"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние процесса формирования единичного кластера радиационных дефектов на проводимость канала транзисторной структуры
Забавичев И.Ю.1,2, Пузанов А.С. 1,2, Оболенский С.В. 1,2
1Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
2Филиал РФЯЦ ВНИИЭФ "НИИИС им. Ю.Е. Седакова", Нижний Новгород, Россия
Email: zabavichev.rf@gmail.com, aspuzanov@inbox.ru, obolensk@rf.unn.ru
Поступила в редакцию: 2 марта 2022 г.
В окончательной редакции: 25 марта 2022 г.
Принята к печати: 25 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 11 июня 2022 г.

Исследовано влияние формирования единичного кластера радиационных дефектов на характеристики короткоканальных структур. Проведены оценки величины энергии ядерной частицы, способной сформировать кластер радиационных дефектов, вызывающий сбой и отказ работы современных кремниевых транзисторов с различными размерами рабочих областей. Ключевые слова: короткоканальный транзистор, кластер радиационных дефектов, одиночный сбой.
  1. А.С. Давыдов. Теория твердого тела (М., Наука, 1976)
  2. А.С. Пузанов, С.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 49 (1), 71 (2015)
  3. С.В. Оболенский. Изв. вузов. Электроника, 4, 49 (2003)
  4. И.Ю. Забавичев, А.А. Потехин, А.С. Пузанов, С.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 51 (11), 1520 (2017)
  5. К.О. Петросянц, И.А. Харитонов, Е.В. Орехов, Л.М. Самбурский, А.П. Ятманов, А.В. Воеводин. Сб. Тр. 5-й Всеросс. науч.-техн. конф. "Проблемы разработки перспективных микро- и наноэлектронных систем --- 2012" (М., 2012) с. 413
  6. А.С. Пузанов, С.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 54 (8), 791 (2020)
  7. Б.А. Калин. Физическое материаловедение. Т. 4. Физические основы прочности. Радиационная физика твердого тела. Компьютерное моделирование (М., МИФИ, 2008)
  8. J.F. Ziegler, J.P. Biersak, U. Littmark. The stopping and range of ions in solids (Pergamon, N.Y., 1996)
  9. S. Plimton. J. Comput. Phys., 117, 1 (1995)
  10. D. Duffy, A. Rutherford. J. Phys.: Condens. Matter, 19, 016207 (2007)
  11. M. Ester, H.P. Kriegel, J. Sander, X. Xu. Proc. Second Int. Conf. on Knowledge Discovery and Data Mining (KDD-96) (AAAI Press, 1996) р. 226
  12. L.G. Khachiyan. Mathematics of Operations Res., 21 (2), 307 (1996)
  13. И.Ю. Забавичев, А.А. Потехин, А.С. Пузанов, C.В. Оболенский, В.А. Козлов. ФТП, 53 (9), 1279 (2019)
  14. C.J.F. Bottcher. Theory of Electric Polarisation (Elsevier, N.Y., 1952) p. 415
  15. International Roadmap for Devices and Systems. 2017 Edition, Copyright \& 2018 IEEE

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.