"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Теория формирования многослойных тонких пленок на поверхности твердого тела
Дубровский В.Г.1,2, Сибирев Н.В.3, Цырлин Г.Э.1,2,3, Устинов В.М.1,2
1Санкт-Петeрбургский физико-технический научно-образовательный центр Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
3Институт аналитического приборостроения Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 22 марта 2005 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2006 г.

Теоретически исследуется процесс роста бездислокационной тонкой пленки, осаждаемой на поверхность твердого тела из газообразной фазы. Рассматривается наиболее распространенный случай, когда монослои растут по двумерному механизму, а каждый следующий слой формируется на заполненных участках предыдущего слоя. Построена самосогласованная кинетическая модель формирования пленки, которая позволяет при известной энергетике системы и условиях роста рассчитать ее структурные характеристики на различных стадиях ростового процесса. Найдена функция распределения островков по размерам на стадии изолированного роста островков, периметр границы слоя и степень заполнения поверхности на стадии формирования сплошного слоя, средняя высота и шероховатость поверхности трехмерной пленки. Приведен алгоритм численных расчетов и примеры расчетов для модельных систем. Полученные результаты могут быть использованы для управления и оптимизации ростовых процессов в различных технологических методах осаждения тонких пленок. PACS: 68.55.Ac, 81.15.As
  1. Ж.И. Алфёров. ФТП, 32, 1 (1998)
  2. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. УФН, 168, 1083 (1998)
  3. D. Kashchiev. Nucleation: Basic Theory with Applications (Oxford, Butterworth Heinemann, 2000).
  4. Ф.М. Куни, А.П. Гринин. Коллоид. журн., 46, 23 (1984)
  5. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov. J. Chem. Phys., 107, 3247 (1997)
  6. С.А. Кукушкин, А.В. Осипов. ФТТ, 38, 443 (1996)
  7. В.З. Беленький. Геометрико-вероятностные модели кристаллизации (М., Наука, 1980)
  8. В.И. Трофимов, В.А. Осадченко. Рост и морфология тонких пленок (М., Энергоатомиздат, 1993)
  9. V.G. Dubrovskii. Phys. Status Solidi B, 171, 345 (1992)
  10. D. Kashchiev. J. Cryst. Growth, 40, 29 (1977)
  11. В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин. ЖТФ, 67, 136 (1997)
  12. В.Г. Дубровский, Г.Э. Цырлин. ФТП, 39, 1312 (2005)
  13. А.А. Чернов. Современная кристаллография. Т. 3. Образование кристаллов, под ред. Б.К. Вайнштейна (М., Наука, 1980)
  14. V.G. Dubrovskii. J. Phys.: Condens. Matter, 16, 6929 (2004)
  15. А.Г. Филаретов, Г.Э. Цырлин. ФТТ, 33, 1329 (1991)
  16. Г.Э. Цырлин. Письма ЖТФ, 23 (4), 61 (1997)
  17. L. Schubert, P. Werner, N.D. Zakharov, G. Gerth, F.M. Kolb, L. Long, U. Gosele, T.Y. Tan. Appl. Phys. Lett., 84, 4968 (2004)
  18. Г.Э. Цырлин, В.Г. Дубровский, Н.В. Сибирев, И.П. Сошников, Ю.Б. Самсоненко, А.А. Тонких, В.М. Устинов. ФТП, 39, 587 (2005)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.