"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Рассеяние носителей заряда на границах кристаллитов в пленках поликристаллического кремния
Гридчин В.А.1, Любимский В.М.1, Моисеев А.Г.1
1Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 4 марта 2004 г.
Выставление онлайн: 20 января 2005 г.

-1 Рассмотрено рассеяние носителей заряда на потенциальных барьерах границ зерен в пленках поликристаллического кремния. Анализируется влияние этого механизма рассеяния на подвижность носителей заряда. Наблюдается удовлетворительное согласие между расчетными и экспериментальными подвижностями дырок. Развитая модель может использоваться для рассмотрения других кинетических явлений.
  1. J.Y.W. Seto. J. Appl. Phys, 46, 5247 (1975)
  2. N.C.C. Lu, C.Y. Gerberg, C.Y. Lu, J.D. Meidl. IEEE Trans. Electron Dev., ED-28, 818 (1981)
  3. M.M. Manddurah, K.C. Saraswat, T.I. Kamins. IEEE Trans. Electron Dev., ED-28, 1163 (1981)
  4. M.M. Manddurah, K.C. Saraswat, T.I. Kamins, IEEE Trans. Electron Dev., ED-28, 1171 (1981)
  5. К.М. Дощанов. ФТП, 32, 690 (1998)
  6. К.М. Дощанов. ФТП, 31, 954 (1997)
  7. Д.В. Шенгуров, Д.А. Павлов, В.Н. Шабанов, В.Г. Шенгуров, А.Ф. Хохлов. ФТП, 32, 627 (1998)
  8. Chung-Hui Cheu, Yean-Kuen Fang, Chin-Wei Yang, Ta-Wei Wang, Yung-Lung Hsu, Shun-Liang Hsu. IEEE Electron Dev. Lett., 22, 524 (2001)
  9. Hang-Ming Chuang, Kong-Beng Thei, Sheng-Fu Tsai, Wen-Chau Liu. IEEE Trans. Electron Dev., 50, 1413 (2003)
  10. С.А. Колосов, Ю.В. Клевков, А.Ф. Плотников. ФТП, 38, 305 (2004)
  11. С.А. Колосов, Ю.В. Клевков, А.Ф. Плотников. ФТП, 38, 473 (2004)
  12. А.И. Ансельм. Введение в теорию полупроводников (М., Наука, 1978) гл. VII
  13. A.F. Mayadas, M. Shatzkes. Phys. Rev. B, 1, 1382 (1970)
  14. В.Л. Бонч-Бруевич, С.Г. Калашников. Физика полупроводников (М., Наука, 1977) гл. XIV
  15. D. Maier-Schneider, A. Koprululu, S. Ballhausen Holm, E. Obermeier. J. Micromech. Microeng, 6, 436 (1996)
  16. А.И. Ансельм, В.И. Клячкин. ЖЭТФ, 22, 297 (1952)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.