"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Зависимость кинетики кристаллизации тонких пленок Cr0.26Si0.74 от толщины
Переводная версия: 10.1134/S1063782620040107
Совет по грантам Президента Российской Федерации, Грант Президента Российской Федерации для государственной поддержки молодых российских ученых - кандидатов наук, МК-1452.2019.2
Новиков С.В. 1, Кузнецова В.С. 1, Бурков А.Т. 1, Шуманн И.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Лейбниц Институт физики твердого тела и материаловедения, Дрезден, Германия
Email: S.Novikov@mail.ioffe.ru, v.kuznetsova@mail.ioffe.ru, a.burkov@mail.ioffe.ru, J.Schumann@ifw-dresden.de
Поступила в редакцию: 18 декабря 2019 г.
В окончательной редакции: 25 декабря 2019 г.
Принята к печати: 25 декабря 2019 г.
Выставление онлайн: 20 марта 2020 г.

Исследуются термоэлектрические свойства и кинетика кристаллизации тонких пленок Cr0.26Si0.74 с толщинами 11, 14, 21, 31, 56, 74 и 115 мм. Пленки получены магнетронным распылением на холодную подложку и в исходном состоянии имеют аморфную структуру. В процессе термического отжига происходит преобразование аморфной смеси в двухфазный нанокристаллический композит, состоящий из дисилицида хрома и кремния. In situ измерения термоэлектрических свойств пленок в ходе отжига показали, что температура начала кристаллизации уменьшается, а скорость кристаллизации растет с уменьшением толщины пленок. Термоэдс нанокристаллических пленок уменьшается с ростом толщины пленок, а термоэлектрический фактор мощности достигает максимального значения в пленках толщиной 31 нм. Ключевые слова: термоэлектричество, силициды, нанокристаллизация, тонкие пленки, фактор мощности.
  1. А.Ф. Иоффе. Физика полупроводников (М.; Л., Изд-во АН СССР, 1957)
  2. S.V. Novikov, A.T. Burkov, J. Schumann. J. Alloys Comp., 557, 239 (2013)
  3. A.T. Burkov, S.V. Novikov, V.V. Khovaylo, J. Schumann. J. Alloys Comp., 691, 89 (2017)
  4. A.T. Burkov, A. Heinrich, P.P. Konstantinov, T. Nakama, K. Yagasaki. Meas. Sci. Technol., 12, 264 (2001)
  5. S.V. Novikov, A.T. Burkov, J. Schumann. J. Electron. Mater., 43 (6), 2420 (2014)
  6. C. Gladun, A. Heinrich, J. Schumann, W. Pitschke, H. Vinzelberg. Int. J. Electron., 77, 301 (1994)
  7. A.T. Burkov, A. Heinrich, C. Gladun, W. Pitschke, J. Schumann. Phys. Rev. B, 58 (15), 9644 (1998)
  8. A.T. Burkov, H. Vinzelberg, J. Schumann, T. Nakama, K. Yagasaki. J. Appl. Phys., 95 (12), 7904 (2004)
  9. H. Nitsche, F. Sommer, E.J. Mittemeijer. Metallurgical and Materials Transactions A, 37 (3), 621 (2006)
  10. A.T. Burkov. Phys. Status Solidi A, 215, 1800105 (2018)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.