Физика и техника полупроводников
Авторам
Вышедшие номера
- 2024
- 2023
- 2022
- 2021
- 2020
- 2019
- 2018
- 2017
- 2016
- 2015
- 2014
- 2013
- 2012
- 2011
- 2010
- 2009
- 2008
- 2007
- 2006
- 2005
- 2004
- 2003
- 2002
- 2001
- 2000
- 1999
- 1998
- 1997
- 1996
- 1995
- 1994
- 1993
- 1992
- 1991
- 1990
- 1989
- 1988
Размерный эффект в МОП-структурах при ионизирующем облучении
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия 
Email: Aleksandr_ov@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 25 января 2022 г.
Принята к печати: 2 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 29 апреля 2022 г.
Разработана количественная модель размерного эффекта - зависимости плотности поверхностных состояний от размеров затвора в МОП-структурах, подвергнутых воздействию ионизирующего облучения. Полагается, что размерный эффект обусловлен выходом наружу водорода, освобождаемого с водородосодержащих дырочных ловушек, через торцы двумерной МОП-структуры. Эффект описывается системой диффузионно-кинетических уравнений, решаемых совместно с уравнением Пуассона. Влияние технологических обработок и режимов термического окисления на величину эффекта связывается с различной концентрацией водородосодержащих ловушек в подзатворном оксиде. Показано, что основной вклад в эффект дает диффузия наружу нейтральных атомов водорода, ускоренная ионизирующим облучением. Ключевые слова: ионизирующее облучение, МОП-структура, поверхностные состояния, размерный эффект, моделирование.
- К.И. Таперо, В.Н. Улимов, А.М. Членов. Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения (М., БИНОМ, 2012)
- В.С. Першенков, В.Д. Попов, А.В. Шальнов. Поверхностные радиа-ционнные эффекты в ИМС (М., Энергоатомиздат, 1988)
- T.R. Oldham. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50 (3), 483 (2003)
- Ю.В. Федорович, Л.К. Думиш, В.А. Лепилин, А.Д. Поляков. Электрон. техн., сер. 2, вып. 5 (164), 15 (1983)
- M.R. Chin, T.P. Ma. Appl. Phys. Lett., 42 (10), 883 (1983)
- V. Zekeriya, A. Wong, T-P. Ma. Appl. Phys. Lett., 46 (1), 80 (1985)
- Yu Wang, Y. Nishioka, T.P. Ma, R.C. Barker. Appl. Phys. Lett., 52 (7), 573 (1988)
- N.S. Saks, R.B. Klein, R.E. Stahlbush, B.J. Mrstik, R.W. Rendell. IEEE Trans. Nucl. Sci., 40 (6), 1341 (1993)
- R.C. Hughes. Phys. Rev. Lett., 30 (26), 1333 (1973)
- R.C. Hughes. Phys. Rev. B, 15 (4), 2012 (1977)
- S.R. Hofstein. IEEE Trans. Electron Dev., 11 (11), 749 (1967)
- J.M. Benedetto, H.E. Boesch. IEEE Trans. Nucl. Sci., 33 (6), 1318 (1986)
- О.В. Александров. ФТП, 49 (6), 793 (2015)
- О.В. Александров, С.А. Мокрушина. ФТП, 54 (2), 189 (2020)
- R.J. Krantz, L.W. Aukerman, T.C. Zietlow. IEEE Trans. Nucl. Sci., 34 (6), 1196 (1987)
- H.E. Boesch, F.B. McLean, J.M. Benedetto, J.M. McGarrity. IEEE Trans. Nucl. Sci., 33 (6), 1191 (1986)
- D.L. Griscom. J. Appl. Phys., 58 (7), 2524 (1985)
- I.A. Shkrob, A.D. Trifunac. Phys. Rev. B, 54 (21), 15073 (1996)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
