"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Особенности напряженно-деформированного состояния гетероструктур Si/SiO2/Ge с наноостровками германия предельной плотности
Курилюк В.В.1, Коротченков О.А.1
1Киевский национальный университет имени Тараса Шевченко, физический факультет, Киев, Украина
Поступила в редакцию: 4 декабря 2012 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2013 г.

В рамках модели упругого континуума с использованием метода конечных элементов выполнены расчеты напряженно-деформированного состояния кремний-германиевых гетероструктур с полусферическими островками германия, выращенными на окисленной поверхности кремния. Показано, что при увеличении плотности островков до предельных значений в SiGe-структуре с открытыми квантовыми точками существенно изменяются величина и пространственное распределение полей упругих деформаций. Результаты теоретических расчетов позволяют выявить участки гетероструктуры с максимальным изменением напряженно-деформированного состояния, местоположение которых можно варьировать изменением плотности островков.
  1. A. Alguno, N. Usami, T. Ujihara, K. Fujiwara, G. Sazaki, K. Nakajima, Y. Shiraki. Appl. Phys. Lett., 83 (6), 1258 (2003)
  2. A.I. Yakimov, A.V. Dvurechenskii, A.I. Nikiforov, Yu.Yu. Proskuryakov. J. Appl Phys., 89 (10), 5676 (2001)
  3. S.H. Hong, M.C. Kim, P.S. Jeong, S.-H. Choi, K.J. Kim. Nanotechnology, 19 (30), 305 203 (2008)
  4. R.O. Rezaev, S.M. Kiravittaya, V. Fomin, A. Rastelli, O.G. Schmidt. Phys. Rev. B, 82 (15), 153 306 (2010)
  5. K. Brunner. Rep. Prog. Phys., 65 (1), 27 (2002)
  6. V. Kuryliuk, O. Korotchenkov, A. Cantarero. Phys. Rev. B, 85 (7), 075 406 (2012)
  7. J. Stangl, V. Holy, G. Bauer. Rev. Mod. Phys., 76 (3), 725 (2004)
  8. G. Jin, J. Liu, K.L. Wang. Appl. Phys. Lett., 83 (14), 2847 (2003)
  9. A.B. Talochkin, A.G. Cherkov. Nanotechnology, 20 (34), 345 702 (2009)
  10. A.I. Yakimov, A.A. Bloshkin, A.V. Dvurechenskii. Phys. Rev. B, 81 (11), 115 434 (2010)
  11. O.G. Schmidt, C. Lange, K. Eberl, O. Kienzle, F. Ernst. Appl. Phys. Lett., 71 (16), 2340 (1997)
  12. I. Berbezier, A. Ronda, A. Portavoce, N. Motta. Appl. Phys. Lett., 83 (23), 4833 (2000)
  13. A.A. Shklyaev, M. Shibata, M. Ichikawa. Phys. Rev. B, 62 (3), 1540 (2000)
  14. А.А. Шкляев, М. Ичикава. УФН, 178 (2), 139 (2008)
  15. C.-Y. Chien, Y.-J. Chang, K.-H. Chen, W.-T. Lai, T. George, A. Scherer, P.-W. Li. Nanotechnology, 22 (43), 435 602 (2011)
  16. M. Hecker, M. Roelke, P. Hermann, E. Zschech, V. Vartanian. J. Phys.: Conf. Ser., 209 (1), 012 008 (2010)
  17. A.A. Shklyaev, S. Nobuki, S. Uchida, Y. Nakamura, M. Ichikawa. Appl. Phys. Lett., 88 (12), 121 919 (2006)
  18. A.O. Podolian, V.V. Kuryliuk, A.B. Nadtochiy, S.V. Kondratenko, O.A. Korotchenkov, Yu.N. Kozyrev, V.K. Sklyar, M.Yu. Rubezhanska, V.S. Lysenko. Adv. Mater. Res., 276, 159 (2011)
  19. O.C. Zienkiewicz, R.L. Taylor, J.Z. Zhu. The Finite Element Method: Its Basis and Fundamentals (London, Butterworth-Heinemann, 2005)
  20. B.A. Auld. Acoustic Fields and Waves in Solids (N. Y., Wiley, 1973) v. 1

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.