"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование углеродной структуры композитных пленок a-C : H<Cu> и a-C : H<Co> методом рамановской спектроскопии
Сморгонская Э.А.1, Иванов-Омский В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Выявлены основные изменения в рамановском спектре пленок a-C : H в области частот 1200-1700 см-1 при модифицировании Cu и Co. Путем сопоставления результатов с известными данными для различных углеродных структур установлено, что введение металлов в концентрациях, сравнимых с содержанием углерода, стимулирует рост и упорядочение графитоподобных нанокластеров в системе s-1ptp2-связей углерода. Обнаружено, что аналогичные структурные перестройки происходят при термическом отжиге как a-C : H, так и композитных пленок a-C : H<Cu> и a-C : H<Co>, однако присутствие металлов затрудняет термостимулированную графитизацию. Сделаны оценки размеров графитоподобных нанокластеров в отожженных и неотожженных пленках всех типов и показано более эффективное графитизирующее действие Co в сравнении с Cu.
  1. J.L. Flottard, J. Akinnifesi, E. Cambril, B Despax. J. Appl. Phys., 70, 798 (1991)
  2. V.I. Ivanov-Omskii. In: Diamond Based Composites and Related Materials, ed. by M. Prelas, A. Benedictus, L.-T.S. Lin, G. Popovici, P. Gielisse. NATO ASI Series, 3. High Technology, 38, 171 (1997)
  3. Q.E. Huang, S.F. Yoon, Rusli, K. Chew. J. Ahn. J. Appl. Phys., 90 (9), 4520 (2001)
  4. A.V. Kolobov, J. Tominaga, T.K. Zvonareva, V.I. Ivanov-Omskii, H. Oyanagi. J. Appl. Phys., 92, 6195 (2002)
  5. J. Robertson. Progr. Sol. St. Chem., 21, 199 (1991)
  6. A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 64, 075 414 (2001)
  7. В.И. Иванов-Омский, Т.К. Звонарева, Г.С. Фролова. ФТП, 34 (12), 1450 (2000)
  8. Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, Г.С. Фролова, В.М. Лебедев, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 36 (6), 734 (2002)
  9. M. Tamor, W. Vassel. J. Appl. Phys., 76, 3823 (1994)
  10. J. Schwan, S. Ulrich, V. Batolly, H. Ehrhardt, S.R.P. Silva. J. Appl. Phys., 80 (1), 440 (1996)
  11. R.J. Nemanich, S.A. Solin. Phys. Rev. B, 20 (2), 392 (1979)
  12. F. Tuinstra, J.L. Koenig. J. Chem. Phys., 53 (3), 1126 (1970)
  13. А.М. Данишевский, Э.А. Сморгонская, С.К. Гордеев, А.В. Гречинская. ФТТ, 43 (1), 132 (2001)
  14. В.И. Иванов-Омский, Г.С. Фролова. ЖТФ, 65 (9), 186 (1995)
  15. Т.К. Звонарева, В.М. Лебедев, Т.А. Полянская, Л.В. Шаронова, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34 (9), 135 (2000)
  16. Э.А. Сморгонская, Т.К. Звонарева, Е.И. Иванова, И.И. Новак, В.И. Иванов-Омский. ФТТ, 45 (9), 1579 (2003)
  17. A.C. Ferrari, J. Robertson. Phys. Rev. B, 61 (20), 14 095 (2000)
  18. D. Lin-Vien, N.B. Coltharp, W.G. Fateley, J.G. Graselli. The Handbook of Infrared and Raman Characteristic Frequencies of Organic Molecules (Academic, N. Y., 1991)
  19. C. Thomsen, S. Reich. Phys. Rev. Lett., 85 (24), 5214 (2000)
  20. E.D. Obraztsova, M. Fujii, S. Hayashi, V.L. Kuznetsov, Yu.V. Butenko, A.L. Chuvilin. Carbon, 35 (5--6), 821 (1998)
  21. V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitskii, A.A. Sitnikova, A.A. Suvorova, A.V. Tolmachev, T.K. Zvonareva, S.G. Yastrebov. Phil. Mag., B, 76 (6), 973 (1997)
  22. S.G. Yastrebov, V.I. Ivanov-Omskii, V.I. Siklitskii, A.A. Sitnikova. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 622 (1998)
  23. C. Mapelli, C. Castiglioni, G. Zebri, K. Mullen. Phys. Rev. B, 60, 12 710 (1999)
  24. R. Nicklow, N. Wakabayashi, H.G. Smith. Phys. Rev. B, 5, 4951 (1972)
  25. J. Ristein, R.T. Stief, L. Ley, W. Bayer. J. Appl. Phys., 84, 7, 3836 (1998)
  26. M.S. Dresselhaus, M.A. Pimenta, A. Marucci, M.J. Matthews, S.D.M. Brown, A.M. Rao, P.C. Eklund, G. Dresselhaus, R. Saito, M. Endo. In: Intern. Symposium of Carbon (Tokio, 1998) p. 94
  27. В.И. Иванов-Омский, А.В. Толмачев, С.Г. Ястребов. ФТП, 35 (2), 227 (2001)
  28. J.J. Delaunay, T. Hayashi, M. Tomita, S. Hurono. J. Appl. Phys., 62 (5), 2200 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.