Электрические и газочувствительные свойства резистивного тонкопленочного сенсора на основе диоксида олова
Анисимов О.В.1, Гаман В.И.2, Максимова Н.К.1, Мазалов С.М.1, Черников Е.В.1
1Сибирский физико-технический институт им. акад. В.Д. Кузнецова Томского государственного университета, Томск, Россия
2Национальный исследовательский Томский государственный университет, Томск, Россия
Поступила в редакцию: 29 сентября 2005 г.
Выставление онлайн: 20 мая 2006 г.
На основе простой модели резистивного тонкопленочного сенсора получено аналитическое выражение, описывающее зависимости отклика на воздействие восстановительного газа от температуры, парциального давления газа, концентрации донорной примеси в пленке SnO2 и от времени после начала действия газа. Анализ экспериментальных данных показал, что при T<510 K процессы адсорбции и десорбции молекул H2 в основном контролируются адсорбционными центрами, занятыми кислородом в форме O-2, а при T>563 K - центрами с O-. Молекулы метана при T>=q 510 K взаимодействуют с центрами, занятыми O-. С помощью данных по временным зависимостям отклика в широком интервале температур определены энергии активации десорбции. При T<510 K для водорода она составляет 0.36 эВ. При T>563 K для водорода и при T>510 K для метана она равна 1.3 эВ. Энергия активации адсорбции для метана равна 2.5 эВ. PACS: 07.07.Df; 73.50.Dn; 68.43.Mn
- J.F. McAleer, P.T. Mosely. J. Chem. Soc. Faraday Trans., 83, 1323 (1987)
- И.А. Мясников, В.Я. Сухарев, Л.Ю. Куприянов. Полупроводниковые сенсоры в физико-химических исследованиях (М., Наука, 1991)
- О.В. Анисимов, Н.К. Максимова, Н.Г. Филонов, Л.С. Хлудкова, Е.В. Черников. Сенсор, 1, 33 (2003)
- O.V. Anisimov, N.K. Maksimova, N.G. Filonov, L.S. Khludkova, E.V. Chernikov. Proc. XVII Int. Meet. Chemical Sensors (Guimares, Portugal, 2003) p. 890
- О.В. Анисимов, Н.К. Максимова, Н.Г. Филонов, Л.С. Хлудкова, Е.В. Черников, Р.В. Черных. ЖФХ, 78 (10), 1907 (2004)
- G. Korotchenkov, V. Brinzari, V. Golovanov, Y. Blinov. Sens. Actuators B, 98, 41 (2004)
- В.И. Гаман. Физика полупроводниковых приборов (Томск, Изд-во НТЛ, 2000)
- S. Pizzoni, N. Butfo, D. Narducci, M. Palladine. J. Electrochem. Soc., 136 (7), 1945 (1989)
- Ф.Ф. Волькенштейн. Электронные процессы на поверхности полупроводников при хемосорбции (М., Наука, 1987)
- С.И. Рембеза, Т.В. Свистова, Е.С. Рембеза, О.И. Борсякова. ФТП, 35 (7), 796 (2001)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
