"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Способ формирования пленок фазы β-FeSi2 методом импульсного лазерного осаждения в вакууме
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Стабильность, 20-38-70063
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), Аспиранты, 20-32-90032
Кузнецов Ю.М. 1, Дорохин М.В. 1, Нежданов А.В. 1, Здоровейщев Д.А.1, Лесников В.П. 1, Машин А.И. 1
1Научно-исследовательский физико-технический институт Нижегородского государственного университета им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Email: yurakz94@list.ru, dorokhin@nifti.unn.ru, nezhdanov@phys.unn.ru, daniel.zdorov@gmail.com, mashin@unn.ru
Поступила в редакцию: 12 апреля 2021 г.
В окончательной редакции: 19 апреля 2021 г.
Принята к печати: 19 апреля 2021 г.
Выставление онлайн: 9 июня 2021 г.

Рассмотрен новый способ формирования фазы β-FeSi2 на кремниевых и сапфировых подложках методом импульсного лазерного осаждения в вакууме. Была подготовлена серия структур с вариацией концентрации железа в распыляемой мишени. Выполнен анализ фазового состава пленок из идентификации пиков в спектрах комбинационного рассеяния света. Проведено исследование магнитных свойств образцов путем регистрации магнитополевой зависимости сопротивления Холла. Показано формирование дополнительных магнитных фаз Fe3Si и FeSi при условиях роста, обеспечивающих повышенное вхождение атомов Fe в формируемый слой. Проведен анализ фазового состава пленок, сформированных на кремниевых и сапфировых подложках при одинаковых технологических параметрах роста. Ключевые слова: полупроводник, β-FeSi2, импульсное лазерное осаждение, комбинационное рассеяние света, эффект Холла.
  1. Z. Liu, M. Osamura, T. Ootsuka, R. Kuroda, Y. Fukuzawa, N. Otogawa, Y. Nakayama, Y. Makita, H. Tanou. J. Cryst. Growth, 307, 82 (2007)
  2. Q. Wan, T.H. Wang, C.L. Lin. Appl. Phys. Lett., 82 (19), 3224 (2003)
  3. Y.P. Han, X.J. Wang, Q.R. Hou, Q.W. Wang, J.X. Wang. Mod. Phys. Lett. B, 26 (15), 125009 (2012)
  4. Z.G. Chen, G. Hana, L. Yanga, L. Cheng, J. Zou. Progr. Natural Sci.: Mater. Intern., 22 (6), 535 (2012)
  5. G. Behr, J. Werner, G. Weise, A. Heinrich, A. Burkov, C. Gladun. Phys. Status Solidi A, 160, 549 (1997)
  6. Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, Е.И. Теруков, В.Х. Кудоярова, G. Weiser. ФТП, 35 (11), 1320 (2001)
  7. Z. Liu, Y. Suzuki, M. Osamura, T. Ootsuka, T. Mise, R. Kuroda, H. Tanoue, Y. Nakayama. J. Appl. Phys., 95, 4019 (2004)
  8. H.M. Manasevit, W.I. Simpson. J. Appl. Phys., 35, 1349 (1964)
  9. O. Kubaschewski. Iron-Binary Phase Diagrams (Springer, Berlin, 1982)
  10. W.K. Chu, S.S. Lau, J.W. Mayer, H. Muller, K.N. Tu. Thin Sol. Films, 25, 393 (1975)
  11. Q. Han, Z. Liu, Y. Xu, H. Zhang. J. Cryst. Growth, 307, 82 (2007)
  12. S. Thabethe, E. Linganiso, D. Motaung, M.G. Mashapa, S. Nkosi, C.J. Arendse, B.W. Mwakikung. J. Luminesc., 143, 113 (2013)
  13. E. Arushanov, Ch. Kloc, H. Hohl, E. Bucher. J. Appl. Phys., 75, 5106 (1994)
  14. S. Brehme, G. Behr, A. Heinrich. J. Appl. Phys., 89, 3798 (2001)
  15. K. Irmscher, W. Gehlhoff, Y. Tomm, H. Lange, V. Alex. Phys. Rev. B, 55, 4417 (1997)
  16. P. Bertoncini, P. Wetzel, D. Berling, A. Mehdaoui, B. Loegel, G. Gewinner, R. Poinsot, V. Pierron-Bohnes. JMMM, 237, 181 (2001)
  17. R. Klaesges, C. Carbone, W. Eberhardt, C. Pampuch, O. Rader, T. Kachel, M. Gudat. Phys. Rev. B, 56, 10801 (1997)
  18. R. Skomski, P. Kumar, B. Balamurugan, B. Das, P. Manchanda, P. Raghani, A. Kashyap, D.J. Sellmyer. JMMM, 460, 438 (2018)
  19. N.E. Sluchanko, V.V. Glushkov, S.V. Demishev, A.A. Menovsky, L. Weckhuysen, V.V. Moshchalkov. Phys. Rev. B, 65, 064404 (2002)
  20. H.J. Williams, J.H. Wernick, R.C. Sherwood, G.K. Wertheim. J. Appl. Phys., 37 (3), 1256 (1966)
  21. B. Schuller, R. Carius, S. Manti. J. Appl. Phys., 94 (1), 207 (2003)
  22. Y. Terai, H. Yamaguchi, H. Tsukamoto, N. Murakoso, H. Hoshida. AIP Adv., 8, 105028 (2018)
  23. Y. Maeda, K. Umezawa, Y. Hayashi, K. Miyake. Thin Sol. Films, 381, 219 (2001)
  24. Y. Terai, H. Yamaguchi, H. Tsukamoto, T. Hattori, T. Higashi. JJAP Conf. Proc., 3, 011109 (2015).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.