Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Предельное разрешение по энергии карбид-кремниевых детекторов при спектрометрии ионов
Строкан Н.Б.1, Иванов А.М.1, Лебедев А.А.1, Syvajarvi M.2, Yakimova R.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия 
2Университет Линчепинга, Линчепинг, Швеция
2Университет Линчепинга, Линчепинг, Швеция
Поступила в редакцию: 12 апреля 2005 г.
Выставление онлайн: 19 ноября 2005 г.
Проведено моделирование полного торможения alpha-частицы в SiC методом Монте-Карло и получена гистограмма затрат энергии в актах ядерного рассеяния. Спектр имеет характерную асимметричную форму и ширину линии на половине высоты FWHMnucl~ 4.62 кэВ. Конечная форма спектральной линии получена сверткой с гауссианом, описывающим вклад флуктуаций ионизации и шумов (детектора и аппаратуры). Результирующая величина FWHM линии составила 8.75 кэВ (при дисперсии шума 1.7 кэВ). Достигнутое на практике разрешение детекторов оказывается в 2 раза худшим расчетной величины. Установлено, что потери заряда при переносе в объеме детектора незначительны и расхождение следует отнести к неоптимальной конструкции "входного окна".
- R. Yakimova, M. Syvajarvi, R.R. Ciechonski, Q. Wahab. Mater. Sci. Forum, 457-- 460, 201 (2004)
- CREE Research, Inc., Durham, NC 27713, USA
- F. Nava, P. Vanni, C. Lanzieri, C. Canali. Nucl. Instrum. Meth., A437, 354 (1999)
- A.A. Lebedev, N.B. Strokan, A.M. Ivanov, D.V. Davydov, N.S. Savkina, E.V. Bogdanova, A.N. Kuznetsov, R. Yakimova. Appl. Phys. Lett., 79, 4447 (2001)
- N.B. Strokan, A.M. Ivanov, N.S. Savkina, A.M. Strel'chuk, A.A. Lebedev, M. Syvajarvi, R. Yakimova. J. Appl. Phys., 93, 5714 (2003)
- А.М. Иванов, Е.В. Калинина, А.О. Константинов, Г.А. Онушкин, Н.Б. Строкан, Г.Ф. Холуянов, A. Hallen. Письма ЖТФ, 30 (14), 1 (2004)
- Н.Б. Строкан, А.М. Иванов, Е.В. Калинина, Г.Ф. Холуянов, Г.А. Онушкин, Д.В. Давыдов, Г.Н. Виолина. ФТП, 39, 382 (2005)
- G. Bertuccio, S. Binetti, S. Caccia, R. Casiraghi, A. Castaldini, A. Cavallini, C. Lanzieri, A. LeDonne, F. Nava, S. Pizzini, L. Rigutti, G. Verzellesi, E. Vittone. Mater. Sci. Forum, 483-- 485, 1015 (2005)
- И.Н. Ильяшенко, Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 22 (15), 1 (1996)
- J. Lindhard, V. Nielsen. Phys. Lett., 2 (5), 209 (1962)
- Ion Implantation. Science and Technology, ed. by J.F. Ziegler (Acad. Press. Inc., 1984)
- E.L. Haines, A.B. Whitehead. Rev. Sci. Instrum., 37, 190 (1966)
- U. Fano. Phys. Rev., 72, 26 (1947)
- Н.Б. Строкан. Письма ЖТФ, 24, (5), 44 (1998)
- Е.М. Вербицкая, В.К. Еремин, А.М. Маляренко, Н.Б. Строкан, В.Л. Суханов, И. Борани, Б. Шмидт. ФТП, 27, 2052 (1993)
- С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1
- A. Ivanov, E. Kalinina, G. Kholuyanov, G. Onushkin, N. Ctrokan, A. Konstantinov, A. Hallen, A. Kuznetsov. Mater. Sci. Forum, 483-- 485, 1029 (2005)
- Л. Фельдман, Д. Майер. Основы анализа поверхности и тонких пленок (М., Мир, 1989)
- В.Ф. Кушнирук. Препринт ОИЯИ 13-11889 (Дубна, 1978)
- В.Ф. Кушнирук. Препринт ОИЯИ Р13-11933 (Дубна, 1978)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
