"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Распад твердого раствора межузельного магния в кремнии
Переводная версия: 10.1134/S1063782619030175
Шуман В.Б.1, Лодыгин А.Н.1, Порцель Л.М.1, Яковлева А.А.1, Абросимов Н.В.2, Астров Ю.А.1
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Leibniz Institute for Crystal Growth, Berlin, Germany
Email: a.lodygin@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 16 октября 2018 г.
Выставление онлайн: 17 февраля 2019 г.

Изучался распад твердого раствора межузельного магния Mgi в кремнии. В опытах использовался бестигельный бездислокационный монокристаллический n-Si c величиной удельного сопротивления ~8·103 Ом · см, содержанием кислорода ~5·1014 см-3 и углерода ~1·1015 см-3. Образцы легировались диффузионным сандвич-методом при T=1100oC и закаливались. Распад пересыщенного твердого раствора Mgi изучался путем исследования кинетики увеличения удельного сопротивления легированных образцов в результате отжигов в диапазоне T=400-620oC. Найдено, что процесс распада характеризуется энергией активации Ea~ 1.6 эВ, что близко к определенной ранее энергии активации диффузии Mgi в кремнии. Показано также, что при температурах, не превышающих 400oC, Si : Mg обнаруживает стабильные свойства, что важно при его возможном практическом использовании.
  1. R.F. Franks, J.B. Robertson. Sol. St. Commun., 5, 479 (1967)
  2. L.T. Ho, A.K. Ramdas. Phys. Rev. B, 5, 462 (1972)
  3. L.T. Ho. Phys. Status Solidi A, 28, K73 (1975)
  4. Yu.A. Astrov, V.B. Shuman, L.M. Portsel, A.N. Lodygin, S.G. Pavlov, N.V. Abrosimov, V.N. Shastin, H.-W. Hubers. Phys. Status Solidi A, 214, 1700192 (2017)
  5. Б.И. Болтакс, М.К. Бахадырханов, С.М. Городецкий, Г.С. Куликов. Компенсированный кремний, отв. ред. Б.И. Болтакс (Л., Наука, 1972)
  6. F.P. Morin, H. Reiss. J. Chem. Sol., 3, 196 (1957)
  7. J.R. Carter, R.A. Swalin. J. Appl. Phys., 31, 1191 (1960)
  8. F.S. Ham. J. Phys. Chem. Sol., 6, 335 (1958)
  9. H. Sigmund. J. Electrochem. Soc., 129, 2809 (1982)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.