Вышедшие номера
Облучение ионами аргона Cr/4H-SiC-фотоприемников
Калинина Е.В.1, Кудояров М.Ф.1, Никитина И.П.1, Дементьева Е.В.1, Забродский В.В.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: evk@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 октября 2021 г.
В окончательной редакции: 5 ноября 2021 г.
Принята к печати: 5 ноября 2021 г.
Выставление онлайн: 22 ноября 2021 г.

Представлены результаты влияния облучения ионами Ar на структурные, электрофизические и оптические характеристики ультрафиолетовых Cr/4H-SiC-фотоприемников спектрального диапазона 200-400 нм. После однократного облучения ионами Ar с энергией 53 МэВ флюенсом 1·1010 см-2 значения квантовой эффективности фотоприемников практически оставались на уровне исходных образцов за счет "эффекта геттерирования" простых радиационных дефектов кластерными образованиями. Наблюдаемый эффект способствовал уменьшению количества простых радиационных дефектов вакансионного типа, росту времени жизни носителей тока и, как следствие, неизменным значениям фотопроводимости Cr/4H-SiC-фотоприемников. После повторного облучения фотоприемников ионами Ar общим флюенсом 2·1010 см-2 наблюдался распад кластеров, образование значительного количества простых дефектных центров, что приводило к снижению времени жизни носителей тока и фотопроводимости Cr/4H-SiC-детекторов. Ключевые слова: карбид кремния, облучение, аргон, квантовая эффективность.