"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние условий получения пленок полиморфного кремния на их структурные, электрические и оптические свойства
Хенкин М.В.1, Емельянов А.В.1, Казанский А.Г.1, Форш П.А.2, Кашкаров П.К.1,2, Теруков Е.И.3,4, Орехов Д.Л.4, Roca i Cabarrocas P.5
1Московский государственный университет им. М.В. Ломоносова (физический факультет), Москва, Россия
2Национальный исследовательский центр "Курчатовский институт", Москва, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
4ООО НТЦ тонкопленочных технологий в энергетике при Физико-техническом институте им. А.Ф. Иоффе, Санкт-Петербург, Россия
5LPICM-CNRS, Ecole polytechnique, Palaiseau, France
Поступила в редакцию: 21 января 2013 г.
Выставление онлайн: 20 августа 2013 г.

Исследовались структурные, оптические и фотоэлектрические свойства пленок полиморфного кремния, полученных методом плазмохимического осаждения из газовой смеси моносилана и водорода при высоком давлении. Изменение давления газовой смеси при получении пленок не приводило к существенному изменению измеренных для них спектров рамановского рассеяния, но вызывало изменение величины фотопроводимости и формы спектральной зависимости коэффициента поглощения, измеренной методом постоянного фототока. Наблюдаемое изменение оптических и фотоэлектрических параметров пленок связывается с некоторым изменением их структуры при изменении параметров осаждения.
  1. P. Roca i Cabarrocas, A. Fontcuberta i Morral, Y. Poissant. Thin Sol. Films, 403--404, 39 (2002)
  2. M.Y. Soro, M.E. Gueunier-Farret. J. Appl. Phys., 109, 023 613 (2011)
  3. M. Brinza, G.J. Adriaenssens, P. Roca i Cabarrocas. Thin Sol. Films, 427, 123 (2003)
  4. J.P. Kleider, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 299--302, 599 (2002)
  5. G. Ganguly, A. Matsuda. Phys. Reb. B, 47, 3661 (1993)
  6. P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 31 (2000)
  7. P. Roca i Cabarrocas. Appl. Phys. Lett., 65, 1674 (1994)
  8. A. Fontcuberta i Morral, R. Brenot, E.A.G. Hamers, R. Vanderhaghen, P. Roca i Cabarrocas. J. Non-Cryst. Sol., 266--269, 48 (2000)
  9. M. Vanecek, J. Kocka, J. Stuchli k, Z. Kozisek, O. Stika, A. Triska. Sol. Energy Mater., 8, 411 (1983)
  10. N.M. Liao, W. Li, Y.D. Jiang, Y.J. Kuang, K.C. Qi, Z.M. Wu, S.B. Li. Appl. Phys. A, 91, 349 (2008)
  11. N. Maley, D. Beeman, J.S. Lannin. Phys. Rev. B, 38, 10 611 (1988)
  12. H. Richter, Z.P. Wang, L. Ley. Sol. St. Commun., 39 (5), 625 (1981)
  13. T. Kaneko, M. Wagashi, K. Onisawa, T. Minemura. Appl. Phys. Lett., 64, 1865 (1994)
  14. P. Gogoi, P.N. Dixit, P. Agarwal. Sol. Energy Mater. Solar Cells, 91, 1253 (2007)
  15. А.В. Емельянов, А.Г. Казанский, П.К. Кашкаров, О.И. Коньков, Е.И. Теруков, П.А. Форш, М.В. Хенкин, А.В. Кукин, M. Beresna, P. Kazansky. ФТП, 46, 769 (2012)
  16. В.Г. Голубев, В.Ю. Давыдов, А.В. Медведев, А.Б. Певцов, Н.А. Феоктистов. ФТТ, 39, 1348 (1997)
  17. D. Han, G. Yue, J.D. Lorentzen, J. Lin, H. Habuchi, Qi Wang. J. Appl. Phys., 87, 1882 (2000)
  18. A.G. Kazanskii, G. Kong, X. Zeng, H. Hao, F. Liu. J. Non-Cryst. Sol., 354, 2282 (2008)
  19. M. Hoheisel, R. Carius, W. Funs. J. Non-Cryst. Sol., 59--60, 457 (1983)
  20. G. Schumm, C.-D. Abel, G.H. Bauer. J. Non-Cryst. Sol., 137-138, 351 (1991)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.