Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Оптические свойства и структура пленок оксида индия, полученных при различных условиях магнетронного распыления

Тихий А.А.¹, Николаенко Ю.М.², Свиридова Е.А.^2,3, Жихарев И.В.²

¹Луганский государственный педагогический университет, Луганск, Россия Lugansk State Pedagogical University, Lugansk, Russia

²Донецкий физико-технический институт им. А.А. Галкина, Донецк, Россия Donetsk Institute of Physics and Technology named after. A.A. Galkina, Donetsk, Russia

Donetsk Institute of Physics and Technology named after. A.A. Galkina, Donetsk, Russia

³Донбасская национальная академия строительства и архитектуры, Макеевка, Россия Donbass National Academy of Construction and Architecture, Makeyevka, Russia

Donbass National Academy of Construction and Architecture, Makeyevka, Russia

Email: ea0000ffff@mail.ru, nik@donfti.ru, ksvir@list.ru, izhikharev@mail.ru

Выставление онлайн: 30 декабря 2023 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Обобщены результаты исследований структуры и оптических свойств серии пленок In₂O₃, полученных методом dc-магнетронного напыления на подложки Al₂O₃ (012). По данным рентгеноструктурного анализа, положение и полуширина пика, соответствующего плоскости (222) кубической модификации In₂O₃, зависят от времени напыления. Согласно эллипсометрическим измерениям и анализу спектров оптического пропускания, оптические свойства пленок, полученных при температуре 300^oC и более, - однородны, за исключением поверхностного слоя. Показатель преломления пленок, полученных при комнатной температуре, увеличивается в направлении от подложки к внешней поверхности. Отжиг устраняет эту неоднородность, а также уменьшает наблюдаемую ширину запрещенной зоны вследствие уменьшения концентрации дефектов решетки. Истинная ширина запрещенной зоны нечувствительна к отжигу. Ключевые слова: пленки оксида индия, ширина запрещенной зоны, оптические свойства, рентгеноструктурный анализ, магнетронное напыление.

A.A. Yousif, M.H. Hasan, J. Biosens. Bioelectron, 6, 1000192 (2015)
J. Liu, W. Guo, F. Qu, C. Feng, C. Li, L. Zhu, J. Zhou, S. Ruan, W. Chen. Ceramics International, 40, 6685 (2014)
A.A. Khalefa, J.M. Marei, H.A. Radwan, J.M. Rzaij. Digest J. Nanomater. Biostructures, 16, 197 (2021)
D. Manno, M.D. Giulio, T. Siciliano, E. Filippo, A. Serra. J. Phys. D: Appl. Phys., 34, 2097 (2001)
Yu.M. Nikolaenko, A.N. Artemov, Yu.В. Medvedev, N.B. Efros, I.V. Zhikharev, I.Yu. Reshidova, A.A. Tikhii, S.V. Kara-Murza. J. Phys. D: Appl. Phys., 49, 375302 (2016)
S. Kaneko, H. Torii, M. Soga, K. Akiyama, M. Iwaya, M. Yoshimoto, T. Amazawa. Jpn. J. Appl. Phys., 51, 01AC02 (2012)
S.K. Yadav, S. Das, N. Prasad, B.K. Barick, S. Arora, D.S. Sutar, S. Dhar. J. Vacuum Sci. Technol. A, 38, 033414 (2020)
X. Du, J. Yu, X. Xiu, Q. Sun, W. Tang, B. Man. Vacuum, 167, 1 (2019)
M. Nistor, W. Seiler, C. Hebert, E. Matei, J. Perriere. Appl. Surf. Sci., 307, 455 (2014)
W. Seiler, M. Nistor, C. Hebert, J. Perriere. Solar Energy Mater. Solar Cells, 116, 34 (2013)
M.Z. Jarzebski. Phys. Status Solidi A, 71, 13 (1982)
H. Kim, C.M. Gilmore, A. Pique, J.S. Horwitz, H. Mattoussi, H. Murata, Z.H. Kafafi, D.B. Chrisey. J. Appl. Phys., 86, 6451 (1999)
M. Higuchi, S. Uekusa, R. Nakano, K. Yokogawa. J. Appl. Phys., 74, 6710 (1993)
Y. Shigesato, S. Takaki, T. Haranoh. J. Appl. Phys., 71, 3356 (1992)
Ю.М. Николаенко, А.Б. Мухин, В.А. Чайка, В.В. Бурховецкий. ЖТФ, 80 (8), 115 (2010). [Yu.M. Nikolaenko, A.B. Mukhin, V.A. Chaika, V.V. Burkhovetskii. Techn. Phys., 55|,(8), 1189 (2010)]
A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: 7th Int. Congress on Energy Fluxes and Radiation Effects (EFRE-2020 online): Abstracts (Tomsk, Publishing House of IAO SB RAS, 2020) p. 601
А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. Опт. и спектр., 128 (10), 1544 (2020). [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. Opt. Spectrosc., 128 (10), 1667 (2020)]
А.А. Тихий, Ю.М. Николаенко, Ю.И. Жихарева, А.С. Корнеевец, И.В. Жихарев. ФТП, 52 (3), 337 (2018). [A.A. Tikhii, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, A.S. Kornievets, I.V. Zhikharev. Semiconductors, 52, 320 (2018)]
V.A. Gritskikh, I.V. Zhikharev, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, T.V. Krasnyakova, Y.M. Nikolaenko, A.A. Tikhii, A.V. Pavlenko, Y.I. Yurasov. In: Advanced Materials Techniques, Physics, Mechanics and Applications [(Eds I.A. Parinov, S.-H. Chang, M.A. Jani), Springer Proceedings in Physics. V. 193 (Springer International Publishing AG., 2017) p. 55]
A.A. Tikhii, V.A. Gritskikh, S.V. Kara-Murza, N.V. Korchikova, Yu.M. Nikolaenko, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. In: European Materials Research Society Spring Meeting 2016 (E-MRS 2016) (Lille, France, 2016) L.P. 32. https://www.european-mrs.com/2016-spring-symposium-l- european-materials-research-society, дата обращения: июль 2023 г.
А.А. Тихий, Е.А. Свиридова, Ю.И. Жихарева, И.В. Жихарев. ЖПС, 88 (5), 743 (2021). [A.A. Tikhii, K.A. Svyrydova, Yu.I. Zhikhareva, I.V. Zhikharev. J. Appl. Spectrosc., 88 (5), 975 (2021)]
E. Kusano. Appl. Sci. Converg. Technol., 28 (6), 179 (2019)
A. Schleife, M.D. Neumann, N. Esser, Z. Galazka, A. Gottwald, J. Nixdorf, R. Goldhahn, M. Feneberg. New J. Phys., 20, 053016 (2018)
A. Walsh, J.L.F. Da Silva, S.-H. Wei, C. Korber, A. Klein, L.F.J. Piper, A. De Masi, K.E. Smith, G. Panaccione, P. Torelli, D.J. Payne, A. Bourlange, R.G. Egdell. Phys. Rev. Lett., 100, 167402 (2008)
Y. Furubayashi, M. Maehara, T. Yamamoto. ACS Appl. Electron. Mater., 1, 1545 (2019)
L. Gupta, A. Mansingh, P.K. Srivastava. Thin Sol. Films, 176, 33 (1989)
N.M. Ravindra, P. Ganapathy, J. Choi. Infr. Phys.Technol., 50, 21 (2007).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель