Вышедшие номера
Исследование влияния переходного слоя нанопористого кремния на атомное и электронное строение, а также оптические свойства гетероструктур AIIIN/por-Si, выращенных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии
Переводная версия: 10.1134/S1063782619070224
Середин П.В.1,2, Леньшин А.С.1, Золотухин Д.С.1, Голощапов Д.Л.1, Мизеров А.М.3, Арсентьев И.Н.4, Бельтюков А.Н.5
1Воронежский государственный университет, Воронеж, Россия
2Уральский федеральный университет им. первого Президента России Б.Н. Ельцина, Екатеринбург, Россия
3Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
4Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
5Удмурдский федеральный исследовательский центр Уральского отделения Российской академии наук, Ижевск, Россия
Email: paul@phys.vsu.ru
Поступила в редакцию: 12 февраля 2019 г.
Выставление онлайн: 19 июня 2019 г.

Показано влияние использования переходного нанопористого подслоя кремния por-Si на морфологические, физические и структурные свойства наноколончатых структур InxGa1-xN, полученных методом плазменно-активированной молекулярно-пучковой эпитаксии на монокристаллических Si(111) подложках. Комплексом структурно-спектроскопических методов анализа изучено электронное строение выращенных гетероструктур, морфология и оптические свойства, а также установлены взаимосвязи между ними. Показано, что использование подслоя por-Si позволяет получить более однородное распределение диаметров наноколонн InxGa1-xN, равно как увеличить интенсивность фотолюминесценции последних. Ключевые слова: нитрид галлия, кремниевая технология, фотолюминесценция, нуклеация, плазменно-активированная молекулярно-пучковая эпитаксия.
  1. U.K. Mishra, L. Shen, T.E. Kazior, Y.F. Wu. IEEE Proc., 96, 287 (2008)
  2. M. Shatalov, W. Sun, R. Jain, A. Lunev, X. Hu, A. Dobrinsky, Y. Bilenko, J. Yang, G.A. Garrett, L.E. Rodak. Semicond. Sci. Technol., 29, 084007 (2014)
  3. S.A. Kukushkin, A.V. Osipov, V.N. Bessolov, B.K. Medvedev, V.K. Nevolin, K.A. Tcarik. Rev. Adv. Mater. Sci., 17, 1 (2008)
  4. P.V. Seredin, D.L. Goloshchapov, A.S. Lenshin, D.S Zolotukhin. Phys. E: Low-Dim. Syst. Nanostructures., 104, 101 (2018)
  5. P.V. Seredin, D.L. Goloshchapov, D.S. Zolotukhin, M.A. Kondrashin, A.S. Lenshin, Y.Y. Khudyakov, A.M. Mizerov, I.N. Arsentyev, A.N. Beltiukov, H. Leiste, M. Rinke. Semiconductors, 52, 1653 (2018)
  6. P.V. Seredin, V.M. Kashkarov, I.N. Arsentyev, A.D. Bondarev, I.S. Tarasov. Physica B, 495, 54 (2016)
  7. P.V. Seredin, A.S. Lenshin, D.L. Goloshchapov, A.N. Lukin, I.N. Arsentyev, A.D. Bondarev, I.S. Tarasov. Semiconductors, 49, 915 (2015)
  8. P.V. Seredin, A.S. Lenshin, V.M. Kashkarov, A.N. Lukin, I.N. Arsentyev, A.D. Bondarev, I.S. Tarasov. Proc. Mater. Sci. Semicond., 39, 551 (2015)
  9. E.P. Domashevskaya, V.M. Kashkarov, P.V. Seredin, V.A. Terekhov, S.Y. Turishchev, I.N. Arsentyev, V.P. Ulin. Mater. Sci. Engin. B, 147, 144 (2008)
  10. A.S. Lenshin, V.M. Kashkarov, P.V. Seredin, B.L. Agapov, D.A. Minakov, V.N. Tsipenyuk, E.P. Domashevskaya. Techn. Phys., 59, 224 (2014)
  11. D.A. Shirley. Phys. Rev. B, 5, 4709 (1972)
  12. NIST X-ray Photoelectron Spectroscopy (XPS) Database. https://srdata.nist.gov/xps/
  13. K.P. O'Donnel, J.F.W. Mosselmans, R.W. Martin, S. Pereira, M.E. White. J. Phys.: Condens. Mater., 13, 6977 (2001)
  14. Z.L. Fang, Q.F. Li, X.Y. Shen, J.F. Cai, J.Y. Kang, W.Z. Shen. J. Appl. Phys., 115, 043514 (2014).

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.