"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Дислокационная фотолюминесценция в кремнии, имплантированном ионами германия
Соболев Н.А. 1, Калядин А.Е. 1, Сахаров В.И. 1, Серенков И.Т. 1, Шек Е.И. 1, Паршин Е.О.2, Мелесов Н.С.2, Симакин С.Г.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru, iosh_q@mail.ru, r.ilin@mail.ioffe.ru, shek@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 25 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Исследовано влияние условий постимплантационного отжига кремния, имплантированного ионами германия, на образование люминесцентных центров. Измерения с помощью метода обратного резерфордовского рассеяния ионов средней и высокой энергий показали, что имплантация ионами германия с энергией 1 МэВ и дозой 1.5·1014 см-2 не приводит к аморфизации монокристаллического кремния. Обнаружено, что последующий высокотемпературный отжиг имплантированных образцов в хлорсодержащей атмосфере при 1100oС в течение 0.5-1.5 ч приводит к образованию так называемых D1 и D2 линий дислокационной люминесценции с длинами волн 1.54 и 1.42 мкм. При увеличении времени отжига интенсивность линии D1 уменьшается, а D2 --- остается постоянной, но во всех спектрах доминирует D1 линия. Обсуждаются возможные факторы, приводящие к снижению интенсивности D1 линии, в частности диффузия атомов германия и образование твердого раствора кремний-германий.
  • R.A. Soref. Proc. IEEE, 81, 1687 (1993)
  • Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма ЖЭТФ, 23, 651 (1976)
  • E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 69, 2686 (1996)
  • V. Kveder, V. Badylevich, E. Steinмan, A. Izotov, M. Zeibt, W. Schreter. Appl. Phys. Lett., 84, 2106 (2004)
  • S. Fukatsu, Y. Mera, M. Inoue, K. Maeda, H. Akiyama, H. Sakaki. Appl. Phys. Lett., 68, 1889 (1996)
  • S. Binetti, M. Donghi, S. Pizzini, A. Сastaldini, A. Сavallini, F. Fraboni, N.A. Sobolev. Sol. St. Phenomena, 57- 58, 197 (1997)
  • N.A. Sobolev, A.E. Kalyadin, E.I. Shek, K.F. Shtel`makh, A.K. Gutakovskii, V.I. Vdovin, A.N. Mikhaylov, D.I. Tetel`baum, D. Lie, D. Yang, L.I. Fedina. Materials Today: Proceedings, 5, 14772 (2018)
  • R.H. Uebbing, P. Vagner, H. Baumgart, H.J. Queisser. Appl. Phys. Lett., 37, 1078 (1980)
  • Н.А. Соболев. ФТП, 10, 23 (2010)
  • Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, М.В. Коновалов, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 50, 241 (2016)
  • А.Н. Терещенко, Д.С. Королев, А.Н. Михайлов, А.И. Белов, А.А. Никольская, Д.А. Павлов, Д.И. Тетельбаум, Э.А. Штейнман. ФТП, 52, 702 (2018)
  • Ю.Н. Пархоменко, А.И. Белогорохов, Н.Н. Герасименко, А.И. Иржак, М.Г. Лисаченко. ФТП, 38, 593 (2004)
  • Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, В.И. Нуждин, П.И. Гайдук, С.Л. Прокопьев, Г.Д. Ивлев. Изв. вузов. Физика, N 1/2, 59 (2011)
  • Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.И. Шек, К.В. Карабешкин, П.А. Карасев, А.И. Титов. Письма ЖТФ, 43 (1), 14 (2017)
  • J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon Press, N.Y., 1985)
  • Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

    Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.