Вышедшие номера
Излучательная рекомбинация в кремниевой туннельной МОП структуре
Asli N.1, Векслер М.И.1, Грехов И.В.1, Seegebrecht P.1, Тягинов С.Э.1, Шулекин А.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 января 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.

Экспериментально изучены спектры рекомбинационной люминесценции туннельных МОП структур Al / SiO2 / p-Si. Проведена математическая реконструкция спектров, учитывающая потери на перепоглощение. Впервые приводятся результаты измерений в абсолютных единицах (Вт / эВ). Показана взаимосвязь формы спектра с энергией инжектируемых электронов, задаваемой прикладываемым напряжением. Проведена оценка темпа потерь энергии на излучение фотонов. Рассмотрены проявления деградации окисла на характеристиках люминесценции МОП структур.