"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Идеальный статический пробой в высоковольтных (1 кВ) диодных p-n-структурах с охранными кольцами на основе 4H-SiC
Иванов П.А.1, Грехов И.В.1, Ильинская Н.Д.1, Самсонова Т.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.

Продемонстрирован практически идеальный статический высоковольтный пробой (1060 В) в p+-n-n+-диодах с охранными кольцами на основе 4H-SiC. При легировании n-базы до уровня 1.9· 1016 см-3 напряженность поля пробоя в диоде составляет 2.7·106 В/см. Ток утечки диодов не превышает 5·10-5 А/см2 при обратном напряжении до 1000 В. Диоды выдерживают без деструкции лавинный ток 1 А/см2, что соответствует рассеиваемой мощности 1 кВт/см2.
  1. Q. Wahab, T. Kimoto, A. Ellison, C. Hallin, M. Tuominen, R. Yakimova, A. Henry, J.P. Bergman, E. Janzen. Appl. Phys. Lett., 72, 445 (1998)
  2. D.C. Sheridan, G. Niu, J.N. Merrett, J.D. Cressler, C. Ellis, C.-C. Tin. Sol. St. Electron., 44, 1367 (2000)
  3. D.C. Sheridan, G. Niu, J.N. Merrett, J.D. Cressler, J.B. Dufrene, J.B. Casady, I. Sankin. Proc. Int. Symp. on Power Semiconductor Devices and ICs (Osaka, 2001) p. 191
  4. I. Sankin, J.B. Dufrene, J.N. Merrett, J.B. Casady. Mater. Sci. Forum, 433-436, 879 (2003)
  5. X. Li, K. Tone, L. Hui, P. Alexandrov, L. Fursin, J.H. Zhao. Mater. Sci. Forum, 338-342, 1375 (2000)
  6. D. Peters, R. Schorner, K.H. Holzlein, P. Friedrichs. Appl. Phys. Lett., 71, 2996 (1997)
  7. K.J. Schoen, J.M. Woodall, J.A. Cooper Jr., M.R. Melloc. IEEE Trans. Electron. Dev., ED- 45, 1595 (1998)
  8. L. Fursin, K. Tone, P. Alexandrov, Y. Luo, L. Cao, J. Zhao, M. Weiner, M. Pan. Mater. Sci. Forum, 338-342, 1399 (2000)
  9. А. Блихер. Физика силовых биполярных и полевых транзисторов (Л., Энергоатомиздат, 1986)
  10. M.K. Linnarsson, M.S. Janson, A. Shoner, A. Konstantinov, B.G. Svensson. Mater. Sci. Forum, 457-460, 917 (2004)
  11. A.O. Konstantinov, Q. Wahab, N. Nordell, U. Linderfelt. Mater. Sci. Forum, 264-268, 513 (1998)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.