"Физика и техника полупроводников"
Вышедшие номера
Прецизионное химическое травление эпитаксиальных слоев GaP(NAs) для формирования монолитных оптоэлектронных приборов
Переводная версия: 10.1134/S1063782618130092
Российский научный фонд, 17-19-01482
Кудряшов Д.А.1, Гудовских А.С.1,2, Баранов А.И.1
1Санкт-Петербургский национальный исследовательский Академический университет имени Ж.И. Алфёрова Российской академии наук, Санкт-Петербург, Россия
2Санкт-Петербургский государственный электротехнический университет "ЛЭТИ" им. В.И. Ульянова (Ленина), Санкт-Петербург, Россия
Email: kudryashovda@spbau.ru
Поступила в редакцию: 18 июня 2018 г.
Выставление онлайн: 20 декабря 1969 г.

Приводятся результаты исследования применимости различных травителей для целей прецизионного жидкостного травления структур монолитных оптоэлектронных приборов, содержащих слои GaPNAs. Было показано, что травитель на основе иодада калия и соляной кислоты наилучшим образом подходит для данной задачи. Наличие в составе полупроводника азота (до 4%) и мышьяка не оказывает существенного влияния на работу травителя, однако требует проведения дополнительных калибровочных экспериментов по уточнению скорости травления в каждом конкретном случае. В работе представлены примеры практического применения прецизионного травления для измерения характеристик солнечных элементов на основе GaPNAs.
  1. J.F. Geisz, D.J. Friedman, S. Kurtz. Proc. 29th IEEE Photovoltaics Specialists Conf. (New Orleans, Louisiana, 864-7, 2002)
  2. S. Essig, M.A. Steiner, Ch. Allebe, J.F. Geisz, B. Paviet-Salomon, S. Ward, A. Descoeudres, V. LaSalvia, L. Barraud, N. Badel, A. Faes, J. Levrat, M. Despeisse, Ch. Ballif, P. Stradins, D.L. Young. IEEE J. Photovolt., 6, 1012 (2016)
  3. S. Ilahi, S. Almosni, F. Chouchane, M. Perrin, K. Zelazna, N. Yacoubi, R. Kudrawiec, P. Rvale, L. Lombez, J.-F. Guillemoles, O. Durand, C. Cornet. Solar Energy Mater. Solar Cells, 141, 291 (2015)
  4. W. Shan, W. Walukiewicz, K.M. Yu, J. Wu, J.W. Ager, E.E. Haller, H.P. Xin, C.W. Tu. Appl. Phys. Lett., 76, 3251 (2000)
  5. I.A. Buyanowa, G. Pozina, J.P. Bergman, W.M. Chen, H.P. Xin, C.W. Tu. Appl. Phys. Lett., 52, 81 (2002)
  6. Д.А. Кудряшов, А.С. Гудовских, Е.В. Никитина, А.Ю. Егоров. ФТП, 48 (3), 396 (2014)
  7. А.В. Бабичев, В.Ю. Бутко, М.С. Соболев, Е.В. Никитинa, Н.В. Крыжановская, А.Ю. Егоров. ФТП, 46, 815 (2012)
  8. S.Y. Moon, H. Yonezu, Y. Furukawa, Y. Morisaki, S. Yamada, A. Wakahara. Phys. Status Solidi, A, 204 (6), 2082 (2007)
  9. А.И. Баранов, А.С. Гудовских, Е.В. Никитина, А.Ю. Егоров. Письма ЖТФ, 39 (24), 88 (2013)
  10. R. Memming, G. Schwandt. Electrochimica Acta, 13, 1299 (1968)
  11. B. Kumar, M. Llorente, J. Froehlich, T. Dang, A. Sathrum, C.P. Kubiak. Annu. Rev. Phys. Chem., 63, 541 (2012)
  12. CRC Handbook of Chemistry and Physics, 84th edn, ed. by David R. Lide (CRC Press LLC, Boca Raton, 2003)
  13. J. Monhemius. Mineral Processing and Extractive Metallurgy Review, 8 (1--4), 35 (1992)

Подсчитывается количество просмотров абстрактов ("html" на диаграммах) и полных версий статей ("pdf"). Просмотры с одинаковых IP-адресов засчитываются, если происходят с интервалом не менее 2-х часов.

Дата начала обработки статистических данных - 27 января 2016 г.