"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Процессы роста неупорядоченных полупроводников с позиций теории самоорганизации
Вихров С.П.1, Бодягин Н.В.1, Ларина Т.Г.1, Мурсалов С.М.1
1Рязанская государственная радиотехническая академия, Рязань, Россия
Поступила в редакцию: 27 декабря 2004 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2005 г.

Обоснована возможность применения идей и методов теории самоорганизации при рассмотрении процессов роста неупорядоченных полупроводников. Описан основной метод анализа динамики сложных систем. Рассмотрены инварианты хаотической динамики применительно к процессам роста материалов. Определены новые принципы построения технологических систем.
  1. А.А. Айвазов, Н.В. Бодягин, С.П. Вихров. Изв. вузов. Электроника, 1, 39 (1997)
  2. Н.В. Бодягин, С.П. Вихров, С.Н. Дьяков. В сб.: Физика полупроводников и микроэлектроника (Рязань, РГРТА, 1995) с. 92
  3. С.П. Вихров, А.А. Айвазов, Н.В. Бодягин. Вестн. РГРТА, 1, 77 (1996)
  4. С.П. Вихров, Н.В. Бодягин. В сб.: Физика полупроводников и микроэлектроника (Рязань, РГРТА, 1997) с. 3
  5. H.D.I. Ababranel, R. Rown, J.J. Sidorovich, L.S. Tsimiring. Rev. Mod. Phys., 65 (4), 1331 (1993)
  6. Г. Николис, И. Пригожин. Познание сложного (М., Мир, 1990)
  7. A.A. Aivazov, N.V. Bodyagin, S.P. Vikhrov, S.V. Petrov. J. Non-Cryst. Sol., 114, 157 (1989)
  8. Н.В. Бодягин, С.П. Вихров, А.А. Айвазов. Изв. вузов. Электроника, 3-- 4, 7 (1997)
  9. Н.В. Бодягин. Изв. вузов. Электроника, 2, 31 (1997)
  10. A.A. Aivazov, N.V. Bodyagin, S.P. Vikhrov. Material Research Society (Pittsburgh, USA, 1996) v. 420, p. 145
  11. Н.В. Бодягин, С.П. Вихров, Т.Г. Ларина, С.М. Мурсалов, В.Н. Тимофеев. Природа невоспроизводимости структуры и свойств материалов для микро- и наноэлектроники (Рязань, РГРТА, 2004)
  12. Т.С. Ахромеева, С.П. Курдюмов, Г.Г. Малинецкий, А.А. Самарский. Нестационарные структуры и диффузионный хаос (М., Наука, 1992)
  13. Н.В. Бодягин, С.П. Вихров. Управление процессами роста полупроводниковых материалов (Рязань, РГРТА, 1997)
  14. Н.В. Бодягин, С.П. Вихров. Письма ЖТФ, 23 (19), 77 (1997)
  15. С.П. Вихров, Н.В. Бодягин. Новый подход к построению технологических систем на примере роста слоев a-Si : H (Рязань, РГРТА, 1994)
  16. Н.В. Бодягин, С.П. Вихров, С.М. Мурсалов, И.В. Тарасов. Микроэлектроника, 31 (4), 307 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.