"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
О влиянии гетерограниц и толщины на кинетику кристаллизации пленок аморфного германия
Переводная версия: 10.1134/S1063782620070040
Ministry of Education and Science of the Russian Federation, Basic Research Program of the ISP SB RAS, 0306-2019-0019
Ministry of Education and Science of the Russian Federation, asic Research Program of the PTI RAS, 0066-2019-0003
Кривякин Г.К.1,2, Володин В.А.1,2, Камаев Г.Н.1, Попов А.А.3
1Институт физики полупроводников им. А.В. Ржанова Сибирского отделения Российской академии наук, Новосибирск, Россия
2Новосибирский государственный университет, Новосибирск, Россия
3Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: volodin@isp.nsc.ru
Поступила в редакцию: 20 февраля 2020 г.
В окончательной редакции: 28 февраля 2020 г.
Принята к печати: 28 февраля 2020 г.
Выставление онлайн: 8 апреля 2020 г.

Исследованы процессы кристаллизации пленок аморфного германия различной толщины и многослойных наноструктур германий/кремний, выращенных на стеклянных подложках методом плазмохимического осаждения, при изотермических отжигах 440oC. Фазовый состав пленок определялся из анализа спектров комбинационного рассеяния света. Установлено, что пленка германия толщиной 200 нм практически полностью кристаллизуется уже после двухчасового отжига, при этом в пленке германия толщиной 6 нм только возникают кристаллические зародыши с объемной долей <1%. Четырехчасовой отжиг тонкой пленки приводит к заметному росту их размеров и доля кристалличности увеличивается до 40%. Отжиги наноразмерных слоев a-Ge (6 нм), внедренных в матрицу a-Si в тех же условиях продолжительностью 2 и 4 ч, не приводят даже к частичной кристаллизации, слои остаются аморфными. Обсуждается влияние гетерограниц на кристаллизацию слоев германия. Ключевые слова: германий, гетерограницы, кинетика кристаллизации.
  1. О.П. Пчеляков, Ю.Б. Болховитянов, А.В. Двуреченский, Л.В. Соколов, А.И. Никифоров, А.И. Якимов, Б. Фойхтлендер. ФТП, 34, 1281 (2000)
  2. E.G. Barbagiovanni, D.J. Lockwood, P.J. Simpson, L.V. Goncharova. Appl. Phys. Rev., 1, 011302 (2014)
  3. Z. Liu, T. Zhou, L. Li, Y. Zuo, C. He, C. Li, C. Xue, B. Cheng, Q. Wang. Appl. Phys. Lett., 103, 082101 (2013)
  4. N.G. Galkin, K.N. Galkin, I.M. Chernev, R. Fajgar, T.H. Stuchlikova, Z. Remes, J. Stuchlik. Phys. Status Solidi C, 10, 1712 (2013)
  5. Г.К. Кривякин, В.А. Володин, С.А. Кочубей, Г.Н. Камаев, A. Purkrt, Z. Remes, R. Fajgar, T. H. Stuchlikova, J. Stuchlik. ФТП, 50, 952 (2016)
  6. Г.К. Кривякин, В.А. Володин, А.А. Шкляев, V. Mortet, J. More-Chevalier, P. Ashcheulov, Z. Remes, T.H. Stuchlikova, J. Stuchlik. ФТП, 51, 1420 (2017)
  7. C. Li, J. Ni, X. Sun, X. Wang, Z. Li, H. Cai, J. Li, J. Zhang. J. Phys. D: Appl. Phys., 50, 045108 (2017)
  8. В.А. Володин, Г.К. Кривякин, Г.Д. Ивлев, С.Л. Прокопьев, С.В. Гусакова, А.А. Попов. ФТП, 53, 423 (2019)
  9. M. Wihl, M. Cardona, J. Tauc. J. Non-Cryst. Sol., 8-10, 172 (1972)
  10. K.W. Jobson, J.-P.R. Wells, R.E.I. Schropp, D.A. Carder, P.J. Phillips, J.I. Dijkhuis. Phys. Rev. B, 73, 155202 (2006)
  11. V.A. Volodin, D.I. Koshelev. J. Raman Spectroscopy, 44, 1760 (2013)
  12. Y. Maeda. Phys. Rev. B, 59, 1658 (1995)
  13. V.A. Volodin, D.V. Marin, V.A. Sachkov, E.B. Gorokhov, H. Rinnert, M. Vergnat. ЖЭТФ, 145, 77 (2014)
  14. J.H. Parker, jr., D.W. Feldman, M. Ashkin. Phys. Rev., 155, 712 (1967)
  15. D.M. Zhigunov, G.N. Kamaev, P.K. Kashkarov, V.A. Volodin. Appl. Phys. Lett., 113, 023101(1-4) (2018)
  16. M. Zacharias, J. Blasing, P. Veit, L. Tsybeskov, K. Hirschman, P.M. Fauchet. Appl. Phys. Lett., 74, 2614 (1999)
  17. M. Zacharias, J. Blasing, K. Hirschman, L. Tsybeskov, P.M. Fauchet. J. Non-Cryst. Sol., 266-269, 640 (2000)
  18. M. Zacharias, P. Streitenberger. Phys. Rev. B, 62, 8391 (2000)
  19. P. Germain, K. Zeliama, S. Squelard, J.C. Bourgoin, A. Gheorghiu. J. Appl. Phys., 50, 6986 (1979)
  20. C. Spinella, S. Lombardo, F. Priolo. J. Appl. Phys., 84, 5383 (1998)
  21. Zhang Fan, С.А. Кочубей, M. Stoffel, H. Rinnert, M. Vergnat, В.А. Володин. ФТП, 54, 251 (2020)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.