"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Определение состава и механических деформаций в GexSi(1-x)-гетероструктурах из данных спектроскопии комбинационного рассеяния света: уточнение параметров модели
Володин В.А.1, Ефремов М.Д.1, Дерябин А.С.1, Соколов Л.В.1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 3 февраля 2006 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2006 г.

Метод спектроскопии комбинационного рассеяния света использовался для контроля состава и деформаций пленок твердых растворов GexSi1-x с 0.17=<q x=<q 1.0. Состав и деформации в пленках были определены также из данных дифракции рентгеновских лучей. В спектрах комбинационного рассеяния анализировалось не только положение, но и интенсивность пиков рассеяния на колебаниях Ge-Ge-, Ge-Si- и Si-Si-связей. Это позволило существенно уточнить некоторые параметры модели для расчета состава и деформаций в гетероструктурах GexSi1-x/Si(100) из данных спектроскопии комбинационного рассеяния. PACS: 63.22.+m, 81.15.Hi, 78.30.Am
  1. Ю.Б. Болховитянов, О.П. Пчеляков, Л.В. Соколов, С.И. Чикичев. ФТП, 37, 513 (2003)
  2. Light Scattering in Solids V. Superlattices and Other Microstructures, ed. by M. Cardona, G. Gunterodt (Berlin, Springer-Verlag, 1989) p. 351
  3. D.W. Feldman, M. Ashkin, J. H. Parker. Jr. Phys. Rev. Lett., 17, 1209 (1966)
  4. W.J. Brya. Sol. St. Commun., 12, 253 (1973)
  5. V. Srivastava, K. Joshi. Phys. Rev. B, 8, 4671 (1973)
  6. M.I. Alonso, K. Winer. Phys. Rev. B, 39, 10 056 (1989)
  7. H.D. Fuchs, G.H. Grein, M.I. Alonso, M. Cardona. Phys. Rev. B, 44, 13 120 (1991)
  8. P.M. Mooney, F. Dacol, J.C. Tsang, J.O. Chu. Appl. Phys. Lett., 62, 2069 (1993)
  9. J.C. Tsang, P.M. Mooney, F. Dacol, J.O. Chu. J. Appl. Phys., 75, 8098 (1994)
  10. P.H. Tan, K. Brunner, D. Bougeard, G. Abstreiter. Phys. Rev. B, 68, 125 302-(1-6) (2003)
  11. Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, M.A. Revenko, L.V. Sokolov. Thin Sol. Films, 466, 69 (2004)
  12. Yu.B. Bolkhovityanov, A.S. Deryabin, A.K. Gutakovskii, M.A. Revenko, L.V. Sokolov. J. Appl. Phys., 96, 7665 (2004)
  13. A.V. Kolobov. J. Appl. Phys., 87, 2926 (2000)
  14. A. Ourmazd, J.C. Bean. Phys. Rev. Lett., 55, 765 (1985)
  15. D.J. Lockwood, K. Rajan, E.W. Fenton, J.-M. Baribeau, M.W. Denhoff. Sol. St. Commun., 61, 465 (1987)
  16. М.М. Волькенштейн. ДАН СССР, 32, 185 (1941)
  17. G. Nelin, G. Nilsson. Phys. Rev. B, 5, 3151 (1972)
  18. В.А. Володин, М.Д. Ефремов, А.И. Никифоров, Д.А. Орехов, О.П. Пчеляков, В.В. Ульянов. ФТП, 37, 1220 (2003)
  19. В.А. Сачков, В.В. Болотов, В.А. Володин, М.Д. Ефремов. Препринт ИМСЭ СО РАН 2000-01
  20. J. Groenen, R. Carles, S. Christiansen, M. Albrecht, W. Dorsch, H.P. Strunk, H. Wawra, G. Wagner. Appl. Phys. Lett., 71, 3856 (1997)
  21. Z. Sui, H.H. Burke, I.P. Herman. Phys. Rev. B, 48, 2162 (1993)
  22. Д.А. Орехов, В.А. Володин, М.Д. Ефремов, А.И. Никифоров, В.В. Ульянов, О.П. Пчеляков. Письма ЖЭТФ, 81, 415 (2005)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.