Распад твердого раствора межузельного магния в кремнии
Шуман В.Б.1, Лодыгин А.Н.1, Порцель Л.М.1, Яковлева А.А.1, Абросимов Н.В.2, Астров Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Leibniz Institute for Crystal Growth, Berlin, Germany
Email: a.lodygin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 октября 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.
Изучался распад твердого раствора межузельного магния Mgi в кремнии. В опытах использовался бестигельный бездислокационный монокристаллический n-Si c величиной удельного сопротивления ~8·103 Ом · см, содержанием кислорода ~5·1014 см-3 и углерода ~1·1015 см-3. Образцы легировались диффузионным сандвич-методом при T=1100oC и закаливались. Распад пересыщенного твердого раствора Mgi изучался путем исследования кинетики увеличения удельного сопротивления легированных образцов в результате отжигов в диапазоне T=400-620oC. Найдено, что процесс распада характеризуется энергией активации Ea~ 1.6 эВ, что близко к определенной ранее энергии активации диффузии Mgi в кремнии. Показано также, что при температурах, не превышающих 400oC, Si : Mg обнаруживает стабильные свойства, что важно при его возможном практическом использовании.
- R.F. Franks, J.B. Robertson. Sol. St. Commun., 5, 479 (1967)
- L.T. Ho, A.K. Ramdas. Phys. Rev. B, 5, 462 (1972)
- L.T. Ho. Phys. Status Solidi A, 28, K73 (1975)
- Yu.A. Astrov, V.B. Shuman, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, S.G. Pavlov, N.V. Abrosimov, V.N. Shastin, H.-W. Hubers. Phys. Status Solidi A, 214, 1700192 (2017)
- Б.И. Болтакс, М.К. Бахадырханов, С.М. Городецкий, Г.С. Куликов. Компенсированный кремний, отв. ред. Б.И. Болтакс (Л., Наука, 1972)
- F.P. Morin, H. Reiss. J. Chem. Sol., 3, 196 (1957)
- J.R. Carter, R.A. Swalin. J. Appl. Phys., 31, 1191 (1960)
- F.S. Ham. J. Phys. Chem. Sol., 6, 335 (1958)
- H. Sigmund. J. Electrochem. Soc., 129, 2809 (1982)
Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.
Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.