"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Сегрегация сурьмы в напряженных SiGe-гетероструктурах, выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии
Дроздов М.Н.1, Новиков А.В.1,2, Юрасов Д.В.1
1Институт физики микроструктур Российской академии наук, Нижний Новгород, Россия
2Нижегородский государственный университет им. Н.И. Лобачевского, Нижний Новгород, Россия
Поступила в редакцию: 22 апреля 2013 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2013 г.

Для напряженных SiGe-структур, выращенных методом молекулярно-пучковой эпитаксии, экспериментально исследовано влияние на сегрегацию сурьмы температуры роста, компонентного состава и упругих напряжений отдельных слоев. Установлено, что условия роста и параметры структуры оказывают взаимосвязанное воздействие на сегрегацию Sb: степень влияния состава и упругих напряжений SiGe-слоев на сегрегацию Sb зависит от температуры роста. Показано, что использование ранее предложенного авторами метода селективного легирования кремниевых структур с учетом полученных зависимостей сегрегации Sb от условий роста и параметров SiGe-слоев позволяет формировать селективно-легированные сурьмой SiGe-структуры.
  1. H.-J. Gossmann, E.F. Shubert. Crit. Rev. Sol. St. Mater. Sci., 18, 1 (1993)
  2. I. Berberzier, J.P. Ayoub, A. Ronda, M. Oehme, K. Lyutovich, E. Kasper, M. Di Marino, G. Bisognin, E. Napolitani, M. Berti. J. Appl. Phys., 107, 034 309 (2010)
  3. K.D. Hobart, D.J. Godbey, M.E. Twigg, M. Fatemi, P.E. Thompson, D.S. Simons. Surf. Sci., 334, 29 (1995)
  4. H. Jorke. Surf. Sci., 193, 569 (1988)
  5. J.F. Nutzel, G. Abstreiter. Phys. Rev. B, 53, 13 551 (1996)
  6. C.B. Arnold, M.J. Aziz. Phys. Rev. B, 72, 1 954 119 (2005)
  7. D.V. Yurasov, M.N. Drozdov, A.V. Murel, M.V. Shaleev, N.D. Zakharov, A.V. Novikov. J. Appl. Phys., 109, 113 533 (2011)
  8. П.В. Волков, А.В. Горюнов, А.Ю. Лукьянов, А.Д. Тертышник, А.В. Новиков, Д.В. Юрасов, Н.А. Байдакова, Н.Н. Михайлов, В.Г. Ремесник, В.Д. Кузьмин. ФТП, 46 (12), 1505 (2012)
  9. S. Fukatsu, K. Fujita, H. Yaguchi, Y. Shiraki, R. Ito. Appl. Phys. Lett., 59, 2103 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.