Вышедшие номера
Рассеяние носителей заряда на границах кристаллитов в пленках поликристаллического кремния
Гридчин В.А.1, Любимский В.М.1, Моисеев А.Г.1
1Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 4 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 20 января 2005 г.

-1 Рассмотрено рассеяние носителей заряда на потенциальных барьерах границ зерен в пленках поликристаллического кремния. Анализируется влияние этого механизма рассеяния на подвижность носителей заряда. Наблюдается удовлетворительное согласие между расчетными и экспериментальными подвижностями дырок. Развитая модель может использоваться для рассмотрения других кинетических явлений.