"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Спектральная эллипсометрия аморфного гидрогенизированного углерода, выращенного при магнетронном распылении графита
Ястребов С.Г.1, Гаррига М.2, Алонсо М.И.2, Иванов-Омский В.И.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Барселонский институт материаловедения, ЦСИС Беллатерра, Испания
Поступила в редакцию: 3 февраля 2003 г.
Выставление онлайн: 19 сентября 2003 г.

Методами спектральной эллипсометрии (в интервале энергий фотонов 1--5 эВ) измерены поляризационные углы для пленок аморфного гидрогенизированного углерода, полученного магнетронным распылением графита в атмосфере аргоно-водородной плазмы. Восстановлена дисперсия мнимой и действительной частей диэлектрической функции. Показано, что в исследуемой области частот полученные данные совместимы с формализмом Крамерса--Кронига. Использование правила сумм позволило сделать вывод о неоднородном распределении плотности состояний по энергиям и выявить характерные пороговые энергии в спектре эффективной плотности состояний --- 2 и 3.8 эВ. Показана возможность описания энергетического спектра электронов с помощью гауссианов. Распределение состояний по энергиям связывается с вкладом sigma- и pi-состояний.
  1. J. Angus, C.C. Hayman. Science, 24, 913 (1988)
  2. Q. Wang, R. Schliesing, H. Zacharias, V. Buck. Appl. Surf. Sci., 138--139, 429 (1999)
  3. Q. Wang, V. Buck. Appl. Surf. Sci., 180, 255 (2001)
  4. B.T. Draine, H.M. Lee. Astrophys. J., 285, 89 (1984)
  5. В.И. Иванов-Омский, И.Н. Криворотов, С.Г. Ястребов. ЖТФ, 65, 121 (1995)
  6. Т.К. Звонарева, В.М. Лебедев, Т.А. Полянская, Л.В. Шаронова, В.И. Иванов-Омский. ФТП, 34 (9), 1135 (2000)
  7. В.И. Иванов-Омский, А.В. Толмачев, С.Г. Ястребов. ФТП, 35 (2), 227 (2001)
  8. Т.К. Звонарева, Л.В. Шаронова. ФТП, 33 (6), 742 (1999)
  9. R.M.A. Azzam, N.M. Bashara. Ellipsometry and polarized light (Elsevier, Amsterdam, 1977)
  10. A.C. Ferrari, A. Libassi, B.K. Tanner, V. Stolojan, J. Yuan, L.M. Brown, S.E. Rodil, B. Kleinsorge, J. Robertson. Phys. Rev. B, 62, 11 089 (2000)
  11. Л.Д. Ландау, Е.М. Лифшиц. Электродинамика сплошных сред (М., Наука, 1982)
  12. В.И. Иванов-Омский, А. Таглиаферро, Г. Фанчини, С.Г. Ястребов. ФТП, 36 (1), 117 (2002)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.