Физика и техника полупроводников
Вышедшие номера
Степень поляризации комбинационного рассеяния света в нанокристаллах кремния
Иго А.В.1
1Ульяновский государственный университет, Ульяновск, Россия
Email: igoalexander@mail.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 25 марта 2022 г.
Принята к печати: 25 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 17 июля 2022 г.

Исследовано комбинационное рассеяние света на массиве ориентированных нанокристаллов кремния. Измерялась угловая зависимость интенсивности поляризованных компонент комбинационного рассеяния света и определялся параметр степени поляризации рассеянного света. Обнаружено, что степень поляризации комбинационного рассеяния света связана с размером нанокристаллов в образцах. Массив нанокристаллов имеющих одинаковую кристаллографическую ориентацию получали термическим отжигом нарушенного ионной имплантацией монокристалла кремния. При термическом отжиге образца кристалличность слоя восстанавливается не одновременно во всем нарушенном объеме, а в виде нанокристаллов, разделенных аморфными промежутками, и образованные нанокристаллы имеют преимущественно кристаллографическую ориентацию исходного монокристалла. Особенности степени поляризации комбинационного рассеяния света в нанокристаллах связаны с квантово-механической неопределенностью величины волнового вектора фонона и неопределенностью направления фонона в ограниченном объеме нанокристалла. Получены соотношения, связывающие степень поляризации комбинационного рассеяния света с размером нанокристаллов. Обсуждается возможность определения размеров нанокристаллов по измерениям степени поляризации комбинационного рассеяния света как независимого метода. Ключевые слова: комбинационное рассеяние света, кремний, нанокристаллы, ионная имплантация, отжиг, аморфная фаза.
  1. Д.В. Шулейко, Ф.В. Кашаев, Ф.В. Потемкин, С.В. Заботнов, А.В. Зотеев, Д.Е. Преснов, И.Н. Пархоменко, И.А. Романов. Опт. и спектр., 124 (6), 770 (2018)
  2. А.В. Колчин, Д.В. Шулейко, А.В. Павликов, С.В. Заботнов, Л.А. Головань, Д.Е. Преснов, В.А. Володин, Г.К. Кривякин, А.А. Попов, П.К. Кашкаров. Письма ЖТФ, 46 (11), 43 (2020)
  3. М.Д. Ефремов, В.В. Болотов, В.А. Володин, С.А. Кочубей, А.В. Кретинин. ФТП, 36 (1), 109 (2002)
  4. В.С. Вавилов, А.Р. Челядинский. УФН, 165 (3), 348 (1995)
  5. К.Х. Нусупов, Н.Б. Бейсенханов, С.К. Жариков, И.К. Бейсембетов, Б.К. Кенжалиев, Т.К. Ахметов, Б.Ж. Сейтов. ФТТ, 56 (11), 2231 (2014)
  6. А.В. Иго. Опт. и спектр., 129 (2), 1115 (2020)
  7. А.В. Иго. ЖЭТФ, 158 (4), 605 (2020)
  8. H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Solid State Commun., 39, 625 (1981)
  9. I.H. Campbell, P.M. Fauchet. Solid State Commun., 58 (10), 739 (1986)
  10. В.С. Горелик, А.В. Иго, С.Н. Миков. ЖЭТФ, 109, 2141 (1996)
  11. G. Faraci, S. Gibelisco, P. Russo, A.R. Pennisi, S.L. Rosa. Phys. Rev. B, 73, 033307 (2006)
  12. В.А. Володин, В.А. Сачков. ЖЭТФ, 143 (1), 100 (2013)
  13. М. Кардона, Г. Гюнтеродт, Р. Ченг, М. Лонг, Г. Фогт. Рассеяние света в твердых телах (М., Мир, 1984) вып. 2
  14. M. Mulato, I. Chambouleyron, E.G. Birgin, J.M. Marti nez. Appl. Phys. Lett., 77, 2133 (2000)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.