Вышедшие номера
Кремниевый фотодиод с сетчатым p-n-переходом
Блынский В.И.1, Василевский Ю.Г.1, Малышев С.А.1, Чиж А.Л.1
1Институт электроники Национальной академии наук Беларуси, Минск, Республика Беларусь
Поступила в редакцию: 5 мая 2006 г.
Выставление онлайн: 20 января 2007 г.

Исследованы кремниевые фотодиоды, p-область которых имеет сетчатую структуру. Получены аналитические выражения для емкости таких фотодиодов. Проведен анализ влияния размеров ячейки и диффузионной длины неосновных носителей заряда на чувствительность кремниевого сетчатого фотодиода в спектральном диапазоне 0.6-1.0 мкм. Приведены экспериментальные характеристики фотодиодов с сетчатым p-n-переходом с размерами ячеек 50 и 110 мкм. Обсуждены факторы, определяющие особенности их спектральной характеристики. PACS: 85.60.Dw, 72.40.+w, 73.50.Pz.