"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Оптические и электрические свойства тонких пластин, изготовленных из нанокристаллических порошков кремния
Кононов Н.Н.1, Кузьмин Г.П.1, Орлов А.Н.2, Сурков А.А.1, Тихоневич О.В.1
1Институт общей физики им. А.М. Прохорова РАН, Москва, Россия
2Центр естественно-научных исследований при Институте общей физики Российской академии наук, Москва, Россия
Поступила в редакцию: 25 октября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

Исследованы инфракрасные спектры пропускания и темновая проводимость пластин, изготовленных из порошков нанокристаллического кремния (nc-Si). Исходные порошки nc-Si синтезировались методом лазерно-индуцированной диссоциации силана в диапазоне температур окружающего буферного газа от 20 до 250oC и затем прессовались при давлениях от 108 до 109 Па. Обнаружено, что в процессе прессования порошков nc-Si в них формируются структуры Si--H, Si--CHx и Oy--Si--Hx (x,y=1-3). Образованные структуры разрушаются при отжиге пластин, причем наименьшая температура отжига (t=160oC) требуется для разрушения комплексов Si--H, Si--CHx. Показано, что темновая проводимость пластин nc-Si возрастает с увеличением температуры буферного газа, при которой синтезировался исходный порошок. Обнаружено, что существуют две температурные области, в которых темновая проводимость пластин имеет качественно различный характер. При температурах пластин T>=q 270 K проводимость связана со свободными носителями заряда, в то время как при меньших температурах электронный транспорт определяется прыжковой проводимостью по локализованным состояниям в запрещенной зоне.
  • J. Meier, R. Fluckiger, H. Keppner, A. Shar. Appl. Phys. Lett., 65, 860 (1994)
  • O.I. Bomk, L.G. Ilchenko, V.V. Ilchenko, A.M. Pinchuk, V.M. Pinchuk, G.V. Kuznetsov, V.I. Strykha. Sens. Actuators B, 62, 131 (2000)
  • V. Strikha, V. Skryshevsky, V. Polishuk, E. Souteyrand, I.R. Martin. J. Porous Mater., 7, 111 (2000)
  • J. Costa, P. Poura, J.K. Morante, E. Bertran. J. Appl. Phys., 83, 7879 (1998)
  • K. Накамото. Инфракрасные спектры неорганических и координационных соединений (М., Мир, 1966) с. 147
  • P. Roca i Cabarrocas, S. Hammea, S.N. Sharma, G. Viera, E. Bertran, J. Costa. J. Non-Cryst. Sol., 227--230, 871 (1998)
  • H. Shirai, T. Arai, T. Nakamura. Appl. Surf. Sci., 113--114, 111 (1997)
  • G.P. Kuz'min, M.E. Karasev, E.M. Khokhlov, N.N. Kononov, V.G. Plotnichenko, O.V. Tikhonevich. Laser Phys., 10, 934 (2000)
  • S. Shuppler, S.L. Friedman, M.A. Marcus, D.L. Adler, Y.H. Xie, F.M. Ross, Y.I. Chabal, T.D. Harris, L.E. Brus, W.L. Braun, E.E. Chaban, P.F. Sxajowski, S.B. Christman, P.H. Citrin. Phys. Rev. B, 52, 4910 (1995)
  • H. Richter, L. Ley. J. Appl. Phys., 52, 7281 (1981)
  • Xi-Mao Bao, Xiang He, Ting Gao, Feng Yau, Hui-Lau Chen. Sol. St. Commun., 109, 169 (1999)
  • M.H. Brodsky, M. Cardona, J.J. Cuomo. Phys. Rev. B, 16, 3556 (1977)
  • H. Fujiwara, Y. Toyoshima, M. Kondo, A. Matsuda. Phys. Rev. B, 60, 13 598 (1999)
  • V.G. Plotnichenko, V.O. Sokolov, E.M. Dianov. J. Non-Cryst. Sol., 261, 186 (2000)
  • T.D. Shen, I. Shmagin, C.C. Koch, R.M. Kolbas, Y. Fahmi, L. Bergman, R.J. Nemanich, M.T. McClure, Z. Sitar, M.X. Quan. Phys. Rev. B, 55, 7615 (1997)
  • R.A. Bley, S.M. Kanzlarich, J.E. Davis, H.W.H. Lee. Chem. Mater., 8, 1881 (1996)
  • Н. Мотт, Э. Девис. Электронные процессы в некристаллических веществах (М., Мир, 1982)
  • Аморфные полупроводники, под ред. М. Бродски (М., Мир, 1982)
  • J.P. Kleider, C. Longeaud, M. Gautier, M. Meaudre, R. Meaudre, R. Butte, S. Vignoli, P. Roca i Cabarrocas. Appl. Phys. Lett., 75, 3351 (1999)
  • O. Saadan, S. Lebib, A.V. Kharchenko, C. Longeaud, P. Roca i Cabarrocas. J. Appl. Phys., 93, 9371 (2003)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.