"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние импульсного токового отжига на электрофизические характеристики поликристаллического кремния p-типа
Гридчин В.А.1, Любимский В.М.1
1Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 7 июня 2004 г.
Выставление онлайн: 20 января 2005 г.

Исследовано влияние импульсного токового отжига на электропроводность, концентрацию, подвижность дырок и пьезосопротивление в поликристаллическом кремнии. Отжиг проводился последовательностью импульсов тока, что позволило уменьшить величину порогового тока. После импульсного отжига наблюдается рост подвижности при неизменяющейся концентрации дырок, а также уменьшение по абсолютной величине коэффициентов продольной и поперечной тензочувствительности. Уменьшение коэффициентов тензочувствительности в результате импульсного отжига не может быть объяснено в рамках существующей модели токового отжига.
  1. Y. Amemiya, T. Ono, K. Kato. IEEE Trans. Electron. Dev., ED- 26, 1738 (1979)
  2. K. Kato, T. Ono, Y. Amemiya. IEEE Trans. Electron. Dev., ED- 29, 1156 (1982)
  3. K. Kato, T. Ono. Jap. J. Appl. Phys., 35, 4209 (1996)
  4. С.В. Спутай. Актуальные проблемы электронного приборостроения. Сенсорная электроника. Сб. тр. Всес. конф. (Новосибирск, Россия, 1991), с. 33
  5. V.A. Gridchin, S.V. Sputay. 11th Int. Conf. On High Vacuum, Interface and Thin Films, HVITF-94 (1994) p. 606
  6. В. Спутай. Тез. докл. 1-й Межд. конф. "Датчики электрических и неэлектрических величин" (Барнаул, Россия, 1993) ч. 1, с. 95
  7. В.В. Грищенко, А.М. Логанихин, В.М. Любимский. Тр. V Межд. конф. "Актуальные проблемы электронного приборостроения" (Новосибирск, Россия, 2000) т. 4, с. 8
  8. D.W. Feldbaumer, J.A. Babcock, V.M. Mercier, C.K.Y. Chun. IEEE Trans. Electron Dev., ED-42, 689 (1995)
  9. J.F. Babcock, P. Francis, R. Bashir, A.E. Kabir, D.K. Schroder, M.S.L Lee, T. Dhayagude, W. Yindeepol, S.J. Prasad, A. Kalnitsky, M.E. Thomas, H. Haggag, K. Egan, A. Bergemont, P. Jansen. IEEE Trans. Electron Dev. Lett., 21, 283 (2000)
  10. P.H. French, A.G.R. Evans. Sol. St. Electron., 32, 1 (1989)
  11. V. Mosser, J. Suski, J. Goss, E. Obermeir. Sensors Actuators A, 28, 113 (1991)
  12. S.M. Sze, J.C. Irvin. Sol. St. Electron., 11, 599 (1968)
  13. D. Schubert, W. Jenschke, T. Uhlig, F.M. Schmidt. Sensors Actuators, 11, 145 (1987)
  14. В.А. Гридчин, В.М. Любимский. Микроэлектроника, 32, 261 (2003)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.