Вышедшие номера
Home » Физика и техника полупроводников » Год 2026, выпуск 3 » Статья стр. 137
<<<>>>
Упорядоченные структуры серебра на кремнии: от " наноцветов" к " эндотаксиальным" наночастицам
The Ministry of Science and Higher Education of the Russian Federation, FFUG-2024-0017
Федорова Е.С. 1,2, Марков Д.П. 1, Пригода К.В. 1, Большаков В.О. 1, Солодовченко Н.С. 1, Ермина А.А. 1, Жарова Ю.А. 1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский политехнический университет Петра Великого, Санкт-Петербург, Россия
Email: bright.molllee@gmail.com, danisimyss@gmail.com, kristinaprigoda@mail.ioffe.ru, vobolshakov@mail.ioffe.ru, n.solodovchenko@metalab.ifmo.ru, annaermina@mail.ioffe.ru, piliouguina@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 31 марта 2026 г.
В окончательной редакции: 4 июня 2026 г.
Принята к печати: 4 июня 2026 г.
Выставление онлайн: 29 июля 2026 г.
PDF версия
Созданы упорядоченные серебряные наноструктуры на подложке монокристаллического кремния методом литографически контролируемого гальванического вытеснения. Исходная морфология в виде серебряных " наноцветов" была получена объединением высокотехнологичного метода электронной литографии и реакции гальванического вытеснения из раствора AgNO3:HF. Последующая высокотемпературная обработка приводит к трансформации серебряных " наноцветов" в эндотаксиальные (внедренные в приповерхностный слой монокристаллической кремниевой подложки) серебряные наночастицы пирамидальной формы. Ключевые слова: литографически контролируемое гальваническое вытеснение, упорядоченные наноструктуры, Ag " наноцветы", " эндотаксиальные" наночастицы Ag.
  1. U. Kreibig, M. Vollmer. Optical properties of metal clusters (Berlin, Springer, 2013). DOI: 10.1007/978-3-662-09109-8
  2. L. Wang, M. Kafshgari, M. Meunier. Adv. Funct. Mater., 30 (51), 2005400 (2020). DOI: 10.1002/adfm.202005400
  3. P.K. Jain, X. Huang, I.H. El-Sayed, M.A. El-Sayed. Acc. Chem. Res., 41 (12), 1578 (2008). DOI: 10.1021/ar7002804
  4. E. Boulais, R. Lachaine, A. Hatef, M. Meunier. J. Photochem. Photobiol. C, 17, 26 (2013). DOI: 10.1016/j.jphotochemrev.2013.06.001
  5. I. Shutsko, M. Buchmuller, M. Meudt, P. Corrn. Adv. Opt. Mater., 10 (9), 2102783 (2022). DOI: 10.1002/adom.202102783
  6. N. Liu, M.L. Tang, M. Hentschel, H. Giessen, A.P. Alivisatos. Nature Materials, 10 (8), 631 (2011). DOI: 10.1038/nmat3029
  7. M. Pan, J. Yang, K. Liu, Z. Yin, T. Ma, S. Liu, L. Xu, S. Wang. Nanomaterials, 10 (2), 209 (2020). DOI: 10.3390/nano10020209
  8. N. Bhalla, A. Jamshaid, M.H.M. Leung, N. Ishizu. ACS Appl. Nano Mater., 2 (4), 2064 (2019). DOI: 10.1021/acsanm.9b00066
  9. S. Han, C. Chen, C. Chen, L. Wu, X. Wu, C. Lu, X. Zhang, P. Chao, X. Lv, Z. Jia, J. Hou. Anal. Chim. Acta, 1254, 341116 (2023). DOI: 10.1016/j.aca.2023.341116
  10. J. Chen, H. Zhang, G. Liu, J. Liu, Y. Liu, L. Tang, Z. Liu. Plasmonics, 14 (2), 279 (2019). DOI: 10.1007/s11468-018-0802-7
  11. H.A. Atwater, A. Polman. Nature Materials, 9, 205 (2010). DOI: 10.1038/nmat2629
  12. M.S. Gangwar, A.K. Singh, P. Agarwal. AIP Conf. Proc., 2220, 020167 (2020). DOI:10.1063/5.0001410
  13. S. Morawiec, M.J. Mendes, F. Priolo, I. Crupi. Mater. Sci. Semicond. Process., 92, 10 (2019). DOI: 10.1016/j.mssp.2018.04.035
  14. K.R. Catchpole, A. Polman. Opt. Express, 16 (26), 21793 (2008). DOI: 10.1364/OE.16.021793
  15. M. Lippitz, M.A. van Dijk, M. Orrit. Nano Lett., 5 (4), 799 (2005). DOI: 10.1021/nl0502571
  16. Z.-W. Yang, L. Meng, J.-S. Lin, W.-M. Yang. Adv. Opt. Mater., 7 (23), 1901010 (2019). DOI: 10.1002/adom.201901010
  17. G. Bhowmik, Y.Q. An, A.C. Diebold, M. Huang. Nanophotonic Materials XV, 10720, 31 (2018). DOI: 10.1117/12.2322014
  18. G. Bhowmik, Y.Q. An, S. Schujman, A.C. Diebold, M. Huang. J. Appl. Phys., 128 (16), 165106 (2020). DOI: 10.1063/5.0012529
  19. C.S.H. Hwang, M.-S. Ahn, Y. Lee, T. Chung, K.-H. Jeong. Sci. Rep., 9 (1), 9082 (2019). DOI: 10.1038/s41598-019-45689-9
  20. Y. Liu, Y.H. Lee, Q. Zhang, Y. Cui, X.Y. Ling. J. Mater. Chem. C, 4 (19), 4312 (2016). DOI: 10.1039/C6TC00682E
  21. J. Aizpurua, R. Hillenbrand. Localized surface plasmons: basics and applications in field-enhanced spectroscopy (Berlin, Springer, 2012). DOI: 10.1007/978-3-642-28079-5_5
  22. M. Bauch, K. Toma, M. Toma, Q. Zhang, J. Dostalek. Plasmonics, 9 (4), 781 (2014). DOI: 10.1007/s11468-013-9660-5
  23. A. Tabarov, K. Prigoda, E. Popov, A. Ermina, V. Levitskii, D. Krylov, O. Andreeva, A. Gazizulin, V. Bolshakov, V. Tolmachev, D. Markov, I. Amosova, T. Timoshicheva, A. Gorshkov, D. Danilenko, V. Vitkin, Y. Zharova. Appl. Surf. Sci., 682, 155146 (2023). DOI: 10.1016/j.apsusc.2024.161771
  24. A.A. Ermina, N.S. Solodovchenko, K.V. Prigoda, V.S. Levitskii, V.O. Bolshakov, M.Yu. Maximov, Y.M. Koshtyal, S.I. Pavlov, V.A. Tolmachev, Y.A. Zharova. Appl. Surf. Sci., 608, 161771 (2023). DOI: 10.1016/j.apsusc.2022.155146
  25. K. Prigoda, A. Ermina, V. Bolshakov, A. Tabarov, A. Levitskii, O. Andreeva, A. Gazizulin, S. Pavlov, D. Danilenko, V. Vitkin, Y. Zharova. Optical Mater., 149, 114977 (2024). DOI: 10.1016/j.optmat.2024.114977
  26. A.A. Ermina, N.S. Solodovchenko, V.S. Levitskii, N.A. Belskaya, S.I. Pavlov, V.O. Bolshakov, V.A. Tolmachev, Yu.A. Zharova. Mater. Sci. Semicond., 169, 107861 (2024). DOI: 10.1016/j.mssp.2023.107861
  27. В.В. Климов. Наноплазмоника, 2-е изд. (М., Физматлит, 2010)
  28. Y. Wang, E.W. Plummer, K. Kempa. Adv. Phys., 60 (5), 799 (2011). DOI: 10.1080/00018732.2011.621320
  29. S.A. Maier. Plasmonics: Fundamentals and Applications, 1st ed. (Springer New York, N. Y., 2007). DOI:10.1007/0-387-37825-1
  30. S.M. Prokes, O.J. Glembocki, E. Cleveland, J.D. Caldwell, E. Foos, J. Niinisto, M. Ritala. Appl. Phys. Lett., 100, 053106 (2012). DOI: 10.1063/1.3679106
  31. S.M. Prokes, O.J. Glembocki. ECS Trans., 64 (9), 279 (2014). DOI: 10.1149/06409.0279ecst
  32. F.M. Liu, M. Green. J. Mater. Chem., 14 (10), 1526 (2004). DOI: 10.1039/B400488B
  33. M. vSubr, M. Petr, O. Kylian, J. vStvepanek, M. Veis, M. Prochazka. Sci. Rep., 7 (1), 4293 (2017). DOI: 10.1038/s41598-017-04565-0
  34. B. Ge, S. Larson, H. Tu, Y. Zhao, Y. Fei. Nanotechnology, 31 (7), 075705 (2019). DOI: 10.1088/1361-6528/ab53ae
  35. A.A. Ermina, N.S. Solodovchenko, V.O. Bolshakov, K.V. Prigoda, D.P. Markov, Y.A. Zharova. Optical Mater., 157, 116315 (2024). DOI: 10.1016/j.optmat.2024.116315
  36. V. Sivakov, E.Y. Kaniukov, A.V. Petrov, O.V. Korolik, A.V. Mazanik, A. Bochmann, S. Teichert, I.J. Hidi, A. Schleusener, D. Cialla, M.E. Toimil-Molares, C. Trautmann, J. Popp, S.E. Demyanov. J. Cryst. Growth, 400, 21 (2014). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2014.04.024
  37. N. Riswana Barveen, T.J. Wang, Y.H. Chang. Microchem. J., 159, 105520 (2020). DOI: 10.1016/j.microc.2020.105520
  38. Q. Wang, H. Zheng, Y. Xu, L. Guo, J. Sang. Plasmonics, 20, 8243 (2025). DOI: 10.1007/s11468-025-02808-9
  39. Y. Jen, J.-M. Wang, B. Zhan, C.-W. Yu, Q.-H. Li. Adv. Photonics Res., 5, 2400066 (2024). DOI: 10.1002/adpr.202400066
  40. H. Jia, C.C. Tsoi, A. El Abed, W. Yu, A. Jian, S. Sang, X. Zhang. Laser Photonics Rev., 17 (5), 2200700 (2023). DOI: 10.1002/lpor.202200700
  41. S. Kasani, K. Curtin, N. Wu. Nanophotonics, 8 (12), 2065 (2019). DOI: 10.1515/nanoph-2019-0158
  42. M.L. Coluccio, F. Gentile, M. Francardi, G. Perozziello, N. Malara, P. Candeloro, E. Di Fabrizio. Sensors, 14 (4), 6056 (2014). DOI: 10.3390/s14040605
  43. I. Bonev. Acta Crystallogr. A, 28 (6), 508 (1972). DOI: 10.1107/S056773947200139
  44. R.R. Juluri, A. Rath, A. Ghosh, A. Bhukta, R. Sathyavathi, D. Narayana Rao, K. Muller, M. Schowalter, K. Frank, T. Grieb, F. Krause, A. Rosenauer, P.V. Satyam. Sci. Rep., 4, 4633 (2014). DOI: 10.1038/srep04633
  45. A. Roy, T.K. Chini, B. Satpati. Appl. Surf. Sci., |bf501, 144225 (2020). DOI: 10.1016/j.apsusc.2019.144225
  46. R.R. Juluri, A. Rath, A. Ghosh, P.V. Satyam. J. Phys. Chem. C, 117 (25), 13247 (2013). DOI: 10.1021/jp4016189
  47. Y.A. Zharova, A.A. Ermina, N.S. Solodovchenko, V.O. Bolshakov, K.V. Prigoda, N.A. Belskaya, D.P. Markov, S.A. Grudinkin. Appl. Surf. Sci., 682, 161549 (2025). DOI: 10.1016/j.apsusc.2024.161549
  48. C. Carraro, R. Maboudian, L. Magagnin. Surf. Sci. Rep., 62 (12), 499 (2007). DOI: 10.1016/j.surfrep.2007.08.002
  49. A. Ermina, A. Larin, N. Solodovchenko, D. Markov, D. Krasilina, N. Belskaya, K. Prigoda, V. Bolshakov, Yu. Zharova. Mater. Sci. Semicond. Process., 207, 110462 (2026). DOI: 10.1016/j.mssp.2026.110462
  50. A. Ermina, N. Solodovchenko, A. Larin, V. Bolshakov, K. Prigoda, D. Markov, Yu. Zharova. J. Phys. Chem. Solids, 211, 113384 (2026). DOI: 10.1016/j.jpcs.2025.113384
  51. A.A. Ermina, N.S. Solodovchenko, K.V. Prigoda, V.S. Levitskii, S.I. Pavlov, Yu.A. Zharova. Semiconductors, 57 (4), 241 (2023). DOI: 10.61011/SC.2023.04.56420.07k
  52. Ellipsometry at the Nanoscale, ed. by M. Losurdo, K. Hingerl (Berlin, Springer, 2013). DOI: 10.1007/978-3-642-33956-1
  53. H. Fujiwara. Spectroscopic ellipsometry: principles and applications, 1st ed. (John Wiley \& Sons, 2007)
  54. H.S. Sehmi, W. Langbein, E.A. Muljarov. Phys. Rev. B, 95 (11), 115444 (2017). DOI: https://doi.org/10.1103/PhysRevB.95.115444
  55. P. Lalanne, W. Yan, A. Gras, C. Sauvan, J.-P. Hugonin, M. Besbes, G. Demesy, M.D. Truong, B. Gralak, F. Zolla, A. Nicolet, F. Binkowski, L. Zschiedrich, S. Burger, J. Zimmerling, R. Remis, P. Urbach, H.T. Liu, T. Weiss. J. Opt. Soc. Am. A, 36, 686 (2019)
  56. M. Garcia-Vergara, G. Demeesy, F. Zolla. Optics Lett., 42 (6), 1145 (2017). DOI: 10.1364/OL.42.001145
  57. P.L. Stiles, J.A. Dieringer, N.C. Shah, R.P. Van Duyne. Annual. Rev. Anal. Chem., 1, 601 (2008). DOI: 10.1146/annurev.anchem.1.031207.112814
  58. E.D. Palik. Handbook of optical constants of solids (Academic Press, 1998)
  59. D.E. Aspnes. Thin Sol. Films, 89 (3), 249 (1982). DOI: 10.1016/0040-6090(82)90590-9

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель

© 2026 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук
Powered by webapplicationthemes.com - High quality HTML Theme