"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Излучательная рекомбинация в кремниевой туннельной МОП структуре
Asli N.1, Векслер М.И.1, Грехов И.В.1, Seegebrecht P.1, Тягинов С.Э.1, Шулекин А.Ф.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Поступила в редакцию: 30 января 2004 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2004 г.

Экспериментально изучены спектры рекомбинационной люминесценции туннельных МОП структур Al / SiO2 / p-Si. Проведена математическая реконструкция спектров, учитывающая потери на перепоглощение. Впервые приводятся результаты измерений в абсолютных единицах (Вт / эВ). Показана взаимосвязь формы спектра с энергией инжектируемых электронов, задаваемой прикладываемым напряжением. Проведена оценка темпа потерь энергии на излучение фотонов. Рассмотрены проявления деградации окисла на характеристиках люминесценции МОП структур.
  1. Direct tunneling на сайте http: //semiconductorglossary.com /
  2. F. Monsieur. Abstract book of INFOS'03 (Barselona, Spain, 2003) IT-1
  3. H.S. Momose, M. Ono, T. Yoshitomi, T. Ohguro, S. Nakamura, M. Saito, H. Iwai. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-43 (8), 1233 (1996)
  4. H.S. Momose, S. Nakamura, T. Ohguro, T. Yoshitomi, E. Morifuji, T. Morimoto, Y. Katsumata, H. Iwai. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-45 (4), 691 (1998)
  5. М.И. Векслер, И.В. Грехов, С.А. Соловьев, А.Г. Ткаченко, А.Ф. Шулекин. Письма ЖТФ, 21 (13), 81 (1995)
  6. E. Cartier, J.C. Tsang, M.V. Fischetti, D.A. Buchanan. Microelectron. Eng., 36, 103 (1997)
  7. N. Asli, M.I. Vexler, A.F. Shulekin, P. Seegebrecht. Semicond. Sci. Technol., 18, 147 (2003)
  8. N. Asli, M.I. Vexler, A.F. Shulekin, P.D. Yoder, I.V. Grekhov, P. Seegebrecht. Microelectron. Reliability, 41 (7), 1071 (2001)
  9. И.В. Грехов, Е.В. Остроумова, А.А. Рогачев, А.Ф. Шулекин. Письма ЖТФ, 17 (13), 44 (1991)
  10. J. Bude, N. Sano, A. Yoshii. Phys. Rev. B, 45 (11), 5848 (1992)
  11. D.F. Edwards. In: Handbook of Optical Constants of Solids, ed. by E.D. Palik (Academic Press, N. Y., 1985) p. 547
  12. K.R. Farmer, M.O. Andersson, O. Engstrom. Appl. Phys. Lett., 58 (23), 2666 (1991)
  13. А.Ф. Шулекин, С.Э. Тягинов, R. Khlil, A. El Hdiy, М.И. Векслер. ФТП, 38, 753 (2004)
  14. N. Asli, S.V. Gastev, I.V. Grekhov, P. Seegebrecht, A.F. Shulekin, S.E. Tyaginov, M.I. Vexler, H. Zimmermann. Mater. Sci. Semicond. Proc., 3, 539 (2000)
  15. Y. Wang, K.F. Brennan. J. Appl. Phys., 75 (1), 313 (1994)
  16. Электролюминесцентные источники света, под ред. И.К. Верещагина (М., Энергоатомиздат, 1990)
  17. С. Зи. Физика полупроводниковых приборов (М., Мир, 1984) т. 1, гл. 1

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.