Идеальный статический пробой в высоковольтных (1 кВ) диодных p-n-структурах с охранными кольцами на основе 4H-SiC
Иванов П.А.1, Грехов И.В.1, Ильинская Н.Д.1, Самсонова Т.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 19 мая 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.
Продемонстрирован практически идеальный статический высоковольтный пробой (1060 В) в p+-n-n+-диодах с охранными кольцами на основе 4H-SiC. При легировании n-базы до уровня 1.9· 1016 см-3 напряженность поля пробоя в диоде составляет 2.7·106 В/см. Ток утечки диодов не превышает 5·10-5 А/см2 при обратном напряжении до 1000 В. Диоды выдерживают без деструкции лавинный ток 1 А/см2, что соответствует рассеиваемой мощности 1 кВт/см2.
- Q. Wahab, T. Kimoto, A. Ellison, C. Hallin, M. Tuominen, R. Yakimova, A. Henry, J.P. Bergman, E. Janzen. Appl. Phys. Lett., 72, 445 (1998)
- D.C. Sheridan, G. Niu, J.N. Merrett, J.D. Cressler, C. Ellis, C.-C. Tin. Sol. St. Electron., 44, 1367 (2000)
- D.C. Sheridan, G. Niu, J.N. Merrett, J.D. Cressler, J.B. Dufrene, J.B. Casady, I. Sankin. Proc. Int. Symp. on Power Semiconductor Devices and ICs (Osaka, 2001) p. 191
- I. Sankin, J.B. Dufrene, J.N. Merrett, J.B. Casady. Mater. Sci. Forum, 433-436, 879 (2003)
- X. Li, K. Tone, L. Hui, P. Alexandrov, L. Fursin, J.H. Zhao. Mater. Sci. Forum, 338-342, 1375 (2000)
- D. Peters, R. Schorner, K.H. Holzlein, P. Friedrichs. Appl. Phys. Lett., 71, 2996 (1997)
- K.J. Schoen, J.M. Woodall, J.A. Cooper Jr., M.R. Melloc. IEEE Trans. Electron. Dev., ED- 45, 1595 (1998)
- L. Fursin, K. Tone, P. Alexandrov, Y. Luo, L. Cao, J. Zhao, M. Weiner, M. Pan. Mater. Sci. Forum, 338-342, 1399 (2000)
- А. Блихер. Физика силовых биполярных и полевых транзисторов (Л., Энергоатомиздат, 1986)
- M.K. Linnarsson, M.S. Janson, A. Shoner, A. Konstantinov, B.G. Svensson. Mater. Sci. Forum, 457-460, 917 (2004)
- A.O. Konstantinov, Q. Wahab, N. Nordell, U. Linderfelt. Mater. Sci. Forum, 264-268, 513 (1998)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.