"Физика и техника полупроводников"
Издателям
Вышедшие номера
Дислокационная фотолюминесценция в кремнии, имплантированном ионами германия
Переводная версия: 10.1134/S1063782619020234
Соболев Н.А. 1, Калядин А.Е. 1, Сахаров В.И. 1, Серенков И.Т. 1, Шек Е.И. 1, Паршин Е.О.2, Мелесов Н.С.2, Симакин С.Г.2
1Физико-технический институт им. А.Ф. Иоффе РАН, Санкт-Петербург, Россия
2Ярославский филиал Физико-технологического института Российской академии наук, Ярославль, Россия
Email: nick@sobolev.ioffe.rssi.ru, iosh_q@mail.ru, r.ilin@mail.ioffe.ru, shek@mail.ioffe.ru
Поступила в редакцию: 25 июля 2018 г.
Выставление онлайн: 20 января 2019 г.

Исследовано влияние условий постимплантационного отжига кремния, имплантированного ионами германия, на образование люминесцентных центров. Измерения с помощью метода обратного резерфордовского рассеяния ионов средней и высокой энергий показали, что имплантация ионами германия с энергией 1 МэВ и дозой 1.5·1014 см-2 не приводит к аморфизации монокристаллического кремния. Обнаружено, что последующий высокотемпературный отжиг имплантированных образцов в хлорсодержащей атмосфере при 1100oС в течение 0.5-1.5 ч приводит к образованию так называемых D1 и D2 линий дислокационной люминесценции с длинами волн 1.54 и 1.42 мкм. При увеличении времени отжига интенсивность линии D1 уменьшается, а D2 --- остается постоянной, но во всех спектрах доминирует D1 линия. Обсуждаются возможные факторы, приводящие к снижению интенсивности D1 линии, в частности диффузия атомов германия и образование твердого раствора кремний-германий.
  1. R.A. Soref. Proc. IEEE, 81, 1687 (1993)
  2. Н.А. Дроздов, А.А. Патрин, В.Д. Ткачев. Письма ЖЭТФ, 23, 651 (1976)
  3. E.O. Sveinbjornsson, J. Weber. Appl. Phys. Lett., 69, 2686 (1996)
  4. V. Kveder, V. Badylevich, E. Steinмan, A. Izotov, M. Zeibt, W. Schreter. Appl. Phys. Lett., 84, 2106 (2004)
  5. S. Fukatsu, Y. Mera, M. Inoue, K. Maeda, H. Akiyama, H. Sakaki. Appl. Phys. Lett., 68, 1889 (1996)
  6. S. Binetti, M. Donghi, S. Pizzini, A. Сastaldini, A. Сavallini, F. Fraboni, N.A. Sobolev. Sol. St. Phenomena, 57- 58, 197 (1997)
  7. N.A. Sobolev, A.E. Kalyadin, E.I. Shek, K.F. Shtel`makh, A.K. Gutakovskii, V.I. Vdovin, A.N. Mikhaylov, D.I. Tetel`baum, D. Lie, D. Yang, L.I. Fedina. Materials Today: Proceedings, 5, 14772 (2018)
  8. R.H. Uebbing, P. Vagner, H. Baumgart, H.J. Queisser. Appl. Phys. Lett., 37, 1078 (1980)
  9. Н.А. Соболев. ФТП, 10, 23 (2010)
  10. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, М.В. Коновалов, П.Н. Аруев, В.В. Забродский, Е.И. Шек, К.Ф. Штельмах, А.Н. Михайлов, Д.И. Тетельбаум. ФТП, 50, 241 (2016)
  11. А.Н. Терещенко, Д.С. Королев, А.Н. Михайлов, А.И. Белов, А.А. Никольская, Д.А. Павлов, Д.И. Тетельбаум, Э.А. Штейнман. ФТП, 52, 702 (2018)
  12. Ю.Н. Пархоменко, А.И. Белогорохов, Н.Н. Герасименко, А.И. Иржак, М.Г. Лисаченко. ФТП, 38, 593 (2004)
  13. Р.И. Баталов, Р.М. Баязитов, В.И. Нуждин, П.И. Гайдук, С.Л. Прокопьев, Г.Д. Ивлев. Изв. вузов. Физика, N 1/2, 59 (2011)
  14. Н.А. Соболев, А.Е. Калядин, В.И. Сахаров, И.Т. Серенков, Е.И. Шек, К.В. Карабешкин, П.А. Карасев, А.И. Титов. Письма ЖТФ, 43 (1), 14 (2017)
  15. J.F. Ziegler, J.P. Biersack, U. Littmark. The Stopping and Range of Ions in Solids (Pergamon Press, N.Y., 1985)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.