Физика и техника полупроводников

Авторам

Правила оформления публикаций

Вышедшие номера

2024
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2023
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9
2022
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2021
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2020
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2019
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2018
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12 13
2017
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2016
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2015
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2014
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2013
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2012
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2011
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2010
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2009
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2008
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2007
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2006
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2005
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2004
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2003
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2002
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2001
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
2000
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1999
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1998
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1997
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1996
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1995
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1994
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1993
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1992
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1991
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1990
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1989
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12
1988
- 1 2 3 4 5 6 7 8 9 10 11 12

Исследование взаимосвязи механических напряжений, оптической неоднородности и концентрации кислорода в кристаллах германия

DOI: 10.21883/FTP.2022.03.52112.9765

Министерство науки и высшего образования Российской Федерации, Научно-технологическое развитие РФ, FSRZ-2020-0013

Шиманский А.Ф.

¹, Кравцова Е.Д.¹, Кулаковская Т.В.², Григорович А.П.², Копыткова С.А.², Смирнов А.Д.³

¹Сибирский федеральный университет, Красноярск, Россия Siberian Federal University, Krasnoyarsk, Russia

²АО "Германий", Красноярск, Россия JSC Germanium, Krasnoyarsk, Russia

³ЗАО Группа СТР“, Санкт-Петербург, Россия STR Group, Inc., St-Petersburg, Russia

Email: shimanaf@mail.ru

Поступила в редакцию: 8 ноября 2021 г.

В окончательной редакции: 15 ноября 2021 г.

Принята к печати: 15 ноября 2021 г.

Выставление онлайн: 26 декабря 2021 г.

PDF версия

Абстракт
Литература
Статистика просмотров

Представлены результаты исследования радиального распределения механических напряжений, концентрации кислорода и оптической неоднородности в кристаллах германия диаметром 200 мм, легированных сурьмой, с удельным электрическим сопротивлением от 10.5 до 18.5 Ом · см, выращенных по методу Чохральского. Установлено, что остаточные напряжения, рассчитанные по данным рентгеноструктурного анализа, коррелируют с результатами численного моделирования термоупругих напряжений и взаимосвязаны со значениями оптической неоднородности и концентрации растворенного кислорода, присутствующего в германии в атомарно-диспергированном состоянии. Ключевые слова: германий, монокристаллы, механические напряжения, оптическая неоднородность, примесь кислорода.

F. Dimroth, S. Kurtz. MRS Bull., 32 (3), 230 (2007). DOI: 10.1557/mrs2007.27
A. Luque, S. Hegedus. Handbook Photovoltaic Science and Engineering (John Wiley \& Sons Ltd., Chichester, 2003)
C.L. Claeys, E. Simoen. Germanium-Based Technologies: from Materials to Devices (Elsevier B.V, Amsterdam, 2007)
C.L. Claeys, E. Simoen. Extended Defects in Germanium: Fundamental and Technological Aspects (Springer, Berlin [etc.], 2009)
B. Depuydt, A. Theuwis, I. Romandic. Mater. Sci. Semicond. Process., 9 (4-5), 437 (2006). DOI: 10.1016/j.mssp.2006.08.002
K. Seref, I. Romandic, A. Theuwis. Mater. Sci. Semicond. Process., 9 (4-5), 753 (2006). DOI: 10.1016/j.mssp.2006.08.035
A. Chroneos, R.V. Vovk. J. Mater. Sci. Mater. Electron., 26 (10), 7378 (2015). DOI: 10.1007/s10854-015-3367-7
T. Taishi, Y. Ohno, I. Yonenaga. J. Cryst. Growth, 311 (22), 4615 (2009). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2009.09.001
T. Taishi, H. Ise, Y. Murao, T. Osawa, M. Suezawa, Y. Tokumoto, Y. Ohno, K. Hoshikawa, I. Yonenaga. J. Cryst. Growth, 312 (19), 2783 (2010). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2010.05.045
V.I. Talanin, I.E. Talanin. J. Cryst. Growth, 552 125928 (2020). DOI: 0.1016/j.jcrysgro.2020.125928
K. Sueoka, J. Vanhellemont. Mater. Sci. Semicond. Process., 9 (4-5), 494 (2006). DOI: 10.1016/j.mssp.2006.08.004
Y. Murao, T. Taishi, Y. Tokumoto, Y. Ohno, I. Yonenaga. J. Appl. Phys., 109 (11), 113502 (2011). DOI: 10.1063/1.3592226
CGSim package for analysis and optimization of Cz, LEC, VCz, and Bridgman growth of semiconductor and semitransparent crystals // STR [site]. URL: http://www.str-soft.com/products/CGSim/
A.F. Shimanskii, O.I. Podkopaev, V.N. Baranov. Adv. Mater. Res., 1101, 115 (2015). DOI: 10.4028/www.scientific.net/AMR.1101.115
И.А. Каплунов, В.Е. Рогалин, М.Ю. Гавалян. Опт. и спектр., 118 (2), 254 (2015). DOI: 10.7868/S0030403415020087 [I.A. Kaplunov, V.E. Rogalin, M.Y. Gavalyan. Opt. Spectrosc., 118 (2), 240 (2015). DOI: 10.1134/S0030400X15020083]
M. Roth, M. Azoulay, G. Gafni, M. Mizrachi. J. Cryst. Growth, 99 (1-4), 670 (1990)
V.V. Artemyev, A.D. Smirnov, V.V. Kalaev, V.M. Mamedov, A.P. Sidko, O.I. Podkopaev, E.D. Kravtsova, A.F. Shimansky. J. Cryst. Growth, 468, 443 (2017). DOI: 10.1016/j.jcrysgro.2017.01.032
A.S. Cooper. Acta Cryst., 15, 578 (1962). DOI: 10.1107/S0365110X62001474

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.

Учредители

Издатель