1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Научно-технологический центр микроэлектроники и субмикронных гетероструктур Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
3Университет ИТМО, Санкт-Петербург, Россия
4ООО "Коннектор Оптикс", Санкт-Петербург, Россия
5Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
6Новгородский государственный университет им. Ярослава Мудрого, Великий Новгород, Россия
7АО «ОКБ-Планета», Великий Новгород, Россия
Email: blokh@mail.ioffe.ru, bobrov.mikh@gmail.com, bloalex91@yandex.ru, Kuzmenkov@mail.ioffe.ru, Maleev@beam.ioffe.ru, vmust.beam@mail.ioffe.ru