"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Лазерный отжиг тонких пленок ITO на гибких органических подложках
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020192
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 15-29-01171
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 16-29-05385
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 16-07-00842
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 16-29-11800
Российский фонд фундаментальных исследований (РФФИ), 17-07-00615
Федеральное агентство научных организаций (ФАНО), 007-ГЗ/Ч3363/26
Паршина Л.С.1, Новодворский О.А.1, Храмова О.Д.1, Лотин А.А.1, Хоменко М.Д.1, Щур П.А.2
1Институт проблем лазерных и информационных технологий --- филиал ФНИЦ "Кристаллография и фотоника" Российской академии наук, Шатура, Россия
2Федеральное государственное унитарное предприятие «Всероссийский научно-исследовательский институт авиационных материалов» Государственный научный центр Российской Федерации, Москва, Россия
Email: ParshinaLiubov@mail.ru, onov@mail.ru, okhram48@mail.ru, lotin_82@mail.ru, hmd@laser.ru, shur-pavel@mail.ru
Поступила в редакцию: 24 апреля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Методом реактивного магнетронного распыления на пленочных подложках из полиэтилентерефталата при комнатной температуре получены тонкие пленки оксида индия и олова. Минимум удельного сопротивления пленок оксида индия и олова, полученных при комнатной температуре, составил 4.5 · 10-4 Ом · см. Лазерный отжиг пленок оксида индия и олова толщиной от 140 до 600 нм увеличивает их проводимость от 10 до 24% в зависимости от плотности энергии на пленке и дозы облучения. Установлено, что лазерный отжиг пленок толщиной до 250 нм эффективен при плотности энергии в диапазоне от 12 до 35 мДж/см2. Пленки толщиной от 390 до 600 нм необходимо отжигать лазерным излучением с плотностью энергии не менее 46 мДж/см2. Рассмотрена модельная задача, учитывающая влияние лучистого охлаждения и теплообмена пленки и подложки на изменение температуры пленки во времени в процессе лазерного отжига. Было использовано одномерное уравнение теплопроводности для двухслойной среды. Рассчитаны максимальные напряжения в пленке оксида индия и олова при различных режимах отжига.
  1. А.Г. Крынин, В.А. Богатов. В сб.: Тр. Круглого стола. "Материалы остекления в авиационной промышленности" (М., Россия, 2016) с. 1
  2. Ю.А. Хохлов, А.Г. Крынин, В.А. Богатов, П.П. Кисляков. Авиационные материалы и технологии, 1, 24 (2013)
  3. G. Brauer, B. Szyszka, M. Vergo, R. Bandorf. Vacuum, 84, 1354 (2010)
  4. L.S. Parshina, О.А. Novodvorsky, O.D. Khramova, I.A. Petukhov, V.A. Mikhalevsky, A.A. Lotin, E.A. Cherebilo, V.Ya. Panchenko. OQEL, 48 (6), 316 (2016)
  5. Ю.А. Хохлов, Н.М. Березин, В.А. Богатов, А.Г. Крынин. Авиационные материалы и технологии, 3, 60 (2015)
  6. А.И. Бажин, А.Н. Троцан, С.В. Чертопалов, А.А. Стипаненко, В.А. Ступак. ФИП PSE, 10 (4), 342 (2012)
  7. П.П. Кисляков, Ю.А. Хохлов, А.Г. Крынин, С.В. Кондрашов. Тр. ВИАМ, 11, 6 (2013)
  8. Ю.В. Сахаров, П.Е. Троян, Ю.С. Жидик. Докл. ТУСУР, 3 (37), 85 (2015)
  9. T. Ashida, A. Miyamura, N. Oka, Y. Sato, T. Yagi, N. Taketoshi, T. Baba, Y. Shigesato. J. Appl. Phys., 105, 073709 (2009)
  10. K. Sun, W. Zhou, X. Tang, F. Luo. Infr. Phys. Technol., 78, 156 (2016)
  11. C. Mc Donnell, D. Milne, C. Prieto, H. Chan, D. Rostohar, G.M. O'Connor. Surf. Sci., 359, 567 (2015)
  12. Интернет --- ресурс: http://cfd.direct/openfoam/user-guide/. OpenFOAM Foundation. The Open Source CFD Toolbox User Guide (2014)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.