Вышедшие номера
Влияние температуры облучения на эффективность введения мультивакансионных дефектов в кристаллах n-Si
Пагава Т.А.1
1Грузинский технический университет, Тбилиси, Грузия
Поступила в редакцию: 13 июля 2005 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2006 г.

С целью изучения влияния температуры облучения Tirr на процесс дефектообразования исследовались монокристаллы n-Si. Исследуемые образцы облучались электронами с энергией 2 МэВ в интервале Tirr=20-400oC. Изохронный отжиг облученных кристаллов проводился в интервале 80-600oC. Измерения проводились методом Холла в интервале 77-300 K. Показано, что эффективность введения радиационных дефектов с высокой термостабильностью (Tann>=350oC) достигает максимума при Tirr=150oC. Наблюдаемый эффект объясняется образованием мультивакансионных дефектов PV2 на базе ионизированных E-центров и неравновесных вакансий. PACS: 71.55.Cn, 72.15.Gd, 61.80.-x, 61.72.Cc