"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Межфазные взаимодействия и особенности структурной релаксации в контактах TiBx-n-GaAs (InP, GaP, 6H-SiC), подвергнутых активным обработкам
Болтовец Н.С.1, Иванов В.Н.1, Конакова Р.В.2, Кудрик Я.Я.2, Литвин О.С.2, Литвин П.М.2, Миленин В.В.2
1Государственное предприятие Научно-исследовательский институт "Орион", Киев, Украина
2Институт физики полупроводников им. В.Е. Лашкарева Национальной академии наук Украины, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 18 ноября 2003 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2004 г.

Приведены результаты экспериментальных исследований межфазных взаимодействий в контактах TiBx-n-GaAs (GaP, InP, 6H-SiC), стимулированных внешними воздействиями: быстрой термической обработкой при температурах до 1000oC, микроволновой обработкой при f=2.5 ГГц гамма-квантами 60Co в интервале доз 105-107 рад. Рассмотрены возможные термические и атермические механизмы релаксации внутренних механических напряжений. Показана возможность формирования термостабильных границ раздела TiBx--полупроводник n-типа (GaAs, GaP, InP, 6H-SiC).
  1. L.M. Porter, R.F. Davis. Mater. Sci. Eng. B, 34, 83 (1995)
  2. A.G. Baca, F. Ren, J.C. Zolper. Thin Sol. Films, 308--309, 599 (1997)
  3. Р.А. Андриевский. Успехи химии, 66 (1), 57 (1997)
  4. Р.А. Андриевский. Успехи химии, 63 (5), 431 (1994)
  5. Р.А. Андриевский, Г.В. Калинников, Н.П. Кобелев, Я.М. Сойфер, Д.В. Штанский. ФТТ, 39 (10), 1859 (1997)
  6. Е.Ф. Венгер, В.В. Миленин, И.Б. Ермолович, Р.В. Конакова, В.Н. Иванов, Д.И. Войциховский. ФТП, 33 (8), 948 (1999)
  7. J.K. Codwod, A.T. Nagy, Z. Rek. Phys. St. Sol. A, 34 (2), 705 (1976)
  8. Е.Ф. Венгер, М. Грендел, В. Данишка, Р.В. Конакова, И.В. Прокопенко, Ю.А. Тхорик, Л.С. Хазан. В сб.: Структурная релаксация в полупроводниковых кристаллах и приборных структурах, под ред. Ю.А. Тхорика (Киев, Феникс, 1994)
  9. Физические величины. Справочник, под ред. И.С. Григорьева, Е.З. Мейлихова (М., Энергоатомиздат, 1991)
  10. С.А. Груша, Р.В. Конакова, В.В. Миленин, А.В. Наумовец, Б.А. Нестеренко, И.В. Прокопенко, Ю.А. Тхорик, Л.С. Хазан. Электрон. техн., сер. 2, полупроводн. приборы, N 5 (208), 68 (1990)
  11. Н.С. Болтовец, А.Б. Камалов, Е.Ю. Колядина, Р.В. Конакова, П.М. Литвин, О.С. Литвин, Л.А. Матвеева, В.В. Миленин, А.Е. Ренгевич. Письма ЖТФ, 28 (4), 57 (2002)
  12. Е.Ф. Венгер, Р.В. Конакова, Г.С. Коротченков, В.В. Миленин, Э.В. Руссу, И.В. Прокопенко. В сб.: Межфазные взаимодействия и механизмы деградации в структурах металл--InP и металл--GaAs, под ред. Р.В. Конаковой и Г.С. Коротченко (Киев, Книжная тип. науч. книги, 1999)
  13. Е.Ф. Венгер, И.Б. Ермолович, В.В. Миленин, Р.В. Конакова, Г.Е. Чайка. Вопр. атом. науки и техники. Сер. Физика радиац. поврежд. и радиац. материаловедение, B3 (75), 60 (1999)
  14. J. Breza, M. Kadlecikova, R.V. Konakova, V.C. Lyapin, V.V. Milenin, V.A. Statov, Yu.A. Tkhorik. Appl. Phys. Lett., 67, (10), 1462 (1995)
  15. S.A. Grusha, L.S. Khazan, R.V. Konakova, S. Lany, V.V. Milenin, V. Nadazdy, V.A. Naumovets, B.A. Nesterenko, Yu.A. Tkhorik. Thin Sol. Films, 215, 50 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.