Физика и техника полупроводников
Вышедшие номера
Размерный эффект в МОП-структурах при ионизирующем облучении
Александров O.B.1
1Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: Aleksandr_ov@mail.ru
Поступила в редакцию: 16 декабря 2021 г.
В окончательной редакции: 25 января 2022 г.
Принята к печати: 2 марта 2022 г.
Выставление онлайн: 29 апреля 2022 г.

Разработана количественная модель размерного эффекта - зависимости плотности поверхностных состояний от размеров затвора в МОП-структурах, подвергнутых воздействию ионизирующего облучения. Полагается, что размерный эффект обусловлен выходом наружу водорода, освобождаемого с водородосодержащих дырочных ловушек, через торцы двумерной МОП-структуры. Эффект описывается системой диффузионно-кинетических уравнений, решаемых совместно с уравнением Пуассона. Влияние технологических обработок и режимов термического окисления на величину эффекта связывается с различной концентрацией водородосодержащих ловушек в подзатворном оксиде. Показано, что основной вклад в эффект дает диффузия наружу нейтральных атомов водорода, ускоренная ионизирующим облучением. Ключевые слова: ионизирующее облучение, МОП-структура, поверхностные состояния, размерный эффект, моделирование.
  1. К.И. Таперо, В.Н. Улимов, А.М. Членов. Радиационные эффекты в кремниевых интегральных схемах космического применения (М., БИНОМ, 2012)
  2. В.С. Першенков, В.Д. Попов, А.В. Шальнов. Поверхностные радиа-ционнные эффекты в ИМС (М., Энергоатомиздат, 1988)
  3. T.R. Oldham. IEEE Trans. Nucl. Sci., 50 (3), 483 (2003)
  4. Ю.В. Федорович, Л.К. Думиш, В.А. Лепилин, А.Д. Поляков. Электрон. техн., сер. 2, вып. 5 (164), 15 (1983)
  5. M.R. Chin, T.P. Ma. Appl. Phys. Lett., 42 (10), 883 (1983)
  6. V. Zekeriya, A. Wong, T-P. Ma. Appl. Phys. Lett., 46 (1), 80 (1985)
  7. Yu Wang, Y. Nishioka, T.P. Ma, R.C. Barker. Appl. Phys. Lett., 52 (7), 573 (1988)
  8. N.S. Saks, R.B. Klein, R.E. Stahlbush, B.J. Mrstik, R.W. Rendell. IEEE Trans. Nucl. Sci., 40 (6), 1341 (1993)
  9. R.C. Hughes. Phys. Rev. Lett., 30 (26), 1333 (1973)
  10. R.C. Hughes. Phys. Rev. B, 15 (4), 2012 (1977)
  11. S.R. Hofstein. IEEE Trans. Electron Dev., 11 (11), 749 (1967)
  12. J.M. Benedetto, H.E. Boesch. IEEE Trans. Nucl. Sci., 33 (6), 1318 (1986)
  13. О.В. Александров. ФТП, 49 (6), 793 (2015)
  14. О.В. Александров, С.А. Мокрушина. ФТП, 54 (2), 189 (2020)
  15. R.J. Krantz, L.W. Aukerman, T.C. Zietlow. IEEE Trans. Nucl. Sci., 34 (6), 1196 (1987)
  16. H.E. Boesch, F.B. McLean, J.M. Benedetto, J.M. McGarrity. IEEE Trans. Nucl. Sci., 33 (6), 1191 (1986)
  17. D.L. Griscom. J. Appl. Phys., 58 (7), 2524 (1985)
  18. I.A. Shkrob, A.D. Trifunac. Phys. Rev. B, 54 (21), 15073 (1996)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.