"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование резистивных фоточувствительных элементов на основе HgCdTe методом наведенного тока
Вергелес П.С.1, Крапухин В.В.2, Якимов Е.Б.1
1Институт проблем технологии микроэлектроники и особочистых материалов Российской академии наук, Черноголовка, Россия
2ОАО Московский завод "Сапфир", Москва, Россия
Поступила в редакцию: 20 июля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.

Методом наведенного тока в растровом электронном микроскопе исследованы фоточувствительные резистивные элементы на основе HgCdTe, фоточувствительность которых понизилась в результате длительной эксплуатации. Показано, что процессы деградации в таких элементах связаны с появлением вблизи контактов областей с пониженной чувствительностью. Проведено моделировние распределения наведенного тока для таких неоднородных элементов. Показано, что сравнение измеренных и рассчитанных распределений сигнала наведенного тока позволяет выявлять наиболее вероятные причины неоднородного понижения чувствительности. Проведенное сравнение показало, что наиболее вероятной причиной понижения чувствительности в исследованных элементах является повышение концентрации доноров в приконтактных областях. PACS: 71.20.Nr, 71.55.Eq, 72.20.Jv
  1. H.J. Leamy. J. Appl. Phes., 53, R51 (1982)
  2. Е.Б. Якимов. Зав. лаб., 68, 63 (2002)
  3. О.В. Смолин, Е.В. Сусов, Е.Б. Якимов. Изв. РАН. Сер. физ., 64 (4), 466 (2005)
  4. О.В. Смолин, Е.В. Сусов, Е.Б. Якимов. Прикл. физика, N 2, 54 (2005)
  5. O.V. Smolin, E.V. Susov, E.B. Yakimov. Proc. SPIE, 5834, 242 (2005)
  6. R. Kumar, S. Gupta, V. Gopal, K.C. Chhabra. Infr. Phys., 31, 101 (1991)
  7. A.N. Ishaque, J.W. Howard, M. Becker, R.C. Block. J. Appl. Phys., 69, 307 (1991)
  8. E.P.G. Smith, C.A. Musca, L. Faraone. Infr. Phys. Technol., 41, 175 (2000)
  9. J.L. Elkind. J. Vac. Sci. Technol., 10, 1460 (1992)
  10. E. Belas, R. Grill, J. Franc, A.L. Toth, P. Hoschl, H. Sitter, P. Moravec. J. Cryst. Growth, 159, 1117 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.