"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Нелинейность пьезорезистивного эффекта в пленках поликристаллического кремния
Гридчин В.А.1, Любимский В.М.1
1Новосибирский государственный технический университет, Новосибирск, Россия
Поступила в редакцию: 3 марта 2003 г.
Выставление онлайн: 20 января 2004 г.

Проведено феноменологическое описание пьезорезистивных свойств пленок поликристаллического кремния с помощью тензоров эластосопротивления и пьезосопротивления в квадратичном приближении, учитывающее симметрию пленки. Получены формулы для вычисления коэффициентов пьезосопротивления 2-го порядка поликремниевых пленок для некоторых текстур и изотропии через коэффициенты пьезосопротивления 2-го порядка монокристаллического кремния. Наблюдается удовлетворительное согласие экспериментальных и рассчитанных коэффициентов пьезосопротивления в области сильного легирования.
  1. V. Mosser, J. Suski, J. Goss, E. Obermeir. Sensors Actuators A, 28, 113 (1991)
  2. J. Suski, V. Mosser, J. Goss. Sensors Actuators, 17, 405 (1989)
  3. J. Suski, V. Mosser, G. Le Roux. Electrochem. Soc. Conf. (San Diego, CA, USA, Oct. 1986) p. 331
  4. E. Obermeir. Ph.D. Thesis (University of Munich, 1983)
  5. P.H. French, A.G.R. Evans. Sensors Actuators, 7, 135 (1985)
  6. D. Shubert, W. Jenschke, T. Uhlig, F.M. Schmidt. Sensors Actuators, 11, 145 (1987)
  7. V.A. Gridchin, V.M. Lubimsky, M.P. Sarina. Sensors Actuators A, 49, 67 (1995)
  8. P.H. French, A.G.R. Evans. Electron. Lett., 24, 999 (1984)
  9. T. Toriyama, Y. Yokoyama, S. Sugiyama. Sensors Materials, 12, 473 (2000)
  10. P.H. French, A.G.R. Evans. Sol. St. Electron., 32, 1 (1989)
  11. M. Le Berre, M. Lemiti, D. Barbier, P. Pinard, J. Cali, E. Bustarret, J. Sicart, J.L. Robert. Sensors Actuators A, 46--47, 166 (1995)
  12. Bossche, J.R. Mollinger. Sensors Actuators A, 62, 475 (1997)
  13. В.А. Гридчин, В.М. Любимский. Микроэлектроника, 32, 261 (2003)
  14. V.A. Gridchin, V.M. Lubimsky, M.P. Sarina. Proceedings Measurement' 97 (Smolenice, 1997) p. 74
  15. W. Voigt. Lehrbuch der Kristallphysik (Verlag B.G. Teubner, Leipzig, 1910)
  16. Ю.И. Сиротин, М.П. Шаскольская. Основы кристаллофизики (М., Наука 1975)
  17. N.C.C. Lu, L. Gerzberg, C.Y. Lu, J.D. Meindl. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-28, 818 (1981)
  18. D.M. Kim, A.N. Khondker, S.S. Ahmed, R.R. Shah. IEEE Trans. Electron. Dev., ED-31, 480 (1984)
  19. K. Matsuda, Y. Kanda, K. Yamamura, K. Suzuki. Jap. J. Appl. Phys., 29, L1941 (1990)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.