"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Оптические свойства кремниевых нанопилларов со встроенным вертикальным p-n-переходом
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 18-29-20066 мк
Российский научный фонд (РНФ), 17-13-01412
Басалаева Л.С. 1, Царев А.В. 1,2, Аникин К.В. 1, Вебер С.Л. 2,3, Крыжановская Н.В. 4, Настаушев Ю.В. 1
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Международный томографический центр СО РАН, Новосибирск, Россия
4Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
Email: basalaeva@isp.nsc.ru, tsarev@isp.nsc.ru, kirill_anikin@list.ru, sergey.veber@tomo.nsc.ru, kryj@mail.ioffe.ru, nast@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 10 ноября 2021 г.
В окончательной редакции: 20 ноября 2021 г.
Принята к печати: 20 ноября 2021 г.
Выставление онлайн: 26 декабря 2021 г.

Представлены результаты исследования резонансного отражения света упорядоченными массивами кремниевых (Si) нанопилларов. Высота Si нанопилларов составляла 450 нм. Было изучено влияние процесса окисления Si нанопилларов в концентрированной азотной кислоте на положение резонансов в спектрах отражения. Доказано слабое влияние дополнительного полимерного покрытия на характеристики отражения от структур. На основе результатов экспериментального исследования и прямого численного моделирования с применением трехмерного алгоритма конечных разностей во временной области (3D FDTD) установлено, что зависимость резонансной длины волны Si нанопилларов от диаметра Si нанопилларов является линейной функцией c ненулевым смещением, зависящим от периода. Ключевые слова: кремниевые нанопиллары (наностолбики), структурный цвет, диэлектрическая нанофотоника.
  1. Yu. Kivshar. Natl. Sci. Rev., 5 (2) 144 (2018)
  2. Z.-J. Yang, R. Jiang, X. Zhuo, Y.-M. Xie, J. Wang, H.-Q. Lin. Phys. Rep., 701, 1 (2017)
  3. H. Bertin, Y. Br\^ule, G. Magno, T. Lopez, P. Gogo, L. Pradere, B. Gralak, D. Barat, G. Demesy, B. Dagens. ACS Photonics, 5 (7), 2661 (2018)
  4. S.I. Lepeshov, A.E. Krasnok, P.A. Belov, A.E. Miroshnichenko. Phys.-Usp., 61 (11), 1035 (2018)
  5. C. Zou, J. Sautter, F. Setzpfandt, I. Staude. J. Phys. D: Appl. Phys., 52, 373002 (2019)
  6. K.V. Baryshnikova, M.I. Petrov, V.E. Babicheva, P.A. Belov. Sci. Rept., 6, 22136 (1-11) (2016)
  7. A. Kuznetsov, A. Miroshnichenko, Y. Fu, J. Zhang, B. Luk'yanchuk. Sci. Rep., 2, 492 (2012)
  8. V.-C. Su, C.H. Chu, G. Sun, D.P. Tsai. Opt. Express, 26, 13148 (2018)
  9. M. Brongersma, Y. Cui, S. Fan. Nature Materials, 13, 451 (2014)
  10. A.L. Hernandez, R. Casquel, M. Holgado, I. Cornago, F. Fernandez, P. Ciaurriz, F.J. Sanza, B. Santamari a, M.V. Maigler, M. Fe Laguna. Optics Lett., 41 (23), 5430 (2016)
  11. V. Flauraud, M. Reyes, R. Paniagua-Domi nguez, A.I. Kuznetsov, J. Brugger. ACS Photonics, 4 (8), 1913 (2017)
  12. H. Li, S. Gao, Y. Li, C. Zhang, W. Yue. Opt. Express, 27 (24), 35027 (2019)
  13. C. Park, V.R. Shrestha, W. Yue, Song Gao, S.-S. Lee, E.-S. Kim, D.-Y. Choi. Sci. Rept., 7 (2556), 1-9 (2017).
  14. W. Yue, S. Gao, S.-S. Lee, E.-S. Kim, D.-Y. Choi. Laser Photonics Rev., 11 (3), 1600285 (2017)
  15. B.-H. Cheong, O.N. Prudnikov, E. Cho, H.-S. Kim, J. Yu, Y.-S. Cho, H.-Y. Choi, S.T. Shin. Appl. Phys. Lett., 94, 213104, 1 (2009)
  16. X. Li, J. Li, T. Chen, B.K. Tay, J. Wang, H. Yu. Nanoscale Res. Lett., 5,  1721 (2010)
  17. S. Yalamanchili, H.S. Emmer, K.T. Fountaine, C.T. Chen, N.S. Lewis, H.A. Atwater. ACS Photonics, 3 (10), 1854 (2016)
  18. L.S. Basalaeva, Yu.V. Nastaushev, N.V. Kryzhanovskaya, E.I. Moiseev, D.A. Radnatarov, S.A. Khripunov, D.E. Utkin, I.B. Chistokhin, A.V. Latyshev, F.N. Dultsev. Thin Sol. Films, 672, 109 (2019)
  19. А. Smyrnakis, P. Dimitrakis, P. Normand, E. Gogolides. Microelectron. Eng., 174, 74 (2017)
  20. S. Tsoi, F.J. Bezares, A. Giles, J.P. Long, O.J. Glembocki, J.D. Caldwe, J. Owrutsky. Appl. Phys. Lett., 108, 11110 (1-5) (2016)
  21. N. Dhindsa, R. Kohandani, S.S. Saini. Nanotechnology, 31, 224001 (2020)
  22. L.S. Golobokova, Yu.V. Nastaushev, F.N. Dultsev, D.V. Gulyaev, A.B. Talochkin, A.V. Latyshev. J. Phys.: Conf. Ser., 541 (1), 012074 (2014)
  23. L.S. Basalaeva, Y.V. Nastaushev, F.N. Dultsev. Materials Today: Proceedings, 4 (11), 11341 (2017)
  24. Rsoft FullWave by SYNOPSYS. Photonic Design Software. https://www.synopsys.com/optical-solutions/rsoft.html
  25. Y. Yu, L. Cao. Opt. Express, 20, 13847 (2012)
  26. F.J. Bezares, J.P. Long, O.J. Glembocki, Junpeng Guo, R.W. Rendell, R. Kasica, L. Shirey, J.C. Owrutsky, J.D. Caldwell. Opt. Express, 21 (23), 27587 (2013).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.