Влияние лучистого теплообмена на температуру роста при молекулярно-лучевой эпитаксии слоев HgCdTe
Швец В.А.
1, Марин Д.В.
2,3, Азаров И.А.
1, Якушев М.В.
11Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Структурное подразделение Новосибирского государственного университета --- Специализированный учебно-научный центр университета, Новосибирск, Россия
Email: basil5353@mail.ru, d.marin@g.nsu.ru
Поступила в редакцию: 29 апреля 2025 г.
В окончательной редакции: 4 июля 2025 г.
Принята к печати: 4 июля 2025 г.
Выставление онлайн: 10 августа 2025 г.
При молекулярно-лучевой эпитаксии существует два механизма нагрева подложки: теплопроводность и тепловое излучение. В работе рассматривается вклад лучистого нагрева в установление температуры образца в процессе эпитаксии слоя CdHgTe. На начальной стадии роста меняется излучательная способность структуры и нарушается тепловой баланс. Численными расчетами показано, что в отсутствие теплового контакта между образцом и нагревателем это должно приводить к значительному возрастанию равновесной температуры структуры. Рассчитана динамика изменения температуры при непрерывном росте слоя CdHgTe. Из этих расчетов следует, что остаточное изменение температуры будет наблюдаться также и после прекращения роста. Эксперименты, проведенные на спектральном эллипсометре, не обнаружили ожидаемых изменений температуры. Из этого сделан вывод, что в установках типа "Обь", когда образец находится в механическом контакте с нагретой графитовой шайбой, излучательный механизм нагрева не является доминирующим. Ключевые слова:излучательный нагрев, спектр поглощения, температура поверхности роста, тепловой контакт, кадмий-ртуть-теллур, эллипсометрия.
- J.W. Garland, S. Sivananthan. Molecular-Beam Epitaxial Growth of HgCdTe. [G. Dhanaraj, K. Byrappa, V. Prasad, M. Dudley (eds). Springer Handbook of Crystal Growth (Springer, 2010) p. 1069]. DOI: 10.1007/978-3-540-74761-1
- J. Garland. MBE Growth of Mercury Cadmium Telluride in: P. Capper, J. Garland (eds). Mercury Cadmium Telluride: Growth, Properties Applications (Wiley, Hoboken, 2011) p. 131). https://doi.org/10.1002/9780470669464.ch7
- J.A. Roth, T.J. de Lyon, M.E. Adel. Mater. Res. Soc. Symp. Proc., 324, 353 (1994). https://doi.org/10.1557/PROC-324-353
- M. Daraselia, C.H. Grein, S. Rujirawat, B. Yang, S. Sivananthan, F. Aqariden, H.D. Shih. J. Electron. Mater., 28, 743 (1999). DOI: 10.1007/s11664-999-0064-4
- V.A. Shvets, D.V. Marin, I.A. Azarov, M.V. Yakushev, S.V. Rykhlitskii. J. Cryst. Growth, 599, 126898 (2022). https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2022.126898
- L.A. Almeida, N.K. Dhar, M. Martinka, J.H. Dinan. J. Electron. Mater., 29, 754 (2000). DOI: 10.1007/s11664-000-0220-3
- R. Schlereth, J. Hajer, L. F.rst, S. Schreyeck, H. Buhmann, L.W. Molenkamp. J. Cryst. Growth, 537, 125602 (2020). https://doi.org/10.1016/j.jcrysgro.2020.125602
- T.J. De Lyon, R.D. Rajavel, J.A. Roth, J.E. Jensen. In: Handbook of Infra-red Detection Technologies, ed. by M. Henini and M. Razegh (Elsevier Science, 2002) p. 309
- В.А. Швец, Д.В. Марин, И.А. Азаров, М.В. Якушев, С.В. Рыхлицкий. ФТП, 55 (12), 1240 (2021). DOI: 10.21883/FTP.2021.12.51713.9714
- И.А. Азаров, В.А. Швец, С.А. Дулин, Н.Н. Михайлов, С.А. Дворецкий, Д.Г. Икусов, И.Н. Ужаков, С.В. Рыхлицкий. Автометрия, 53 (6), 111 (2017). DOI: 10.15372/AUT20170614
- J.M. Palmer, B.G. Grant. Art of radiometry (SPIE P.O. Box 10 Bellingham, Washington 98227-0010 USA, 2010)
- Р. Аззам, Н. Башара. Эллипсометрия и поляризованный свет (М., Мир, 1981) с. 379
- Handbook of Optical constants of Solids, ed. by Edvard D. Palik (Academic Press, 1998)
- S. Adachi. Optical constants of crystalline and amorphous semiconductors. Numerical data and graphical information (Kluwer Academic Publishers, 1999)
- J.P. Laurenti, J. Camassel, A. Bouhemadou, B. Toulouse, R. Legros, A. Lusson. J. Appl. Phys., 67, 6454 (1990). DOI: 10.1063/1.345119
- В.А. Швец, Д.В. Марин, М.В. Якушев, С.В. Рыхлицкий. Опт. и спектр., 129 (1), 33 (2021). DOI: 10.21883/OS.2021.01.50436.213-20
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.