"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Исследование вольт-амперных характеристик новых гетероструктур MnO2/GaAs(100) и V2O5/GaAs(100), прошедших термическую обработку
Переводная версия: 10.1134/S1063782619080177
Сладкопевцев Б.В.1, Котов Г.И.2, Арсентьев И.Н.3, Шашкин И.С.2, Миттова И.Я.1, Томина Е.В.1, Самсонов А.А.1, Костенко П.В.1
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Воронежский государственный университет инженерных технологий, Воронеж, Россия
3Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
Email: arsentyev@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 1 апреля 2019 г.
Выставление онлайн: 20 июля 2019 г.

В процессе термооксидирования GaAs с магнетронно нанесенными наноразмерными слоями оксидов V2O5 и MnO2 сформированы сложнооксидные пленки толщиной ~200 нм. Методом вольт-амперных характеристик при комнатной температуре в диапазоне напряжений (-5)-(+5) В определены их электрофизические параметры (величина пробойного напряжения при обратном смещении и плотность тока), исследованы состав и морфология поверхности пленок. Показано, что V2O5 по сравнению с MnO2 способствует более интенсивному химическому связыванию мышьяка на внутренней границе раздела с образованием As2O5, что для термически оксидированных гетероструктур V2O5/GaAs приводит к большим значениям напряжения пробоя. Ключевые слова: арсенид галлия, тонкие пленки, термическая обработка, оксид ванадия, оксид марганца.
  1. И.Я. Миттова. Неорг. матер., 50, 9 (2014)
  2. И.Я. Миттова, Е.В. Томина, А.А. Лапенко, Б.В. Сладкопевцев. Наносистемы: физика, химия, математика, 2, 116 (2012)
  3. Е.В. Томина, И.Я. Миттова, Сухочев А.С., Б.В. Сладкопевцев. Физика и химия стекла, 2, 297 (2010)
  4. А.А. Лапенко, Лисицын С.В., Е.В. Томина, Валюхов Д.П., И.Я. Миттова. Неорг. матер., 11, 1293 (2008)
  5. Третьяков Н.Н., И.Я. Миттова, Б.В. Сладкопевцев, А.А. Самсонов, С.Ю. Андреенко. Неорг. матер., 1, 41 (2017)
  6. И.Я. Миттова, Б.В. Сладкопевцев, Е.В. Томина, А.А. Самсонов, Н.Н. Третьяков, С.В. Пономаренко. Неорг. матер., 11, 1149 (2018)
  7. Третьяков Ю.Д. Неорганическая химия: Химия элементов (М., Академкнига, 2007)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.