"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование локальной электронной и атомной структуры в аморфных сплавах a-SixC1-x методом ультрамягкой рентгеновской спектроскопии
Терехов В.А.1, Теруков Е.И.2, Трапезникова И.Н.2, Кашкаров В.М.1, Курило О.В.1, Турищев С.Ю.1, Голоденко А.Б.1, Домашевская Э.П.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 24 сентября 2004 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2005 г.

С помощью методов рентгеновской спектроскопии получены данные о локальной электронной и атомной структуре сплавов a-SixC1-x : H<Er>, приготовленных в тлеющем разряде (PECVD) при различных соотношениях силана и метана в газовой смеси (x=0.3-0.9). Показано, что сплавы имеют в своем составе атомы кремния и углерода с различной координацией. Кремний наблюдается в виде элементарного аморфного кремния и карбида кремния, соотношение этих фаз в пленках зависит от состава газовой смеси. Атомы углерода могут образовывать связи с кремнием в координации, близкой к таковой для кристаллического карбида кремния, с образованием также заметного количества связей C-H. Кроме того, углерод может формировать в пленке фазу элементарного углерода с различной координацией, свойственной графиту и алмазу.
  1. Физика гидрогенизированного аморфного кремния, под ред. Дж. Джоунопулоса, Дж. Люковски (М., Мир, 1988) ч. II, с. 48
  2. В.А. Немошкаленко. Теоретические основы рентгеновской эмиссионной спектроскопии (Киев, Наук. думка, 1974) с. 376
  3. Э.Ю. Мануковский. Автореф. канд. дис. (Воронеж, 2000)
  4. V.A. Fomichev, I.I. Zhukova, I.K. Polushina. J. Phys. Chem. Sol., 29, 1025 (1968)
  5. В.А. Фомичев. ФТТ, 9, 3034 (1967)
  6. M.M. Garcia, I. Jimenez, L. Vazquez, C. Gomez-Aleixandre, J.M. Albella, O. Sanchez, L.J. Terminello, F.J. Himpsel. Appl. Phys. Lett., 72 (17), 2105 (1998)
  7. M. Lubbe, P.R. Bressler, W. Braun, G. Schaarschmidt, H.J. Hinneberg, D.R.T. Fresenius. J. Anal. Chem., 361, 602 (1998)
  8. Y. Muramatsu, H. Takenaka, Y. Ueno, E.M. Gullikson, R.C.C. Perera. als.lbl.gov/als/compendium/AbstractManager/ frontend/pagAuthors2.php?PersonID=106

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.