"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Формирование электрически активных центров в кремнии, облученном электронами, в интервале температур 400-700oC
Неустроев Е.П.1, Смагулова С.А.1, Антонова И.В.2, Сафронов Л.Н.2
1Якутский государственный университет, Якутск, Россия
2Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 18 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2004 г.

Изучено влияние облучения электронами на формирование термодоноров в кремнии. Обнаружено образование областей n- и p-типа проводимости в объеме монокристаллического кремния, облученного электронами и отожженного при температуре 450oC. Концентрации носителей в областях обоих типов проводимости возрастают с увеличением дозы облучения и времени отжига, что говорит о формировании не только термодоноров, но и термоакцепторов. Неоднородность распределения акцепторных и донорных центров коррелирует с флуктуациями в концентрации кислорода в кремнии.
  1. Г.Я. Красников. Конструктивно-технологические особенности субмикронных МОП транзисторов (М., Техносфера, 2002) ч. 1
  2. A. Borhgesi, B. Pivac, A. Sassella, A. Stella. J. App. Phys., 77, 4169 (1995)
  3. В.Н. Мордкович. ФТП, 6, 847 (1964)
  4. В.Ф. Стась, И.В. Антонова, Е.П. Неустроев, В.П. Попов, Л.С. Смирнов. ФТП, 34, 162 (2000)
  5. P. Deak, L.C. Snyder, J.W. Corbett. Phys. Rev., 45, 11 612 (1992)
  6. Е.П. Неустроев, И.В. Антонова, В.П. Попов, Д.В. Киланов, А. Мисюк. ФТП, 33, 1153 (1999)
  7. E.P. Neustroev, I.V. Antonova, V.P. Popov, V.F. Stas, V.I. Obodnikov. Physica B, 270, 1 (1999)
  8. С.А. Смагулова, И.В. Антонова, Е.П. Неустроев, В.А. Скуратов. ФТП, 37, 552 (2003)
  9. T. Hallberg, J.L. Lingstrom. J. Appl. Phys., 72, 5130 (1992)
  10. C.A. Londos, I.V. Antonova, M. Potsidou, A. Misiuk, J. Bak-Misiuk, A.K. Gutacovskii. J. Appl. Phys., 91, 1198 (2002)
  11. A. Henry, K. Saminadayar, J.L. Pantrat, N.H. Magnea. Phys. St. Sol. (a), 107 (1), 101 (1988)
  12. В.В. Литвинов, Г.В. Пальчик, В.И. Уренев. ФТП, 24, 376 (1990).
  13. В.П. Маркевич, Л.И. Мурин. ФТП, 22, 1324 (1988)
  14. П.Ф. Лугаков, В.В. Лукьяница. ФТП, 24, 1721 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.