"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние наличия достаточно высокой концентрации фосфора на концентрационное распределение галлия в кремнии
Бахадирханов М.К.1, Зикриллаев Н.Ф.1, Исамов С.Б. 1, Турекеев Х.С.1, Валиев С.А.1
1Ташкентский государственный технический университет, Ташкент, Узбекистан
Email: bahazeb@yandex.ru, zikrillaev@mail.ru, sobir-i@mail.ru, axmet-8686@mail.ru, siroj2@yandex.ru
Поступила в редакцию: 9 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 11 сентября 2021 г.
Принята к печати: 20 сентября 2021 г.
Выставление онлайн: 22 ноября 2021 г.

Установлено, что в кремнии, предварительно легированном высокой концентрацией фосфора, при диффузии галлия происходит существенное увеличение растворимости галлия. Полученные результаты объясняются взаимодействием атомов галлия и фосфора, в результате которого формируются квазинейтральные молекулы [P+Ga-]. Предполагается, что образование таких квазинейтральных молекул [P+Ga-] стимулирует формирование бинарных элементарных ячеек Si2GaP в решетке кремния. Показано, что достаточно большая концентрация таких элементарных ячеек может привести к существенному изменению электрофизических параметров кремния и к возможности получения нового материала на основе кремния. Ключевые слова: кремний, легирование, фосфор, галлий, диффузия.
  1. G.W. Ludwig, H.H. Woodbury, R.O. Carlson. J. Phys. Chem. Sol., 8, 490 (1959)
  2. J. Kreissl, W. Gehlhoff. Phys. Status Solidi B, 145, 609 (1988)
  3. М.Г. Мильвидский, В.В. Чалдышев. ФТП, 32 (5), 513 (1998)
  4. M.K. Bahadirkhanov, B.K. Ismaylov, K.A. Ismailov, N.F. Zikrillaev, S.B. Isamov. Int. J. Adv. Sci. Techn., 29 (9), 6308 (2020)
  5. M.K. Bakhadyrkhanov, K.S. Ayupov, G.Kh. Mavlyanov, S.B. Isamov. Semiconductors, 44 (9), 1145 (2010)
  6. М.К. Бахадирханов, Б.А. Абдурахманов, Х.Ф. Зикриллаев. Приборы, 5 (215), 39 (2018)
  7. M.K. Bakhadyrkhanov, Kh.M. Iliev, G.Kh. Mavlonov, K.S. Ayupov, S.B. Isamov, S.A. Tachilin. Techn. Phys., 64 (3) 385 (2019)
  8. M.K. Bakhadyrhanov, U.X. Sodikov, Kh.M. Iliev, S.A. Tachilin, Tuerdi Wumaier. Mater. Phys. Chem., 1, 89 (2019)
  9. Л.И. Гречихин, С.Д. Латушкина, В.М. Комаровская, Ю. Шмермбекк. Упрочняющие технологии и покрытия, 9, 5 (2015)
  10. M.K. Bakhadirkhanov, Sh.I. Askarov, N. Norkulov. Phys. Status Solidi A, 142, 339 (1994)
  11. E.M. Conwell. Proc. IRE, 46 (6), 1281 (1958)
  12. A. Florakis, T. Janssens, N. Posthuma, J. Delmotte, B. Douhard, J. Poortmans, W. Vandervorst. Energy Procedia, 38, 263 (2013)
  13. E. Garci a-Tabares, D. Marti n, I. Garci a, I. Rey-Stolle. Sol. Energy Mater. Sol. Cells, 116, 61 (2013)
  14. Л.Н. Александров, Т.В. Бондарева, Г.А. Качурин, И.Е. Тысченко. ФТП, 25 (2), 227 (1991)
  15. Д.С. Королев, А.Н. Михайлов, А.И. Белов, В.К. Васильев, Д.В. Гусейнов, Е.В. Окулич. ФТП, 50 (2), 274 (2016)
  16. T. Ahlgren, J. Likonen, J. Slotte, J. Raisanen, M. Rajatora, J. Keinonen. Phys. Rev. B, 56 (8), 4597 (1997)
  17. Е.Г. Тишковский, В.И. Ободников, А.А. Таскин, К.В. Феклистов, В.Г. Серяпин. ФТП, 34 (6), 655 (2000)
  18. Г.В. Гадияк. ФТП, 31 (4), 385 (1997)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.