Дискретная модель развития и релаксации локального микропробоя в кремниевых лавинных фотодиодах в режиме Гейгера
Ванюшин И.В.1, Гергель В.А.2, Гонтарь В.М.1, Зимогляд В.А.1, Тишин Ю.И.1, Холоднов В.А.2, Щелева И.М.2
1ООО "Юник Ай Сиз", Зеленоград, Москва, Россия
2Институт радиотехники и электроники Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 20 июля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2007 г.
Построена новая дискретная теоретическая модель развития и релаксации локального микропробоя в гейгеровском режиме работы кремниевых лавинных фотодиодов. Показано существенное влияние сопротивления растекания в подложке на амплитуду однофотонного импульса и возможность реализации стационарного характера лавинного пробоя, исключающего гейгеровский режим работы фотодиода. Модель использована для интерпретации экспериментальных результатов, полученных на тестовых однофотонных ячейках лавинных фотодиодов, изготовленных на основе кремниевой технологии 0.25 мкм с использованием глубинной имплантации для формирования области лавинного размножения носителей. Отмечены высокие функциональные свойства исследованного типа однофотонной (гейгеровской) ячейки. Приведена типичная амплитудная характеристика ячейки для оптического излучения с длиной волны lambda=0.56 мкм в диапазоне освещенностей 10-3-102 лк, свидетельствующая об экстремально высокой квантовой эффективности фотопреобразования. PACS: 73.40.Lq, 85.30.Mn, 85.60.Dw
- A. Spinelli, A.L. Lacaita. IEEE Trans. Electron, Dev., 44, 1931 (1997)
- R.J. McIntyre. IEEE Trans. Eelctron. Dev., 46, 1623 (1999)
- C. Groves, C.H. Tan, J.P.R. David, G.J. Rees. M.M. Hayat. IEEE Trans. Electron. Dev., 52, 1527 (2005)
- S. Barber. Eelctronic Engineering, 63 (May 1984)
- M. Ghioni, S. Cova, A. Lacaita, G. Ripamonti. Electron. Left., 24, 1476 (1988)
- N.G. Woodard, E.G. Hufstedler, G.P. Latyatis. Appl. Phys. Lett., 64, 1177 (1994)
- D. Stoppa, L. Pancheri, M. Scandiuzzo, M. Malfatti, G. Pedretti, L. Gonzo. Proc. ESSCIRC (Grenoble, France, 2005) p. 487
- C. Niclass, A. Rochas, P.-A. Besse, E. Charbon. IEEE J. Sol. St. Circuits, 40, 1847 (2005)
- C.A. Lee, R.A. Logan, R.L. Batdorf, J.J. Kleimack, W. Wiegmann. Phys. Rev., 134, A761 (1974)
- Техника оптической связи: фотоприемники, под ред. У. Тсанга (М., Мир, 1988). [Пер. с англ.: Lightwave Communication Techology, ed. by W.T. Tsang. Pt D: Photodetectors (Orlando--San Diego--N.Y.--London--Toronto--Montreal--Sydney--Tokyo, Academic Press, 1985)]
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
© 2024 Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе Российской академии наук