Вышедшие номера
Влияние водорода на импеданс структур Pd/оксид/InP
Переводная версия: 10.1134/S1063782620060160
Шутаев В.А.1, Гребенщикова Е.А.1, Сидоров В.Г.2, Компан М.Е.1, Яковлев Ю.П.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2ООО "АИБИ", Санкт-Петербург, Россия
Email: vadimshutaev@mail.ru
Поступила в редакцию: 29 января 2020 г.
В окончательной редакции: 5 февраля 2020 г.
Принята к печати: 5 февраля 2020 г.
Выставление онлайн: 26 марта 2020 г.

Исследован импеданс и емкостные свойства структур Pd/оксид/InP при 300 K в диапазоне частот 10-1-105 Гц на воздухе и в азотно-водородной газовой среде. Характеристики структур в обеих средах интерпретируются на основе модели параллельной RC-цепочки с последовательным сопротивлением. В присутствии водорода сопротивление структур уменьшается на 3 порядка, а емкость взрастает на 1-3 порядка в зависимости от частоты, что, возможно, связано с образованием положительно заряженных центров в оксиде. На вольт-фарадных характеристиках структур в среде с водородом обнаружен гистерезис, возможно, обусловленный ионной поляризацией центров. Показано, что полный заряд центров, измеренный в единицах электронов, практически совпадает с числом атомов водорода, поглощенных палладием. Ключевые слова: палладий, водород, фосфид индия, импеданс, МОП структура.