"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Влияние ионно-лучевой обработки в процессе ВЧ магнетронного распыления на свойства плeнок ZnO
Переводная версия: 10.1134/S1063782619110095
Крылов П.Н.1, Алалыкин А.С. 1, Дурман Е.А.1, Закирова Р.М.1, Федотова И.В.1
1Удмуртский государственный университет, Ижевск, Россия
Email: ftt@udsu.ru, alalykin@udsu.ru
Поступила в редакцию: 21 марта 2019 г.
Выставление онлайн: 20 октября 2019 г.

Рассмотрено влияние ионно-лучевой обработки, чередующейся с процессом магнетронного напыления, на свойства тонких пленок оксида цинка. Ионно-лучевая обработка вызывает уменьшение скорости роста, размеров областей когерентного рассеяния и удельного сопротивления. Стехиометрический индекс, ширина запрещенной зоны и показатель преломления увеличиваются. Прозрачность пленок в области слабого поглощения не меняется. Ключевые слова: ионно-лучевая обработка, оксид цинка, магнетронное распыление.
  1. C.F. Klingshirn, A. Waag, A. Hoffmann, J. Geurts. Zinc Oxide: From Fundamental Properties Towards Novel Applications (Springer, 2010)
  2. C. Jagadish, S.J. Pearton. Zinc Oxide Bulk, Thin Films and Nanostructures: Processing, Properties, and Applications (Elsevier, 2006)
  3. K. Ellmer, A. Klein, B. Rech. Transparent conductive zinc oxide: Basics and applications in thin film solar cells (Springer Verlag: Berlin, Germany, 2008)
  4. H. Kim, N.L. Hung, E. Ahn, H. Jung, D. Kim. J. Korean Phys. Soc., 57 (6), 1784 (2010)
  5. А.П. Достанко, О.А. Агеев, Д.А. Голосов, С.М. Завадский, Е.Г. Замбург, Д.Е. Вакулов, З.Е. Вакулов. ФТП, 48 (9), 1274 (2014)
  6. А.А. Сердобинцев, А.Г. Веселов, О.А. Кирясова. ФТП, 42 (4), 496 (2008)
  7. С.В. Работкин. Автореф. канд. дис. (Томск, 2009)
  8. В.М. Ветошкин, Р.М. Закирова, П.Н. Крылов, И.А. Суворов. ВTT, 21 (1), 57 (2011)
  9. В.М. Ветошкин, Р.М. Закирова, Н.В. Костенков, П.Н. Крылов. Поверхность. Рентгеновские, синхротронные и нейтронные исследования, 2, 17 (2012)
  10. П.Н. Крылов, Р.М. Закирова, И.В. Федотова, Ф.З. Гильмутдинов. ФТП, 47 (6), 859 (2013)
  11. П.Н. Крылов, Р.М. Закирова, И.В. Федотова. ФТП, 48 (9), 1269 (2014)
  12. В.М. Ветошкин, П.Н. Крылов, И.В. Федотова, Р.М. Закирова. В сб.: Тр. XXIV Междунар. конф. Радиационная физика твeрдого тела" (М., Изд-во ФГБНУ "НИИ ПМТ", 2014)
  13. П.Н. Крылов, Р.М. Закирова, И.В. Федотова. ФТП, 48 (6), 763 (2014)
  14. П.Н. Крылов, Р.М. Закирова, И.В. Федотова, Р.Г. Акашкина, Е.П. Широбоков. Хим. физика и мезоскопия, 16 (2), 235 (2014)
  15. С.С. Алалыкин, П.Н. Крылов. ПТЭ, 2, 149 (2005)
  16. Я.С. Уманский, Ю.А. Скаков, А.Н. Иванов, Л.Н. Расторгуев. Кристаллография, рентгенография и электронная микроскопия (М., Металлургия, 1982) c. 632
  17. В.В. Брус, Э.Д. Ковалюк, П.Д. Марьянчук. ЖТФ, 82 (8), 110 (2012)
  18. С.И. Садовников, Н.С. Кожевникова, А.А. Ремпель. ФТП, 44 (10), 1394 (2010)
  19. Физика тонких плeнок, под общей ред. Г. Хасса, М. Франкомба, Р. Гофмана (М., Мир, 1978) т. VIII, с. 320
  20. А.Ф. Белянин, В.А. Кривченко, Д.В. Лопаев, Л.В. Павлушкин, П.В. Пащенко, В.Г. Пирогов, С.Н. Поляков, Н.В. Суетин, Н.И. Сушенцов. Технология и конструирование в электронной аппаратуре, 6, 48 (2006)
  21. А.Х. Абдуев, А.К. Ахмедов, А.Ш. Асваров. Письма ЖТФ, 40 (14), 71 (2014)
  22. О.А. Александрова, А.И. Максимов, В.А. Мошников, Д.Б. Чеснокова. / (СПб., Технолит, 2008) с. 240
  23. А.И. Бажин, А.Е. Покинтелица, Н.С. Щеглова, В.А. Ступак, А.Н. Троцан. Вiсник Донбаськоi нацiональноi академii будiвництва i архiтектури, 4, 109 (2013)
  24. P. Erhart, K. Albe, A. Klein. Phys. Rev. B, 73 (20), 205203 (2006)
  25. F. Oba, A. Togo, I. Tanaka, J. Paier, G. Kresse. Phys. Rev. B, 77 (24), 245202 (2008)
  26. F. Oba, S.R. Nishitani, S. Isotani, H. Adachi, I. Tanaka. J. Appl. Phys., 90 (11), 824 (2001)
  27. S. Limpijumnong, C.G. Van de Walle. Phys. Rev. B, 69 (13), 035207 (2004)
  28. V. Bhosle, A. Tiwari, J. Narayan. Appl. Phys. Lett., 88, 032106 (2006)
  29. A.F. Kohan, G. Ceder, D. Morgan, C.G. Van de Walle. Phys. Rev. B, 61 (22), 15019 (2000)
  30. F.A. Selim, M.H. Weber, D. Solodovnikov, K.G. Lynn. Phys. Rev. Lett., 99 (8), 085502 (2007)
  31. A. Janotti, C.G. Van de Walle. Nature Materials, 6 (1), 44 (2007)
  32. F. Tuomisto, V. Ranki, K. Saarinen, D.C. Look. Phys. Rev. Lett., 91 (5), 205502 (2003)
  33. F. Tuomisto, K. Saarinen, D.C. Look, G.C. Farlow. Phys. Rev. B, 72 (18), 085206 (2005)
  34. A. Janotti, G. Chris. Phys. Rev. B, 76 (18), 165202 (2007)
  35. C.H. Park, S. Zhang, S.-H. Wei. Phys. Rev. B, 66 (7), 073202 (2002)
  36. Y. Yan, S.B. Zhang, S.T. Pantelides. Phys. Rev. Lett., 86 (25), 5723 (2001)
  37. A. Janotti, C.G. Van de Walle. US Rep. Prog. Phys., 72, 126501 (2009)
  38. U. Ozgur, Ya.I. Alivov, C. Liu, A. Teke, M. Reshchikov, S. Dogan, V. Avrutin, S.-J. Cho, H. Morko c. J. Appl. Phys., 98 (4), 041301 (2005)
  39. Z-C. Jin, I. Hamberg, C.G. Granqvist. J. Appl. Phys., 64, 5117 (1988)
  40. B. Stjerna, C.G. Granqvist. Thin Sol. Films, 193/194, 704 (1990)
  41. K. Tominaga, T. Ueda, T. Ao, M. Kataoka, I. Mori. Thin Sol. Films, 281/282, 194 (1996)
  42. А.Н. Захаров, К.В. Оскомов, С.В. Работкин, А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов. ЖТФ, 80 (5), 127 (2010)
  43. P. Pushparajaht, A. Kariem Aroft, S. Radhakrishnat. Phys. D: Appl. Phys., 4 (3), 1518 (1994)
  44. Y. Zhang, B. Lin, X. Sun, Z. Fu. Appl. Phys. Lett., 86 (13), 131910 (2005)
  45. J.W. Orton. Phil. Mag., 49 (1), L1 (1984)
  46. E.E. Kawaja, M.A. Al-Daous, S.M.A. Durani, M.F. Al-Kuhaili. Thin Sol. Films, 485 (3), 16 (2005)
  47. Ю.П. Лепескин, P.C. Зырянов. В сб.: Итоги науки в теории и практике. 2016. XXII Международной научной конференции (М., Евразийское научное общество, 2016) вып. 10, с. 91
  48. A.P. Roth, B.W. James, D.F. Williams. Phys. Rev. B, 25 (12), 7836 (1982)
  49. Z.-Q. Fang, B. Claflin, D.C. Look, L. Lei Kerr, X. Li. J. Appl. Phys., 102, 023714 (2007)
  50. K. Thonke, Th. Gruber, N. Teofilov, R. Schofelder, N. Kerwien, A. Waag, R. Sauer. Physica B, 308, 945 (2001)
  51. X.-L. Guo, J.-H. Choi, H. Tabata, T. Kawai. Jpn. J. Appl. Phys., 40, L177 (2001)
  52. B.K. Meyer, H. Alves, D.M. Hofmann, W. Kriegseis, D. Forster, F. Bertram, J. Christen, A. Hoffmann, M. Strab burg, M. Dworzak, U. Haboeck, A.V. Rodina. Phys. Status Solidi B, 241, 231 (2004)
  53. S. Lautenschlaeger, S. Eisermann, B.K. Meyer, G. Callison, M.R. Wagner, A. Hoffmann. Phys. Status Solidi RRL, 3, 16 (2009)
  54. X.-L. Guo, J.-H. Choi, H. Tabata, T. Kawai. Jpn. J. Appl. Phys. Pt. II, 40, L177 (2001)
  55. E.-C. Lee, Y.-S. Kim, Y.-G. Jin, K.J. Chang. Phys. Rev. B, 64, 085120 (2001)
  56. D.C. Look. Mater. Sci. Eng. B, 80, 383 (2001)
  57. S.B. Ogale. Thin Films and Heterostructures for Oxide Electronics (N.Y., Springer, 2005)
  58. N.H. Nickel, E. Terukov. Zinc Oxide --- A Material for Micro- and Optoelectronic Applications (Netherlands, Springer, 2005)
  59. A. Janotti, C.G. Van de Walle. Appl. Phys. Lett., 87, 122102 (2005)
  60. A. Janotti, C.G. Van de Walle. J. Cryst. Growth, 287, 58 (2006)
  61. A. Janotti, C.G. Van de Walle. Phys. Rev. B, 75, 165202 (2007)
  62. O. Schmidt, P. Kiesel, C.G. Van de Walle, N.M. Johnson, J. Nause, G.H. Do hler. Jpn. J. Appl. Phys. Pt. 1, 44, 7271 (2005)
  63. O. Schmidt, A. Geis, P. Kiesel, C.G. Van de Walle, N.M. Johnson, A. Bakin, A. Waag, G.H. Dohler. Superlatt. Microstruct., 39, 8 (2006)
  64. D.C. Look. Surf. Sci., 601, 5315 (2007)
  65. Z-C. Jin, I. Hamberg, C.G. Granqvist. J. Appl. Phys., 64, 5117 (1988)
  66. B. Stjerna, C.G. Granqvist. Thin Sol. Films, 193/194, 704 (1990)
  67. K. Tominaga, T. Ueda, T. Ao, M. Kataoka, I. Mori. Thin Sol. Films, 281/282, 194 (1996)
  68. А.Н. Захаров, К.В. Оскомов, С.В. Работкин, А.А. Соловьев, Н.С. Сочугов. ЖТФ, 80 (5),127 (2010)
  69. P. Pushparajaht, A. Kariem Aroft, S. Radhakrishnat. Phys. D: Appl. Phys., 4 (3), 1518 (1994)
  70. Y. Zhang, B. Lin, X. Sun, Z. Fu. Appl. Phys. Lett., 86 (13), 131910 (2005)
  71. J.W. Orton. Phil. Mag., 49 (1), L1 (1984)
  72. E.E. Kawaja, M.A. Al-Daous, S.M.A. Durani, M.F. Al-Kuhaili. Thin Sol. Films, 485 (3), 16 (2005).
  73. Ю.П Лепескин., Р.С. Зырянов. В сб.: Итоги науки в теории и практике. 2016 XXII Международной научной конференции (М., Евразийское научное общество, 2016) вып. 10, с. 91.
  74. A.P. Roth, B.W. James, D.F. Williams. Phys. Rev. B, 25 (12), 7836 (1982).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.