"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Исследование локальной электронной и атомной структуры в аморфных сплавах a-SixC1-x методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии
Терехов В.А.1, Теруков Е.И.2, Трапезникова И.Н.2, Кашкаров В.М.1, Курило О.В.1, Турищев С.Ю.1, Голоденко А.Б.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 сентября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

С помощью методов рентгеновской спектроскопии получены данные о локальной электронной и атомной структуре сплавов a-SixC1-x : H<Er>, приготовленных в тлеющем разряде (PECVD) при различных соотношениях силана и метана в газовой смеси (x=0.3-0.9). Показано, что сплавы имеют в своем составе атомы кремния и углерода с различной координацией. Кремний наблюдается в виде элементарного аморфного кремния и карбида кремния, соотношение этих фаз в пленках зависит от состава газовой смеси. Атомы углерода могут образовывать связи с кремнием в координации, близкой к таковой для кристаллического карбида кремния, с образованием также заметного количества связей C-H. Кроме того, углерод может формировать в пленке фазу элементарного углерода с различной координацией, свойственной графиту и алмазу.
  • Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., Мир, 1988) ч. II, с. 48
  • В.А. Немошкаленко. Теоретические основы рентгеновской эмиссионной спектроскопии (Киев, Наук. думка, 1974) с. 376
  • Э.Ю. Мануковский. Автореф. канд. дис. (Воронеж, 2000)
  • V.A. Fomichev, I.I. Zhukova, I.K. Polushina. J. Phys. Chem. Sol., 29, 1025 (1968)
  • В.А. Фомичев. ФТТ, 9, 3034 (1967)
  • M.M. Garcia, I. Jimenez, L. Vazquez, C. Gomez-Aleixandre, J.M. Albella, O. Sanchez, L.J. Terminello, F.J. Himpsel. Appl. Phys. Lett., 72 (17), 2105 (1998)
  • M. Lubbe, P.R. Bressler, W. Braun, G. Schaarschmidt, H.J. Hinneberg, D.R.T. Fresenius. J. Anal. Chem., 361, 602 (1998)
  • Y. Muramatsu, H. Takenaka, Y. Ueno, E.M. Gullikson, R.C.C. Perera. als.lbl.gov/als/compendium/AbstractManager/ frontend/pagAuthors2.php?PersonID=106
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.