Электрохимическое осаждение контактных материалов в постростовой технологии фотоэлектрических преобразователей
Малевская А.В.
1, Ильинская Н.Д.
1, Малевский Д.А.
1, Покровский П.В.
11Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: amalevskaya@mail.ioffe.ru, natalya.ilynskaya@mail.ioffe.ru, dmalevsky@scell.ioffe.ru, p.pokrovskiy@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 17 ноября 2021 г.
В окончательной редакции: 25 ноября 2021 г.
Принята к печати: 25 ноября 2021 г.
Выставление онлайн: 26 декабря 2021 г.
Проведены исследования и моделирование процесса электрохимического наращивания омических контактов при проведении постростовой технологии изготовления фотоэлектрических преобразователей. Разработана технология гальванического осаждения контактной системы Ag/Au при вертикальном и горизонтальном расположении гетероструктуры и анода в электролите. Достигнуто увеличение равномерности осаждения контактной системы до величины ~95% при толщине контактных шин ~5 мкм на площади гетероструктуры диаметром до 10 см. Ключевые слова: фотоэлектрические преобразователи, омические контакты, электрохимическое осаждение.
- Zh.I. Alferov, V.M. Andreev, V.D. Rumyantsev. III-V Hetestructures in Photovoltaics. In: Concentrator Photovoltaics, еd. by A. Luque, V. Andreev. Springer Ser. in Optical Sciences (Springer, Berlin-Heidelberg), 130, 25 (2007). DOI: 10.1007/978-3-540-68798-6_2
- G.C. Schwartz, K.V. Srikrishnan. Hadbook of semiconductor technology (Boca Raton, Taylor \& Francis Group, 2006)
- Zh.I. Alferov, V.M. Andreev, M.Z. Shvarts. III-V Solar Cells and Concentrator Arrays. In: High Efficient Low-Cos Photovoltaics, ed. by V. Petrova-Koch, R. Hezel, A. Goetzberger. Springer Ser. in Optical Sciences, 140, 133 (2020). DOI: 10.1007/978-3-030-22864-4_8
- Handbook of Concentrator Photovoltaic Technology, ed. by Carlos Algora, Rey-Stole Ignacio (John Willey \& Sons, Ltd, 2016)
- H. Cotal, Ch. Fetzer, J. Boisvert, G. Kinsey, R. King, P. Hebert, H. Yoon, N. Karam. Energy Environ. Sci., 2, 174 (2009). DOI: 10.1039/B809257E
- А.В. Малевская, В.П. Хвостиков, Ф.Ю. Солдатенков, О.А. Хвостикова, А.С. Власов, В.М. Андреев. Письма ЖТФ, 45 (1), 12 (2019). DOI: 10.21883/FTP.2022.03.52127.9774
- У. Моро. Микролитография (М., Мир, 1990)
- Е.В. Слыщенко, А.А. Наумова, А.А. Лебедев, М.А. Генали, Н.Т. Вагапова, Б.В. Жалнин. Сибирский журнал науки и техники, 19 (2), 308 (2018)
- A.V. Malevskaya, D.A. Malevski, N.D. Il'inskaya. J. Phys.: Conf. Ser., 690, 012039 (2016). DOI:10.1088/1742-6596/690/1/012039
- Б.Н. Самсоненко, Н.С. Разувайло, Л.В. Вельганенко. Патент RU2357326 (2009)
- А.В. Малевская, Н.Д. Ильинская, Д.А. Малевский, П.В. Покровский. Патент RU2756198 (2021)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.
