrom. J. Appl. Phys., 84, 704 (1998)
  105. C. Hemmingsson, N.T. Son, E. Janzen. Appl. Phys. Lett., 74, 839 (1999)
  106. M. Gong, S. Fung, C.D. Beling, Z. You. J. Appl. Phys., 85, 7604 (1999)
  107. C. Hemmingsson, N.T. Son, O. Kordina, J.P. Bergman, E. Janzen, J.L. Lindstrom, S. Savage, N. Nordell. J. Appl. Phys., 81, 6155 (1997)
  108. C.G. Hemmingsson, N.T. Son, A. Ellison, J. Zhang, E. Janzen. Phys. Rev., 58, R10119 (1998)
  109. J.P. Doyle, M.K. Linnarsson, P. Pellegrino, N. Keskitalo, B.G. Svensson, A. Schoner, N. Nordell, J.L. Lindstrom. J. Appl. Phys., 84, 1354 (1998)
  110. A. Kawasuso, M. Weidner, F. Redmann, T. Frank, R. Krause-Rehberg, G. Pansl, P. Sperr, W. Triftshauser, H. Itoh. Mater. Sci. Fotum, 389-393, 489 (2002)
  111. L. Storasta, A. Henry, J.P. Bergman, E. Janzen. Mater. Sci. Fotum, 457-460, 469 (2004)
  112. T.A.G. Eberlein, R. Jones, P.R. Briddon. Phys. Rev. Lett., 90, 225 502 (2003)
  113. I. Pintilie, L. Pintilie, K. Irmscher, B. Thomas. Appl. Phys. Lett., 81, 4841 (2002)
  114. A. Castaldini, A. Cavallini, L. Rigutti, F. Nava. Appl. Phys. Lett., 85, 3780 (2004)
  115. A. Castaldini, A. Cavallini, L. Rigutti, F. Nava, S. Ferrero, F. Giorgis. J. Appl. Phys., 98, 053 706 (2005)
  116. G. Alfieri, E.V. Monakhov, B.G. Svensson, M.K. Linnarsson. J. Appl. Phys., 98, 043 518 (2005)
  117. M. Gong, S. Fung, C.D. Beling, Z. You. J. Appl. Phys., 85, 7120 (1999)
  118. B.E. Watt. Phys. Rev., 87, 1037 (1953)
  119. E. Meese. Neutron Transmutation Doping in Semiconductors (Plenum, 1979)
  120. V. Nagest, J.W. Farmer, R.F. Davis, H.S. Kong. Appl. Phys. Lett., 50, 1138 (1987)
  121. L.A. de Balona, J.H.N. Loubser. J. Phys. C, 3, 2344 (1989)
  122. T. Wimbauer, B.K. Meyer, A. Hofstaetter, A. Scharmann, H. Overhof. Phys. Rev., 56, 7384 (1997)
  123. А.А. Лепнева, Е.Н. Мохов, В.Г. Одинг, А.С. Трегубова. ФТТ, 33, 2217 (1991)
  124. S. Kanazawa, I. Kimura, M. Okada, T. Nozaki, I. Kanno, S. Ishihara, M. Watanabe. Mater. Sci. Forum, 338-342, 825 (2000)
  125. Th. Lingner, S. Greulich-Weber, J.-M. Spaeth. Phys. Rev. B, 64, 245 212 (2001)
  126. S.B. Orlinski, J. Schmidt, E.N. Mokhov, P.G. Baranov. Phys. Rev. B, 67, 125 207 (2003)
  127. I.V. Ilyin, M.V. Muzafarova, E.N. Mokhov, P.G. Baranov, S.B. Orlinski, J. Schmidt. Physica B, 340-342, 128 (2003)
  128. I.V. Ilyin, M.V. Muzafarova, E.N. Mokhov, S.G. Konnikov, P.G. Baranov. Mater. Sci. Forum, 483-485, 489 (2005)
  129. Lyle Patrick, W.J. Choyke. J. Phys. Chem. Sol., 34, 565 (1973)
  130. X.D. Chen, S. Fung, C.C. Ling, A.C. Beling, M. Cong. J. Appl. Phys., 94, 3004 (2003)
  131. Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Д.В. Давыдов, А.М. Стрельчук, A. Hallen, О. Константинов, В.В. Лучинин, А.Ю. Никифоров. ФТП, 37, 1260 (2003)
  132. S. Kanazawa, M. Okada, J. Ishii, T. Nozaki, K. Shin, S. Ishihara, I. Kimura. Mater. Sci. Forum, 389-393, 517 (2002)
  133. T. Troffer, C. Peppermuller, G. Pensl, K. Rottner, A. Schoner. J. Appl. Phys., 80, 3739 (1996)
  134. S. Greulich-Weber, M. Freege, J.-M. Spaeth, E.N. Kalabukhova, S.N. Lukhin, E.N. Mokhov. Sol. St. Commun., 93, 393 (1995)
  135. A. Gali, P. Deak, P.R. Briddon, W.J. Choyke. Phys. Rev. B, 61, 12 602 (2000)
  136. S. Tamura, T. Kimoto, H. Matsunami, M. Okada, S. Kanazawa, I. Kimura. Mater. Sci. Forum, 338-342, 849 (2000)
  137. F.H.C. Carlsson, L. Storasta, B. Magnusson, J.P. Bergman, K. Skold, E. Janzen. Mater. Sci. Forum, 353-356, 555 (2001)
  138. C. Seitz, A. Magerl, R. Hock, H. Heissenstein, R. Helbig. Mater. Res. Soc. Symp., 640, H6.4.1 (2001)
  139. P.G. Baranov, I.V. Ilyin, E.N. Mokhov, H.J. von Bandeleben, J.L. Cantin. Mater. Sci. Forum, 433--436, 503 (2003)
  140. L.L. Snead, S.J. Zinkle, J.C. Hay, M.C. Osborne. Nucl. Instrum. Meth. B, 141, 123 (1998)
  141. N. Bohr, J. Lindhard. Mat. Fys. Medd., 28 (7), 17 (1954)
  142. М.И. Маркович, Э.Н. Вологдин, П.Т. Бармин. Физические основы радиационной технологии твердотельных электронных приборов, под ред. А.Ф. Лубченко (Киев, Наук. думка, 1978) с. 151
  143. В.В. Козловский. Модифицирование полупроводников пучками протонов (СПб., Наука, 2003)
  144. В.М. Кулаков, Е.А. Ладыгин, В.И. Шаховцов, Э.Н. Вологдин, Ю.Н. Андреев. Действие проникающей радиации на изделия электронной техники, под ред. Е.А. Ладыгина (М., Сов. радио, 1980) с. 34
  145. J.F. Zeigler, J.P. Biersack, U. Littmamark. The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon, Oxford, 1985)
  146. H. Itoh, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, S. Misawa, H. Okumura, S. Yoshida. IEEE Trans. Nucl. Sci., 37, 1732 (1990)
  147. H. Itoh, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, S. Misawa, H. Okumura, S. Yoshida, J. Electron. Mater., 21, 707 (1992)
  148. H.J. von Bandeleben, J.L. Cantin, I. Vickridge, G. Battistig. Phys. Rev. B, 62, 10 126 (2000)
  149. М.М. Аникин, А.С. Зубрилов, А.А. Лебедев, А.М. Стрельчук, А.Е. Черенков. ФТП, 25, 479 (1991)
  150. L. Storasta, F.H.C. Carisson, S.G. Shidhara, A. Angstrem berg, J.P. Bergman, A. Hallen, E. Janzen. Mater. Sci. Forum, 353-356, 431 (2001)
  151. M.L. David, G. Alfieri, E.V. Monakhov, A. Hallen, J.F. Barbot, B.G. Svensson. Mater. Sci. Forum, 433-436, 371 (2003)
  152. D.M. Martin, H. Kontegaard Nielsen, P. Lev\^eque, A. Hallen. Appl. Phys. Lett., 84, 1704 (2004)
  153. A. Galeckas, H. Kontegaard Nielsen, J. Linnros, A. Hallen, B.G. Svensson, P. Pirouz. Mater. Sci. Forum, 483-485, 327 (2005)
  154. W. Puff, A.G. Balogh, P. Mascher. Mater. Sci. Forum, 338-342, 965 (2000)
  155. W. Puff, A.G. Balogh, P. Mascher. Mater. Sci. Forum, 338-342, 969 (2000)
  156. D.T. Britton, M.-F. Barthe, C. Corbel, A. Hempel, L. Henry, P. Desgardin, W. Bauer-Kugelmann, G. Kogel, P. Sperr, W. Triftshauser. Appl. Phys. Lett., 78, 1234 (2001)
  157. M.-F. Barthe, P. Desgardin, L. Henry, C. Corbel, D.T. Britton, G. Kogel, P. Sperr, W. Triftshauser, P. Vicente, L. di Cioccio. Mater. Sci. Forum, 389-393, 493 (2002)
  158. D.V. Davydov, A.A. Lebedev, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk. Physica B, 308-310, 641 (2001)
  159. Е.В. Богданова, В.В. Козловский, Д.С. Румянцев, А.А. Волкова, А.А. Лебедев. ФТП, 38, 1211 (2004)
  160. Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Н.С. Савкина, А.А. Лебедев, В.В. Козловский, M. Syvajarvi, Р. Якимова. ФТП, 38, 841 (2004)
  161. В.А. Козлов, В.В. Козловский, А.Н. Титков, М.С. Дунаевский, А.К. Крыжановский. ФТП, 36, 1310 (2002)
  162. А.А. Лебедев, А.И. Вейнгер, Д.В. Давыдов, В.В. Козловский, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук. ФТП, 34, 897 (2000)
  163. А.А. Лебедев, А.И. Вейнгер, Д.В. Давыдов, В.В. Козловский, Н.С. Савкина, А.М. Стрельчук. ФТП, 34, 1058 (2000)
  164. Н.Н. Герасименко. Тр. 1-й Моск. межд. школы физики ИТЭФ (Звенигород, 1998) с. 173
  165. L. Patrick, W.J. Choyke. Phys. Rev. B, 5, 3253 (1972)
  166. A. Uedono, H. Itoh, T. Ohshima, R. Suzuki, T. Okdaira, S. Tanigawa, Y. Aoki, M. Yoshikawa, I. Nashiyama, T. Mikado, H. Okumura, S. Yoshida. Jpn. J. Appl. Phys., 36, 6650 (1997)
  167. H. Wirth, W. Anwand, G. Brauer, M. Voelskow, D. Panknin, W. Skorupa, P.G. Coleman. Mater. Sci. Forum, 264-268, 729 (1998)
  168. W. Anwand, G. Brauer, P.G. Coleman, M. Voelskow, W. Skorupa. Appl. Surf. Sci., 149, 148 (1999)
  169. S.G. Sridhara, D.G. Nizhner, R.P. Devaty, W.J. Choyke, T. Dalibor, G. Pensl, T. Kimoto. Mater. Sci. Forum, 264-268, 493 (1998)
  170. M. Gong, C.V. Reddy, C.D. Beling, S. Fung, G. Brauer, H. Wirth, W. Skorupa. Appl. Phys. Lett., 72, 2739 (1998)
  171. Y. Pasaud, W. Skorupa, J. Stoemenos. Nucl. Instrum. Meth. B, 120, 181 (1996)
  172. N. Chechenin, K. Bourdelle, A. Suvorov, A. Kastilio-Vitlosh. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res., 65, 341 (1992)
  173. W. Jiang, W.J. Weber, S. Thevuthasan, D.E. McCready. Nucl. Instrum. Meth. B, 148, 557 (1999)
  174. W. Jiang, S. Thevuthasan, W.J. Weber, R. Grotzschel. Nucl. Instrum. Meth. B, 161-163, 501 (2000)
  175. N.Q. Khanh, Z. Zolnai, T. Lohner, L. Toth, L. Dobos, J. Gyulai. Nucl. Instrum. Meth. B, 161-163, 424 (2000)
  176. A. Kawasuso, M. Weidner, F. Redmann, T. Frank, P. Sperr, R. Krause-Rehberg, W. Triftshauser, G. Pensl. Physica B, 308-310, 660 (2001)
  177. M. Weidner, T. Frank, G. Pensl, A. Kawasuso, H. Itoh, R. Krause-Rehberg. Physica B, 308-310, 633 (2001)
  178. D. Angstrem berg, A. Hallen, B.G. Svensson. Physica B, 273-274, 672 (1999)
  179. Th. Frank, G. Pensl, Song Bai, R.P. Devaty, W.J. Choyke. Mater. Sci. Forum, 338--342, 753 (2000)
  180. X.D. Chen, C.C. Ling, S. Fung, C.D. Beling, H.S. Wu, G. Brauer, W. Anwand, W. Skorupa. Mater. Sci. Soc. Symp. Proc., 815, J5.5.1 (2004)
  181. C.C. Ling, X.D. Chen, G. Brauer, W. Anwand, W. Skorupa, H.Y. Wang, H.M. Weng. J. Appl. Phys., 98, 043 508 (2005)
  182. Th. Frank, M. Weidner, H. Itoh, G. Pensl. Mater. Sci. Forum, 353--356, 439 (2001)
  183. Y. Tanaka, N. Kobayashi, H. Okumura, R. Suzuki, T. Ohdaira, M. Hasegawa, M. Ogura, S. Yoshida, H. Tanoue. Mater. Sci. Forum, 338-342, 909 (2000)
  184. A. Ruggiero, S. Libertino, M. Mauceri, R. Reitano, P. Musumeci, F. Roccaforte, F. La Via, L. Calcagno. Mater. Sci. Forum, 457-460, 493 (2004)
  185. A. Ruggiero, M. Zimbone, F. Roccaforte, S. Libertino, F. La Via, R. Reitano, L. Calcagno. Mater. Sci. Forum, 483-485, 485 (2005)
  186. F. Roccaforte, F. Giannazzo, C. Bongiorno, S. Libertino, F. La Via, R. Reitano. Mater. Sci. Forum, 483-485, 729 (2005)
  187. F. Gao, W.J. Weber, W. Jiang. Phys. Rev. B, 63, 214 106 (2001)
  188. J. Slotte, K. Saarinen, M.S. Janson, A. Hallen, Yu. Kuznetsov, B.G. Svensson, J. Wong-Leung, C. Jagadish. J. Appl. Phys., 97, 033 513 (2005)
  189. A. Uedono, S. Tanigawa, T. Frank, G. Pensl, R. Suzuki, T. Ohdaira, T. Mikado. J. Appl. Phys., 87, 4119 (2000)
  190. S. Nakashima, T. Mitani, J. Senzaki, H. Okumura, T. Yamamoto. J. Appl. Phys., 97, 123 507 (2005)
  191. M. Bockstedle, A. Mattausch, O. Pankratov. Mater. Sci. Forum, 457-460, 715 (2004)
  192. M. Laube, F. Schmid, G. Pensl, G. Wagner, M. Linnarsson, M. Maier. J. Appl. Phys., 92, 549 (2002)
  193. E. Kalinina, N. Strokan, A. Ivanov, A. Sadohin, V. Kossov, R. Yafaev, A. Azarov, S. Lashaev. Paper for Proceedings of 6th European Conference on Silicon Carbide and Related Materials (ECSCRM2006), Sept. 3-8 (Newcastle, UK 2006)
  194. M.S. Janson, J. Slotte, A.Yu. Kuznetsov, K. Saarinen, A. Hallen. J. Appl. Phys., 95, 57 (2004)
  195. M.S. Janson, A. Hallen, P. Godignon, A.Yu. Kuznetsov, M.K. Linnarsson, E. Morvan, B.G. Svensson. Mater. Sci. Forum, 338--342, 889 (2000)
  196. W. Jiang, W.J. Weber. Phys. Rev. B, 64, 125 206 (2001)
  197. J. Wong-Leung, M.S. Janson, B.G. Svensson. J. Appl. Phys., 93, 8914 (2003)
  198. F.H.C. Carlsson, S.G. Sridhara, A. Hallen, J.P. Bergman, E. Janzen. Mater. Sci. Forum, 433-436, 345, (2003)
  199. W. Anwand, G. Brauer, P.G. Coleman, R. Yankov, W. Skorupa. Appl. Surf. Sci., 149, 140 (1999)
  200. J. Slotte, K. Saarinen, A.Yu. Kuznetsov, A. Hallen. Physica B, 308-310, 664 (2001)
  201. Y. Zhang, W.J. Weber, W. Jiang, C.M. Wang, A. Hallen, G. Passnert. J. Appl. Phys., 93, 8914 (2003)
  202. E. Wendler, A. Helf, W. Wesch. Nucl. Instrum. Meth. Phys. Res. B, 141, 105 (1998)
  203. A.Yu. Kuznetsov, J. Wong-Leung, A. Hallen, C. Jagadish, B.G. Svensson. J. Appl. Phys., 94, 7112 (2003)
  204. В.А. Скуратов, А.Е. Ефимов, Д.Л. Загорский. ФТТ, 44, 165 (2002)
  205. А.И. Гирка, А.Ю. Дадык, А.Д. Мокрушин, Е.Н. Мохов, С.В. Свирида, А.В. Шишкин, В.Г. Шмаровоз. Письма ЖТФ, 15, 24 (1989)
  206. А.И. Гирка, А.Д. Мокрушин, Е.Н. Мохов, В.М. Осадчиев, С.В. Свирида, А.В. Шишкин. ЖЭТФ, 97, 578 (1990)
  207. L.Liszkay, K. Havancsak, M.-F. Barthe, P. Desgardin, L. Henry, Zs. Kajcsos, G. Battistig, E. Szilagyi, V.A. Skuratov. Mater. Sci. Forum, 363, 123 (2001)
  208. M. Levalois, I. Lhermitte-Sebire, P. Marie, E. Paumier, J. Vicens. Nucl. Instrum. Meth. B, 107, 239 (1996)
  209. I. Lhermitte-Sebire, J.L. Chermant, M. Levalois, E. Paumier, J. Vicens. Phil. Mag. A, 69, 237 (1994)
  210. K. Yasuda, M. Takeda, H. Masuda, A. Yoshida. Phys. Status Solidi A, 71, 549 (1982)
  211. D.V. Kratic, M.D. Vlajic, R.A. Verrall. Key Engin. Mater., 122--124, 387 (1996)
  212. S.J. Zinkle, J.W. Jones, V.A. Skuratov. MRS Symp. Proc., 650, R3.19.1 (2001)
  213. E. Kalinina, G. Kholujanov, G. Onushkin, D. Davydov, A. Strel'chuk, A. Zubrilov, A. Hallen, A. Konstantinov, V. Shuratov, J. Stano. Mater. Sci. Forum, 433--436, 467 (2003)
  214. Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, Д.В. Давыдов, А.М. Стрельчук, А.О. Константинов, A. Hallen, А.Ю. Никифоров, В.А. Скуратов, K. Havancsak. ФТП, 38, 1223 (2004)
  215. E.V. Kalinina, V.A. Skuratov, A.A. Sitnikova, E.V. Kolesnikova, A.S. Tregubova, M.P. Scheglov. ФТП, 4, 392 (2007)
  216. W. Primak, L.H. Fuchs, P.P. Day. Phys. Rev., 103, 1184 (1956)
  217. М. Хеершап, Р. де Конинк. Полупроводниковые счетчики излучений (М., Госатомиздат, 1962) с. 238
  218. C.E. Barnes. Appl. Phys. Lett., 20, 86 (1972)
  219. И.В. Рыжиков, И.Л. Касаткин, Е.Ф. Уваров. Электрон. техн., сер 2, N 4 (147), 9 (1981)
  220. В.В. Евстропов, А.М. Стрельчук. ФТП, 30, 112 (1996)
  221. A.M. Strel'chuk, V.V. Kozlovski, A.A. Lebedev, N.Yu. Smirnova. Mater. Sci. Forum, 483-485, 1001 (2005)
  222. А.В. Афанасьев, В.А. Ильин, А.А. Петров. Петербурский журн. электроники, 3-4, 12 (2000)
  223. А.Ю. Никифоров, А.В. Афанасьев, В.А. Ильин, В.В. Лучинин, А.А. Петров. В сб.: Радиационная стойкость электронных систем " Стойкость-2001" (М., Паимс, 2001) т. 4, с. 145
  224. А.Ю. Никифоров, П.А. Иванов, В.В. Лучинин. В сб.: Радиационная стойкость электронных систем " Стойкость-2002" (М., Паимс, 2002) т. 5, с. 167
  225. А.Ю. Никифоров, Е.В. Калинина, В.В. Лучинин, А.М. Стрельчук, Д.В. Давыдов. В сб.: Радиационная стойкость электронных систем " Стойкость-2001" (М., Паимс, 2002) т. 5. с. 169
  226. E. Kalinina, A. Strel'chuk, A.A. Lebedev, N. Strokan, A. Ivanov, G. Kholuyanov. Тр. конф. ECSCRM 2005, Сентябрь 18-23, 2005 (Питтсбург, США)
  227. A. Strel'chuk, E. Kalinina, A.O. Konstantinov, A. Hallen. Mater. Sci. Forum, 483-485, 993 (2005)
  228. A. Strel'chuk, V.V. Kozlovski, N.S. Savkina, M.G. Rastegaeva, A.N. Andreev. EMRS (Strasburg, 1998)
  229. Y. Tanaka, K. Kojima, K. Takao, M. Okamoto, M. Kawasaki, A. Takatsuka, T. Yatsuo, K. Arai. Mater. Sci. Forum, 483-485, 985 (2005)
  230. M. Wolborski, M. Bakowski, W. Klamra. Mater. Sci. Forum, 457-460, 1487 (2004)
  231. J.M. McGarrity, C.J. Scozzie, J. Blackburn, W.M. DeLancey. IEEE Nuclear Science Symposium and Medical Imaging Conference, Record 1, 114 (1995)
  232. T. Ohshima, K.K. Lee, A. Ohi, M. Yoshikawa, H. Itoh. Sci. Forum, 389-393, 1093 (2002)
  233. K.K. Lee, T. Ohshima, H. Itoh. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50, 194 (2003)
  234. J.N. Merrett, J.R. Williams, J.D. Cressler, A. Sutton, L. Cheng, V. Bondarenko, I. Sankin, D. Seale, M.S. Mazzola, B. Krishnan, Y. Koshka, J.B. Casady. Mater. Sci. Forum, 483-485, 885 (2005)
  235. F. Nava, P. Vanni, G. Verzellesi, A. Castaldini, A. Cavallini, L. Polenta, R. Nipoti, C. Donolato. Mater. Sci. Forum, 353-356, 757 (2001)
  236. A. Lo Giudice, P. Olivero, F. Fizzotti, C. Manfredotti, E. Vittone, S. Bianco, G. Bertuccio, R. Casiraghi, M. Jaksic. Mater. Sci. Forum. 483--485, 389 (2005)
  237. А.М. Иванов, А.А. Лебедев, Н.Б. Строкан. ФТП, 40, 1259 (2006)
  238. F. Nava, E. Vittone, P. Vanni, G. Verzellesi, P.G. Fuochi, C. Lanzieri, M. Glaser. Nucl. Instrum. Meth. A, 505, 645 (2003)
  239. G. Bertuccio, S. Binetti, S. Caccia, R. Casiraghi, A. Cavallini, C. Lanzieri, A. Le Donne, F. Nava, S. Pizzini, R. Rigutti, G. Verzellesi, E. Vittone. Mater. Sci. Forum, 483--485, 1015 (2005)
  240. Н.Б. Строкан, А.А. Лебедев, А.М. Иванов, Д.В. Давыдов, В.В. Козловский. ФТП, 34, 1443 (2000)
  241. А.М. Иванов, Н.Б. Строкан, Д.В. Давыдов, Н.С. Савкина, А.А. Лебедев, Ю.Т. Миронов, Г.А. Рябов, Е.М. Иванов. ФТП, 35, 495 (2001)
  242. S. Sciortino, F. Hartjes, S. Lagomarsino, F. Nava, M. Brianzi, V. Cindro, C. Lanzieri, M. Moll, P. Vanni. Nucl. Instrum. Meth. A, 552, 138 (2005).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.